VET EnergiePECVD grafietboot vir sonselle is 'n kernverbruiksartikel wat ontwerp is vir die PECVD (plasma-verbeterde chemiese dampneerslag) proses van sonselle. Die grafietboot is gemaak van hoë-suiwer isostatiese grafiet met 'n porositeit van minder as 15% en 'n oppervlakruwheid van Ra≤1.6μm. Dit het uitstekende eienskappe soos hoë temperatuurweerstand, korrosiebestandheid en dimensionele stabiliteit. Uitstekende dimensionele stabiliteit en termiese geleidingsvermoë verseker eenvormige filmafsetting en verbeter batterydoeltreffendheid. Dit kan 'n stabiele draer in 'n hoë-temperatuur- en hoëdruk-PECVD-omgewing verskaf om eenvormige afsetting en hoë kwaliteit van sonselfilms te verseker.
Grafietmateriaal van SGL:
| Tipiese parameter: R6510 | |||
| Indeks | Toets standaard | Waarde | Eenheid |
| Gemiddelde korrelgrootte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Grootmaat digtheid | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Oop porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Medium poriegrootte | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Deurlaatbaarheid | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hardheid HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifieke elektriese weerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Buigsterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druksterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young se modulus | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termiese uitsetting (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Termiese geleidingsvermoë (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonsel vervaardiging, ondersteun G12 groot-grootte wafel verwerking. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.
| Item | Tik | Nommer wafer draer |
| PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks | 156-13 grepiet boot | 144 |
| 156-19 grepiet boot | 216 | |
| 156-21 grepiet boot | 240 | |
| 156-23 grafiet boot | 308 | |
| PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks | 125-15 grepiet boot | 196 |
| 125-19 grepiet boot | 252 | |
| 125-21 grphiet boot | 280 |
