SiC phủ Graphite Susceptor và Carrier cho wafer

Hình ảnh nổi bật về Graphite Susceptor và Carrier phủ SiC cho wafer

Mô tả ngắn gọn:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất nhất quán và đáng tin cậy trong thời gian dài. Nó có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt cực tốt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến nó trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Vật liệu:Graphite đẳng tĩnh có độ tinh khiết cao

Thanh lọc: <5ppm

Lớp phủ:CVD-SiC, CVD-TaC, Pyro-carbon

OEM/ODM:Có sẵn

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

SiC phủ graphite suscetporlà một thành phần chính được sử dụng trong nhiều quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chúng tôi sử dụng công nghệ được cấp bằng sáng chế của mình để sản xuất suscetpor phủ SiC có độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều lớp phủ tốt và tuổi thọ tuyệt vời, cũng như khả năng chống hóa chất và tính ổn định nhiệt cao.

Tính năng của sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700℃.
2. Độ tinh khiết cao và đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn

CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 / Giá trị điển hình
晶体结构 / Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn β của FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21g/cm³
硬度 / Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2~10μm
纯度 / Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Nhiệt dung	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa	2700℃
抗弯强度 / Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 / Môđun Young	430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃
导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Sự giãn nở vì nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào hoạt động R&D và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp như than chì, silicon carbide, thạch anh, cũng như xử lý vật liệu như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Nhà máy riêng và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Mức độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;

Chúng tôi hoan nghênh bạn đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!