SiC-bedekte grafiet-draer / -opnemer

Kort beskrywing:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te lewer.Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing maak vir waferverwerkingstoepassings.

 


Produkbesonderhede

Produk Tags

SiC-bedekte suscetpor is 'n sleutelkomponent wat in verskeie halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word.Ons gebruik ons ​​gepatenteerde tegnologie om die SiC-bedekte suscetpor te maak met uiters hoë suiwerheid, goeie deklaag-eenvormigheid en 'n uitstekende dienslewe, sowel as hoë chemiese weerstand en termiese stabiliteitseienskappe.

Kenmerke van ons produkte:

1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand tot 1700 ℃.
2. Hoë suiwerheid en termiese eenvormigheid
3. Uitstekende weerstand teen korrosie: suur, alkali, sout en organiese reagense.
4. Hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
5. Langer dienslewe en meer duursaam

draer 2 draer4

draer1 draer3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCdeklaag

性质 / Eiendom

典型数值 / Tipiese waarde

晶体结构 / Kristalstruktuur

FCC β fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Digtheid

3,21 g/cm³

硬度 / Hardheid

2500 维氏硬度(500g vrag)

晶粒大小 / Graan grootte

2~10μm

纯度 / Chemiese Suiwerheid

99,99995%

热容 / Hitte kapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimasie Temperatuur

2700 ℃

抗弯强度 / Buigkrag

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young se Modulus

430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃

导热系数 / ThermalGeleidingsvermoë

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Vorige:
  • Volgende:

  • WhatsApp aanlynklets!