Grafiet Draer vir PECVD proses

Kort beskrywing:

VET EnergiePECVD Grafietboot vir sonpaneel is 'n gevorderde komponent wat spesifiek ontwerp is vir die vervaardiging van hoëprestasie sonpanele. Gebruik in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) prosesse, verseker hierdie grafietboot optimale materiaalhantering en eenvormige afsetting van dun films op sonselle. Dit is ontwerp vir presisie en duursaamheid en bied uitstekende termiese geleidingsvermoë, hoë korrosiebestandheid en minimale besoedeling, wat noodsaaklik is vir die vervaardiging van doeltreffende, hoë-gehalte sonpanele.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

VET EnergiePECVD proses grafiet draer is 'n hoë-gehalte verbruiksgoedere wat aangepas is vir PECVD (plasma verbeterde chemiese dampneerslag) proses. Hierdie grafiet draer is gemaak van hoë-suiwer, hoë-digtheid grafiet materiaal, met uitstekende hoë temperatuur weerstand, korrosie weerstand, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe, kan 'n stabiele draer platform vir PECVD proses bied, om die eenvormigheid en platheid van dun film te verseker afsetting.

Grafietdraers vir PECVD-proses het die volgende eienskappe:

▪ Hoë suiwerheid: uiters lae onsuiwerheidsinhoud, vermy kontaminasie van die film en verseker filmkwaliteit.

▪ Hoë digtheid: hoë digtheid, hoë meganiese sterkte, in staat om hoë temperatuur en hoë druk PECVD omgewing te weerstaan.

▪ Goeie dimensionele stabiliteit: klein dimensionele verandering by hoë temperatuur, wat prosesstabiliteit verseker.

▪ Uitstekende termiese geleidingsvermoë: dra effektief hitte oor om oorverhitting van wafels te voorkom.

▪ Sterk weerstand teen korrosie: in staat om erosie deur verskeie korrosiewe gasse en plasma te weerstaan.

▪ Pasgemaakte diens: grafietdraers van verskillende groottes en vorms kan volgens klantbehoeftes aangepas word.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toets standaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaat digtheid	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termiese uitsetting (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonsel vervaardiging, ondersteun G12 groot-grootte wafel verwerking. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tik	Nommer wafer draer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepiet boot	144
	156-19 grepiet boot	216
	156-21 grepiet boot	240
	156-23 grafiet boot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepiet boot	196
	125-19 grepiet boot	252
	125-21 grphiet boot	280