סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג כיטער

וועטערינאַר-טשיינאַסיליציום קאַרבידע סעראַמיקקאָוטינג איז אַ הויך-פאָרשטעלונג פּראַטעקטיוו קאָוטינג געמאכט פון גאָר שווער און טראָגן-קעגנשטעליקסיליציום קאַרבידע (SiC)מאַטעריאַל, וואָס גיט ויסגעצייכנט כעמישער קעראָוזשאַן קעגנשטעל און הויך-טעמפּעראַטור פעסטקייַט. די קעראַקטעריסטיקס זענען קריטיש אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע, אַזויסיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינגאיז וויידלי געניצט אין שליסל קאַמפּאָונאַנץ פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג ויסריכט.

די ספּעציפיש ראָלע פון ​​וועטער-טשיינאַסיליציום קאַרבידע סעראַמיקקאָוטינג אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע איז ווי גייט:

פֿאַרבעסערן די געווער פון ויסריכט:סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג גיט ויסגעצייכנט ייבערפלאַך שוץ פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג ויסריכט מיט זייער הויך כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל. ספּעציעל אין הויך-טעמפּעראַטור און העכסט קעראָוסיוו פּראָצעס ינווייראַנמאַנץ, אַזאַ ווי כעמיש פארע דעפּאַזישאַן (CVD) און פּלאַזמע עטשינג, די קאָוטינג קענען יפעקטיוולי פאַרמייַדן די ייבערפלאַך פון די עקוויפּמענט פון דאַמידזשד דורך כעמישער יראָוזשאַן אָדער גשמיות טראָגן, און דערמיט באטייטיק פאַרברייטערן די דינסט לעבן פון די עקוויפּמענט. די ויסריכט און רידוסינג דאַונטיים געפֿירט דורך אָפט פאַרבייַט און פאַרריכטן.

פֿאַרבעסערן פּראָצעס ריינקייַט:אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, קליינטשיק קאַנטאַמאַניישאַן קען פאַרשאַפן פּראָדוקט חסרונות. די כעמישער ינערטנאַס פון סיליקאָן קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג אַלאַוז עס צו בלייַבן סטאַביל אונטער עקסטרעם טנאָים, פּרעווענטינג די מאַטעריאַל פון ריליסינג פּאַרטיקאַלז אָדער ימפּיוראַטיז, דערמיט ינשורינג די ינווייראַנמענאַל ריינקייַט פון דעם פּראָצעס. דאָס איז דער הויפּט וויכטיק פֿאַר מאַנופאַקטורינג סטעפּס וואָס דאַרפן הויך פּינטלעכקייַט און הויך ריינקייַט, אַזאַ ווי PECVD און יאָן ימפּלאַנטיישאַן.

אָפּטימיזירן טערמאַל פאַרוואַלטונג:אין הויך-טעמפּעראַטור סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג, אַזאַ ווי גיך טערמאַל פּראַסעסינג (רטפּ) און אַקסאַדיישאַן פּראַסעסאַז, די הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג ינייבאַלז מונדיר טעמפּעראַטור פאַרשפּרייטונג אין די ויסריכט. דאָס העלפּס צו רעדוצירן טערמאַל דרוק און מאַטעריאַל דיפאָרמיישאַן געפֿירט דורך טעמפּעראַטור פלאַקטשויישאַנז, דערמיט ימפּרוווינג די אַקיעראַסי און קאָנסיסטענסי פון פּראָדוקט מאַנופאַקטורינג.

שטיצן קאָמפּלעקס פּראָצעס ינווייראַנמאַנץ:אין פּראַסעסאַז וואָס דאַרפן קאָמפּלעקס אַטמאָספער קאָנטראָל, אַזאַ ווי ICP עטשינג און PSS עטשינג פּראַסעסאַז, די פעסטקייַט און אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל פון סיליציום קאַרבידע סעראַמיק קאָוטינג ינשורז אַז די עקוויפּמענט האלט סטאַביל פאָרשטעלונג אין לאַנג-טערמין אָפּעראַציע, רידוסינג די ריזיקירן פון מאַטעריאַל דערנידעריקונג אָדער עקוויפּמענט שעדיקן. צו ינווייראַנמענאַל ענדערונגען.