ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) አዲስ ውሁድ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ነው። የሲሊኮን ካርቦይድ ትልቅ የባንድ ክፍተት (ወደ 3 ጊዜ ሲሊከን), ከፍተኛ ወሳኝ የመስክ ጥንካሬ (ወደ 10 ጊዜ ሲሊከን), ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ (በግምት 3 ጊዜ ሲሊከን) አለው. ጠቃሚ የሚቀጥለው ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ነው. የሲሲ ሽፋኖች በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እና በፀሃይ ፎቶቮልቴክስ ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ. በተለይም በ LEDs እና በሲ ነጠላ ክሪስታል ኤፒታክሲ (Epitaxial Epitaxial Epitaxial Epitaxy) ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት ጥርጣሬዎች የሲሲ ሽፋን መጠቀምን ይጠይቃሉ። በብርሃን እና ማሳያ ኢንዱስትሪ ውስጥ ባለው የ LEDs ጠንካራ ወደላይ የመሄድ አዝማሚያ እና የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ጠንካራ እድገት።የሲሲ ሽፋን ምርትተስፋዎች በጣም ጥሩ ናቸው.
የመተግበሪያ መስክ
ንፅህና ፣ የኤስኢኤም መዋቅር ፣ ውፍረት ትንተናየሲሲ ሽፋን
ሲቪዲ በመጠቀም በግራፋይት ላይ ያለው የሲሲ ሽፋን ንፅህና እስከ 99.9995% ይደርሳል። የእሱ መዋቅር fcc ነው. በግራፋይት ላይ የተሸፈኑ የሲሲ ፊልሞች (111) በ XRD መረጃ (Fig.1) ላይ እንደሚታየው ከፍተኛ ክሪስታላይን ጥራቱን ያሳያሉ. በስእል 2 ላይ እንደሚታየው የሲሲ ፊልም ውፍረት በጣም ተመሳሳይ ነው.
ምስል 2፡ የሲሲ ፊልሞች SEM ውፍረት እና የቤታ-ሲሲ ፊልም በግራፋይት ላይ XRD
የSEM ውሂብ የሲቪዲ ሲሲ ቀጭን ፊልም፣ የክሪስታል መጠኑ 2 ~ 1 Opm ነው።
የሲቪዲ ሲሲ ፊልም ክሪስታል መዋቅር ፊት ላይ ያማከለ ኪዩቢክ መዋቅር ነው፣ እና የፊልም እድገት አቅጣጫ ወደ 100% ይጠጋል።
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የተሸፈነቤዝ ለነጠላ ክሪስታል ሲሊከን እና ለጋኤን ኤፒታክሲ በጣም ጥሩው መሠረት ነው ፣ እሱም የኤፒታክሲ ምድጃ ዋና አካል። መሰረቱ ለትልቅ የተቀናጁ ዑደቶች ለሞኖክሪስተላይን ሲሊከን ቁልፍ የምርት መለዋወጫ ነው። ከፍተኛ ንፅህና, ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም, የዝገት መቋቋም, ጥሩ የአየር መጨናነቅ እና ሌሎች በጣም ጥሩ የቁሳቁስ ባህሪያት አሉት.
የምርት ትግበራ እና አጠቃቀም
የግራፋይት ቤዝ ሽፋን ለነጠላ ክሪስታል ሲሊከን ኤፒታክሲያል እድገት ተስማሚ ለኤክስትሮን ማሽኖች ፣ ወዘተየመሸፈኛ ውፍረት: 90 ~ 150umየዋፈር ክሬተር ዲያሜትር 55 ሚሜ ነው።
የልጥፍ ጊዜ: ማርች-14-2022