Awọn paati lẹẹdi mimọ-giga jẹ pataki siawọn ilana ni semikondokito, LED ati ile-iṣẹ oorun. Ifunni wa ni awọn sakani lati awọn ohun elo graphite fun awọn agbegbe gbigbona ti o dagba kirisita (awọn igbona, awọn ifura crucible, idabobo), si awọn ohun elo graphite ti o ga-giga fun ohun elo iṣelọpọ wafer, gẹgẹ bi awọn susceptors graphite ti silicon carbide fun Epitaxy tabi MOCVD. Eleyi ni ibi ti wa nigboro graphite wa sinu play: isostatic graphite jẹ Pataki fun isejade ti yellow semikondokito layers.These ti wa ni ipilẹṣẹ ni "gbona agbegbe" labẹ awọn iwọn otutu nigba ti ki-npe ni epitaxy, tabi MOCVD ilana. Awọn ti ngbe yiyi lori eyi ti awọn wafers ti wa ni ti a bo ni riakito, oriširiši ohun alumọni carbide-ti a bo isostatic lẹẹdi. Nikan mimọ pupọ yii, lẹẹdi isokan pade awọn ibeere giga ninu ilana ti a bo.
To ipilẹ opo ti LED epitaxial wafer idagbasoke ni: lori sobusitireti kan (nipataki oniyebiye, SiC ati Si) kikan si iwọn otutu ti o yẹ, ohun elo gaseous InGaAlP ti gbe lọ si dada sobusitireti ni ọna iṣakoso lati dagba fiimu kan pato kan. Ni lọwọlọwọ, imọ-ẹrọ idagbasoke ti LED epitaxial wafer ni akọkọ gba ifisilẹ ikemika irin Organic.
LED epitaxial sobusitireti ohun elojẹ okuta igun-ile ti idagbasoke imọ-ẹrọ ti ile-iṣẹ ina ina semikondokito. Awọn ohun elo sobusitireti oriṣiriṣi nilo imọ-ẹrọ idagba epitaxial wafer oriṣiriṣi LED, imọ-ẹrọ sisẹ chirún ati imọ-ẹrọ iṣakojọpọ ẹrọ. Awọn ohun elo sobusitireti pinnu ọna idagbasoke ti imọ-ẹrọ ina semikondokito.
Awọn abuda ti yiyan ohun elo sobusitireti wafer epitaxial LED:
1. Awọn ohun elo epitaxial ni o ni kanna tabi iru gara be pẹlu sobusitireti, kekere latissi ibakan ibakan, crystallinity ti o dara ati kekere iwuwo abawọn.
2. Awọn abuda wiwo ti o dara, ti o tọ si iparun ti awọn ohun elo epitaxial ati ifaramọ ti o lagbara
3. O ni iduroṣinṣin kemikali to dara ati pe ko rọrun lati decompose ati ibajẹ ni iwọn otutu ati oju-aye ti idagbasoke epitaxial.
4. Iṣẹ iṣe igbona ti o dara, pẹlu imudara igbona ti o dara ati aiṣedeede igbona kekere
5. Iwa-ara ti o dara, le ṣee ṣe si oke ati isalẹ 6, iṣẹ opiti ti o dara, ati ina ti o jade nipasẹ ẹrọ ti a ṣe ni o kere si nipasẹ sobusitireti.
7. Awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara ati ṣiṣe irọrun ti awọn ẹrọ, pẹlu tinrin, didan ati gige
8. Owo kekere.
9. Ti o tobi iwọn. Ni gbogbogbo, iwọn ila opin ko yẹ ki o kere ju 2 inches.
10. O ti wa ni rorun lati gba deede apẹrẹ sobusitireti (ayafi ti nibẹ ni o wa miiran pataki awọn ibeere), ati awọn sobusitireti apẹrẹ iru si iho atẹ ti epitaxial ẹrọ ni ko rorun lati dagba alaibamu Eddy lọwọlọwọ, ki bi lati ni ipa awọn epitaxial didara.
11. Lori ipilẹ ti ko ni ipa lori didara epitaxial, ẹrọ ti sobusitireti yoo pade awọn ibeere ti chirún ti o tẹle ati iṣakojọpọ bi o ti ṣee ṣe.
O nira pupọ fun yiyan ti sobusitireti lati pade awọn aaye mọkanla loke ni akoko kanna. Nitorinaa, ni lọwọlọwọ, a le ṣe deede si R & D nikan ati iṣelọpọ ti awọn ẹrọ ina-emitting semikondokito lori awọn sobusitireti oriṣiriṣi nipasẹ iyipada ti imọ-ẹrọ idagbasoke epitaxial ati atunṣe ti imọ-ẹrọ ṣiṣe ẹrọ. Ọpọlọpọ awọn ohun elo sobusitireti wa fun iwadii gallium nitride, ṣugbọn awọn sobusitireti meji nikan lo wa ti o le ṣee lo fun iṣelọpọ, eyun sapphire Al2O3 ati silikoni carbideSiC sobsitireti.
Akoko ifiweranṣẹ: Kínní-28-2022