ከኳርትዝ ጀልባ ድጋፍ ጋር ሲነፃፀር የሲሊኮን ካርቦይድ ጀልባ ድጋፍ ጥቅሞች

ዋና ተግባራት የየሲሊኮን ካርቦይድ ጀልባድጋፍ እና የኳርትዝ ጀልባ ድጋፍ ተመሳሳይ ናቸው.የሲሊኮን ካርቦይድ ጀልባድጋፍ በጣም ጥሩ አፈጻጸም አለው ነገር ግን ከፍተኛ ዋጋ አለው. ከኳርትዝ ጀልባ ድጋፍ ጋር በባትሪ ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች አስቸጋሪ የስራ ሁኔታዎች (እንደ LPCVD መሳሪያዎች እና የቦር ማሰራጫ መሳሪያዎች ያሉ) አማራጭ ግንኙነት ይመሰርታል። በባትሪ ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች ውስጥ ተራ የሥራ ሁኔታዎች, በዋጋ ግንኙነቶች ምክንያት, የሲሊኮን ካርቦይድ እና የኳርትዝ ጀልባ ድጋፍ አንድ ላይ መኖር እና ተወዳዳሪ ምድቦች ይሆናሉ.

① በ LPCVD እና በቦር ማሰራጫ መሳሪያዎች ውስጥ የመተካት ግንኙነት

የኤልፒሲቪዲ መሳሪያዎች ለባትሪ ሕዋስ ዋሻ ኦክሳይድ እና ለዶፔድ ፖሊሲሊኮን ንብርብር ዝግጅት ሂደት ያገለግላሉ። የአሠራር መርህ;

ዝቅተኛ ግፊት ባለው ከባቢ አየር ውስጥ ፣ ከተገቢው የሙቀት መጠን ጋር ፣ ኬሚካላዊ ምላሽ እና የተከማቸ ፊልም ምስረታ እጅግ በጣም ቀጭን ዋሻ ኦክሳይድ ንብርብር እና ፖሊሲሊኮን ፊልም ለማዘጋጀት ይሳካል። በ tunneling oxidation እና doped polysilicon layer ዝግጅት ሂደት ውስጥ የጀልባው ድጋፍ ከፍተኛ የሥራ ሙቀት ያለው ሲሆን የሲሊኮን ፊልም በላዩ ላይ ይቀመጣል. የኳርትዝ የሙቀት መስፋፋት መጠን ከሲሊኮን በጣም የተለየ ነው። ከላይ በተጠቀሰው ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ በሚውልበት ጊዜ የኳርትዝ ጀልባ ድጋፍ በሙቀት መስፋፋት እና በሲሊኮን በተለያየ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ምክንያት እንዳይሰበር በየጊዜው ላይ የተከማቸበትን ሲሊኮን ማንሳት እና ማስወገድ ያስፈልጋል ። በተደጋጋሚ የመሰብሰብ እና ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው ጥንካሬ ምክንያት የኳርትዝ ጀልባ መያዣው አጭር ህይወት ያለው እና በዋሻው ኦክሳይድ እና በዶፔድ የፖሊሲሊኮን ንብርብር ዝግጅት ሂደት ውስጥ በተደጋጋሚ ይተካል, ይህም የባትሪውን ሕዋስ የማምረት ዋጋ በእጅጉ ይጨምራል. የማስፋፊያ Coefficient ofሲሊከን ካርበይድከሲሊኮን ጋር ቅርብ ነው. የተቀናጀውየሲሊኮን ካርቦይድ ጀልባመያዣው በዋሻው ኦክሳይድ እና ዶፔድ ፖሊሲሊኮን ንብርብር ዝግጅት ሂደት ውስጥ መልቀም አያስፈልገውም። ከፍተኛ ሙቀት ያለው ጥንካሬ እና ረጅም የአገልግሎት ሕይወት አለው. ለኳርትዝ ጀልባ መያዣ ጥሩ አማራጭ ነው.

