PECVD Grafiet Wafer Ondersteuning

Kort beskrywing:

Ontwerp vir presisie en werkverrigting, VET Energy se Graphite Wafer Support is die ideale materiaal vir gebruik in gevorderde wafelverwerking, waar hoë termiese stabiliteit en konsekwente werkverrigting van kritieke belang is. Of jy nou met halfgeleierwafels of ander delikate substrate werk, hierdie hoëgehalte grafietondersteuning sal jou prosesbetroubaarheid en produkkwaliteit verbeter, wat dit 'n onontbeerlike komponent maak vir moderne vervaardiging.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

VET Energy PECVD proses grafiet wafel ondersteuning is 'n kern verbruiksgoedere ontwerp vir PECVD (plasma verbeterde chemiese dampneerslag) proses. Hierdie produk is gemaak van hoë-suiwerheid, hoë-digtheid grafiet materiaal, met 'n uitstekende hoë temperatuur weerstand, korrosie weerstand, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe, kan 'n stabiele ondersteuning platform vir PECVD proses bied, om die eenvormigheid en platheid van film afsetting te verseker.

Die "grafietondersteuning"-ontwerp van VET Energy-grafietwafelondersteuning kan nie net die wafel effektief ondersteun nie, maar bied ook termiese stabiliteit in die hoë temperatuur en hoë druk PECVD-omgewing om die stabiliteit van die proses te verseker.

VET Energy PECVD proses grafiet wafel ondersteuning het die volgende eienskappe:

▪Hoë suiwerheid:uiters lae onsuiwerheidsinhoud, vermy kontaminasie van die film, om die kwaliteit van die film te verseker.

▪Hoë digtheid:hoë digtheid, hoë meganiese sterkte, kan hoë temperatuur en hoë druk PECVD omgewing weerstaan.

▪Goeie dimensionele stabiliteit:klein dimensionele veranderinge by hoë temperatuur om die stabiliteit van die proses te verseker.

▪Uitstekende termiese geleidingsvermoë:dra effektief hitte oor om wafer-oorverhitting te voorkom.

▪Sterk weerstand teen korrosie:In staat om erosie deur verskeie korrosiewe gasse en plasma te weerstaan.

▪Pasgemaakte diens:Grafiet-ondersteuningstafels van verskillende groottes en vorms kan volgens klantbehoeftes aangepas word.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toets standaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaat digtheid	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termiese uitsetting (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonsel vervaardiging, ondersteun G12 groot-grootte wafel verwerking. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tik	Nommer wafer draer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepiet boot	144
	156-19 grepiet boot	216
	156-21 grepiet boot	240
	156-23 grafiet boot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepiet boot	196
	125-19 grepiet boot	252
	125-21 grphiet boot	280