די אַוואַנסירטעסיק קאַנטילעווער רודערפֿאַר וואַפער פּראַסעסינג באשאפן דורך וועטערינאַר-טשיינאַ גיט אַ ויסגעצייכנט לייזונג פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג. דער שטאַפּל פון רודער איז געמאכט פון סיק (סיליציום קאַרבידע) מאַטעריאַל, און זיין הויך כאַרדנאַס און היץ קעגנשטעל געבן עס צו האַלטן ויסגעצייכנט פאָרשטעלונג אין הויך טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ. דער פּלאַן פון די קאַנטילעווער פּאַדלע אַלאַוז די ווייפער צו זיין רילייאַבלי געשטיצט בעשאַס פּראַסעסינג, רידוסינג די ריזיקירן פון פראַגמאַנטיישאַן און שעדיקן.
סיק קאַנטילעווער רודעראיז אַ ספּעשאַלייזד קאָמפּאָנענט געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג עקוויפּמענט אַזאַ ווי אַקסאַדיישאַן אויוון, דיפיוזשאַן אויוון, און אַנילינג אויוון, די הויפּט נוצן איז פֿאַר לאָודינג און אַנלאָודינג ווייפער, שטיצט און טראַנספּאָרץ ווייפערז בעשאַס הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז.
פּראָסט סטראַקטשערזפוןSiCcאַנטילעווערpאַדדלע: אַ קאַנטילעווער סטרוקטור, פאַרפעסטיקט אין איין סוף און פריי אין די אנדערע, טיפּיקלי האט אַ פלאַך און רודער-ווי פּלאַן.
VET ענערגיע נוצן הויך ריינקייַט רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע מאַטעריאַלס צו גאַראַנטירן די קוואַליטעט.
גשמיות פּראָפּערטיעס פון רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע | |
פאַרמאָג | טיפּיש ווערט |
ארבעטן טעמפּעראַטור (°C) | 1600 ° C (מיט זויערשטאָף), 1700 ° C (רידוסינג סוויווע) |
SiC אינהאַלט | > 99.96% |
Free סי אינהאַלט | < 0.1% |
פאַרנעם געדיכטקייַט | 2.60-2.70 ג / סענטימעטער3 |
קלאָר פּאָראָסיטי | < 16% |
קאַמפּרעשאַן שטאַרקייַט | > 600מפּאַ |
קאַלט בענדינג שטאַרקייַט | 80-90 מפּאַ (20 °C) |
הייס בענדינג שטאַרקייַט | 90-100 מפּאַ (1400 ℃) |
טערמאַל יקספּאַנשאַן @1500 °C | 4.70 10-6/°C |
טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי @1200 °C | 23װ/מ•ק |
עלאַסטיק מאָדולע | 240 גפּאַ |
טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל | גאָר גוט |
די אַדוואַנטידזשיז פון VET Energy Advanced SiC קאַנטילעווער רודער פֿאַר וואַפער פּראַסעסינג זענען:
- הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט: ניצלעך אין ינווייראַנמאַנץ העכער 1600 ° C;
- נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט: מיינטיינז דימענשאַנאַל פעסטקייַט, רידוסינג ווייפער וואָרפּאַגע ריזיקירן;
-הויך ריינקייַט: נידעריקער ריזיקירן פון מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן;
-כעמיש ינערטנאַס: קעראָוזשאַן-קעגנשטעליק, פּאַסיק פֿאַר פאַרשידן גאַז ינווייראַנמאַנץ;
- הויך שטאַרקייַט און כאַרדנאַס: טראָגן-קעגנשטעליק, לאַנג דינסט לעבן;
-גוט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: העלפּס אין מונדיר ווייפער באַהיצונג.