4 Duim GaN op SiC Wafer

Kort beskrywing:

VET Energy se 4-duim GaN op SiC-wafer is 'n revolusionêre produk op die gebied van kragelektronika. Hierdie wafer kombineer die uitstekende termiese geleidingsvermoë van silikonkarbied (SiC) met die hoë drywingsdigtheid en lae verlies aan galliumnitried (GaN), wat dit 'n ideale keuse maak vir die maak van hoëfrekwensie, hoëkragtoestelle. VET Energy verseker die uitstekende werkverrigting en konsekwentheid van die wafer deur gevorderde MOCVD epitaksiale tegnologie.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

VET Energy se produkreeks is nie beperk tot GaN op SiC-wafers nie. Ons verskaf ook 'n wye reeks halfgeleier substraat materiale, insluitend Si Wafer, SiC Substraat, SOI Wafer, SiN Substraat, Epi Wafer, ens. Daarbenewens ontwikkel ons ook aktief nuwe wye bandgap halfgeleier materiale, soos Gallium Oxide Ga2O3 en AlN Wafer, om aan die toekomstige kragelektronika-industrie se vraag na toestelle met hoër werkverrigting te voldoen.

VET Energy verskaf buigsame aanpassingsdienste, en kan GaN-epitaksiale lae van verskillende diktes, verskillende tipes doping en verskillende wafelgroottes aanpas volgens die spesifieke behoeftes van kliënte. Daarbenewens bied ons ook professionele tegniese ondersteuning en na-verkope diens om kliënte te help om vinnig hoë-prestasie krag elektroniese toestelle te ontwikkel.

WAFERING SPESIFIKASIES

*n-Pm=n-tipe Pm-graad,n-Ps=n-tipe Ps-graad,Sl=Semi-isolerend

Item	8-duim	6-duim			4-duim
Item	nP	n-nm	n-Ps	SI	SI
TTV (GBIR)	≤6um	≤6um
Boog(GF3YFCD)-absolute waarde	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp (GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Wafer Edge	Afskuining

OPPERVLAK AFWERKING

*n-Pm=n-tipe Pm-graad,n-Ps=n-tipe Ps-graad,Sl=Semi-isolerend

Item	8-duim	6-duim			4-duim
	nP	n-nm	n-Ps	SI	SI
Oppervlakafwerking	Dubbelkant Optiese Pools, Si-Face CMP
Oppervlakruwheid	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Gesig Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Gesig Ra≤0.5nm
Randskyfies	Geen toegelaat nie (lengte en breedte≥0.5mm)
Inkepings	Geen toegelaat nie
Skrape (Si-Face)	Aantal.≤5, Kumulatief Lengte≤0.5×wafeldiameter	Aantal.≤5, Kumulatief Lengte≤0.5×wafeldiameter			Aantal.≤5, Kumulatief Lengte≤0.5×wafeldiameter
Krake	Geen toegelaat nie
Rand-uitsluiting	3 mm