Vat susceptor is a sleutelkomponent wat in verskeie halfgeleiervervaardigingsprosesse gebruik word.Ons gebruik ons gepatenteerde tegnologie om dievatopnemermetuiters hoë suiwerheid,goeddeklaageenvormigheiden 'n uitstekende dienslewe, sowel ashoë chemiese weerstand en termiese stabiliteit eienskappe.
VET Energie is dieregte vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met CVD-bedekking,kan verskafverskeiepasgemaakte onderdele vir halfgeleier- en fotovoltaïese industrie. Our tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings verskafvir jou.
Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf,enhet 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie uitgewerk, wat die binding tussen die laag en die substraat stywer en minder geneig tot losmaak kan maak.
Fkenmerke van ons produkte:
1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand tot 1700℃.
2. Hoë suiwerheid entermiese eenvormigheid
3. Uitstekende weerstand teen korrosie: suur, alkali, sout en organiese reagense.
4. Hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
5. Langer dienslewe en meer duursaam
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCdeklaag | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Tipiese waarde |
| 晶体结构 / Kristalstruktuur | FCC β fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Digtheid | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度（500g vrag） |
| 晶粒大小 / Graangrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemiese Suiwerheid | 99,99995% |
| 热容 / Hittekapasiteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimasie Temperatuur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Buigkrag | 415 MPa RT 4-punt |
| 杨氏模量 / Young se Modulus | 430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalGeleidingsvermoë | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!