የቦርን ማስፋፊያ መሳሪያዎች በዋናነት በ N-type ሲሊከን ዋፈር ንኡስ የባትሪ ሴል ላይ ያለውን የቦሮን ኤለመንቶችን ለዶፒንግ ሂደት የሚያገለግሉ የፒ-አይነት ኢሚተርን የፒኤን መገናኛ ለመፍጠር ነው። የሥራው መርህ የኬሚካላዊ ምላሽ እና የሞለኪውላር ክምችት ፊልም ምስረታ ከፍተኛ ሙቀት ባለው ከባቢ አየር ውስጥ መገንዘብ ነው. ፊልሙ ከተፈጠረ በኋላ, የሲሊኮን ዋፈር ንጣፍ የዶፒንግ ተግባርን ለመገንዘብ በከፍተኛ ሙቀት ማሞቂያ ሊሰራጭ ይችላል. በቦሮን ማስፋፊያ መሳሪያዎች ከፍተኛ የሥራ ሙቀት ምክንያት የኳርትዝ ጀልባ መያዣው ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው ጥንካሬ እና በቦር ማስፋፊያ መሳሪያዎች ውስጥ አጭር የአገልግሎት ጊዜ አለው. የተቀናጀውየሲሊኮን ካርቦይድ ጀልባመያዣው ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ጥንካሬ ያለው እና በቦሮን ማስፋፊያ ሂደት ውስጥ ለኳርትዝ ጀልባ መያዣ ጥሩ አማራጭ ነው።

② በሌሎች የሂደት መሳሪያዎች ውስጥ የመተካት ግንኙነት

የሲሲ ጀልባ ድጋፎች ጥብቅ የማምረት አቅም እና ጥሩ አፈጻጸም አላቸው። ዋጋቸው በአጠቃላይ ከኳርትዝ ጀልባ ድጋፍ ሰጪዎች ከፍ ያለ ነው። በአጠቃላይ የሕዋስ ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች የሥራ ሁኔታዎች, በሲሲ ጀልባ ድጋፍ እና በኳርትዝ ​​ጀልባ ድጋፎች መካከል ያለው የአገልግሎት ህይወት ልዩነት ትንሽ ነው. የታችኛው ተፋሰስ ደንበኞች በራሳቸው ሂደት እና ፍላጎት ላይ ተመስርተው በዋጋ እና በአፈጻጸም መካከል በዋናነት ያወዳድራሉ እና ይመርጣሉ። የሲሲ ጀልባ ድጋፎች እና የኳርትዝ ጀልባ ድጋፎች አብረው መኖር እና ተወዳዳሪ ሆነዋል። ሆኖም፣ የሲሲ ጀልባ ድጋፎች አጠቃላይ የትርፍ ህዳግ በአንጻራዊነት በአሁኑ ጊዜ ከፍተኛ ነው። የሲሲ ጀልባ ድጋፎችን የማምረት ወጪ እያሽቆለቆለ ሲሄድ፣ የሲሲ ጀልባ የሚደግፍ የመሸጫ ዋጋ በንቃት የሚቀንስ ከሆነ፣ ለኳርትዝ ጀልባ ድጋፍ ከፍተኛ ተወዳዳሪነት ይኖረዋል።

የአጠቃቀም ጥምርታ

የሕዋስ ቴክኖሎጂ መንገድ በዋናነት የPERC ቴክኖሎጂ እና TOPCon ቴክኖሎጂ ነው። የPERC ቴክኖሎጂ የገበያ ድርሻ 88% ሲሆን የ TOPCon ቴክኖሎጂ የገበያ ድርሻ 8.3% ነው። የሁለቱም አጠቃላይ የገበያ ድርሻ 96.30 በመቶ ነው።

ከታች ባለው ሥዕል ላይ እንደሚታየው፡-

በ PERC ቴክኖሎጂ ውስጥ ለፊት ለፊት ፎስፎረስ ስርጭት እና የማጥቂያ ሂደቶች የጀልባ ድጋፎች ያስፈልጋሉ። በ TOPcon ቴክኖሎጂ ውስጥ የጀልባ ድጋፎች ለፊት ለፊት ቦሮን ስርጭት ፣ LPCVD ፣ የኋላ ፎስፎረስ ስርጭት እና የማስወገድ ሂደቶች ያስፈልጋሉ። በአሁኑ ጊዜ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ጀልባ ድጋፎች በዋናነት በ LPCVD የ TOPcon ቴክኖሎጂ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ, እና በቦሮን ስርጭት ሂደት ውስጥ የእነርሱ አተገባበር በዋናነት ተረጋግጧል.

ምስል በሴል ማቀነባበሪያ ሂደት ውስጥ የጀልባ ድጋፎች አተገባበር

ማሳሰቢያ፡- ከ PERC እና TOPCon ቴክኖሎጂዎች የፊት እና የኋላ ሽፋን በኋላ አሁንም እንደ ስክሪን ማተም ፣መፈተሽ እና መፈተሽ እና መደርደር ያሉ አገናኞች አሉ እነዚህም የጀልባ ድጋፎችን መጠቀምን የማያካትቱ እና ከላይ ባለው ምስል ውስጥ ያልተዘረዘሩ ናቸው።