Soos hierbo getoon, is 'n tipiese
Die eerste helfte:
▪ Verhittingselement (verwarmingsspoel):
geleë rondom die oondbuis, gewoonlik gemaak van weerstandsdrade, wat gebruik word om die binnekant van die oondbuis te verhit.
▪ Kwartsbuis:
Die kern van 'n warm oksidasie-oond, gemaak van hoë-suiwer kwarts wat hoë temperature kan weerstaan en chemies inert bly.
▪ Gasvoer:
Geleë aan die bokant of kant van die oondbuis, word dit gebruik om suurstof of ander gasse na die binnekant van die oondbuis te vervoer.
▪ SS Flens:
komponente wat kwartsbuise en gaslyne verbind, wat die digtheid en stabiliteit van die verbinding verseker.
▪ Gastoevoerlyne:
Pype wat die MFC verbind met die gastoevoerpoort vir gastransmissie.
▪ MFC (massavloeibeheerder):
'n Toestel wat die vloei van gas binne 'n kwartsbuis beheer om die hoeveelheid gas wat benodig word presies te reguleer.
▪ Ventilasie:
Word gebruik om die uitlaatgas van die binnekant van die oondbuis na die buitekant van die toerusting te ventileer.
Onderste deel:
▪ Silikonwafels in houer:
Silikonwafels word in 'n spesiale houer gehuisves om eenvormige hitte tydens oksidasie te verseker.
▪ Wafelhouer:
Word gebruik om die silikonwafel vas te hou en te verseker dat die silikonwafer stabiel bly tydens die proses.
▪ Voetstuk:
'n Struktuur wat 'n silikonwafelhouer bevat, gewoonlik gemaak van 'n hoë temperatuurbestande materiaal.
▪ Hysbak:
Word gebruik om waferhouers in en uit kwartsbuise te lig vir outomatiese laai en aflaai van silikonwafers.
▪ Wafer Transfer Robot:
geleë aan die kant van die oondbuistoestel, word dit gebruik om die silikonwafer outomaties uit die boks te verwyder en dit in die oondbuis te plaas, of dit na verwerking te verwyder.
▪ Kassettebergingkarrousel:
Kassettebergingkarrousel word gebruik om 'n boks met silikonwafels te stoor en kan gedraai word vir robottoegang.
▪ Wafer Cassette:
wafer-kasset word gebruik om die silikonwafels wat verwerk moet word, te stoor en oor te dra.
Postyd: 22-Apr-2024