Tấm wafer silicon 8 inch đơn tinh thể của VET Energy là giải pháp hàng đầu trong ngành để chế tạo thiết bị bán dẫn và điện tử. Mang lại độ tinh khiết vượt trội và cấu trúc tinh thể, những tấm bán dẫn này lý tưởng cho các ứng dụng hiệu suất cao trong cả ngành công nghiệp quang điện và bán dẫn. VET Energy đảm bảo rằng mọi tấm wafer đều được xử lý tỉ mỉ để đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất, mang lại độ đồng đều tuyệt vời và bề mặt mịn màng, những điều cần thiết cho quá trình sản xuất thiết bị điện tử tiên tiến.
Các tấm silicon 8 inch đơn tinh thể này tương thích với nhiều loại vật liệu, bao gồm Si wafer, SiC Substrate, SOI wafer, SiN Substrate và đặc biệt phù hợp cho sự phát triển của Epi Wafer. Tính dẫn nhiệt và tính chất điện vượt trội của chúng khiến chúng trở thành sự lựa chọn đáng tin cậy cho hoạt động sản xuất hiệu quả cao. Ngoài ra, các tấm bán dẫn này được thiết kế để hoạt động liền mạch với các vật liệu như Gallium Oxide Ga2O3 và AlN Wafer, cung cấp nhiều ứng dụng từ điện tử công suất đến thiết bị RF. Các tấm bán dẫn cũng hoàn toàn phù hợp với hệ thống Cassette dành cho môi trường sản xuất tự động, khối lượng lớn.
Dòng sản phẩm của VET Energy không chỉ giới hạn ở tấm silicon. Chúng tôi cũng cung cấp nhiều loại vật liệu nền bán dẫn, bao gồm Chất nền SiC, Tấm wafer SOI, Chất nền SiN, Tấm wafer Epi, v.v., cũng như các vật liệu bán dẫn có dải thông rộng mới như Gallium Oxide Ga2O3 và AlN wafer. Những sản phẩm này có thể đáp ứng nhu cầu ứng dụng của các khách hàng khác nhau trong lĩnh vực điện tử công suất, tần số vô tuyến, cảm biến và các lĩnh vực khác.
VET Energy cung cấp cho khách hàng các giải pháp wafer tùy chỉnh. Chúng tôi có thể tùy chỉnh các tấm wafer với điện trở suất, hàm lượng oxy, độ dày, v.v. khác nhau theo nhu cầu cụ thể của khách hàng. Ngoài ra, chúng tôi còn cung cấp dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật và hậu mãi chuyên nghiệp để giúp khách hàng giải quyết các vấn đề khác nhau gặp phải trong quá trình sản xuất.
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
*n-Pm=n-loại Pm-Cấp,n-Ps=n-loại Ps-Cấp,Sl=bán cách điện
Mục | 8 inch | 6 inch | 4 inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | 6um | 6um | |||
Cung(GF3YFCD)-Giá trị tuyệt đối | 15μm | 15μm | 25μm | 15μm | |
Cong vênh (GF3YFER) | 25μm | 25μm | 40μm | 25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
cạnh wafer | vát mép |
HOÀN THIỆN BỀ MẶT
*n-Pm=n-loại Pm-Cấp,n-Ps=n-loại Ps-Cấp,Sl=bán cách điện
Mục | 8 inch | 6 inch | 4 inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Hoàn thiện bề mặt | Đánh bóng quang học hai mặt,Si-Face CMP | ||||
Độ nhám bề mặt | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Mặt Ra<0.2nm | |||
Chip cạnh | Không được phép (chiều dài và chiều rộng ≥0,5mm) | ||||
Thụt lề | Không được phép | ||||
Vết xước (Si-Mặt) | Số lượng.<5, Tích lũy | Số lượng.<5, Tích lũy | Số lượng.<5, Tích lũy | ||
vết nứt | Không được phép | ||||
Loại trừ cạnh | 3mm |