Grafietwafelboot vir afsetting

Kort beskrywing:

VET Energy grafiet wafer boot is 'n hoë-gehalte verbruiksgoedere wat aangepas is vir afsettingsprosesse in halfgeleier, fotovoltaïese en ander industrieë. Gemaak van hoë-suiwer, hoë-digtheid grafiet materiaal, hierdie produk het uitstekende hoë temperatuur weerstand, korrosie weerstand, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe, en kan 'n stabiele draer platform bied vir die afsetting proses om die eenvormigheid en platheid van dun film afsetting te verseker .

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

Die PECVD-grafietboot van VET Energy word vervaardig met isostatiese grafiet met 'n hoë suiwerheid, met porositeit onder 15% en oppervlakruwheid Ra≤1.6μm. Die voortreflike dimensionele stabiliteit en termiese geleidingsvermoë verseker eenvormige filmafsetting en verbeterde seldoeltreffendheid.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toets standaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaat digtheid	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termiese uitsetting (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonsel vervaardiging, ondersteun G12 groot-grootte wafel verwerking. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tik	Nommer wafer draer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepiet boot	144
	156-19 grepiet boot	216
	156-21 grepiet boot	240
	156-23 grafiet boot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepiet boot	196
	125-19 grepiet boot	252
	125-21 grphiet boot	280