Olovli quvur uskunasining ichki tuzilishi batafsil tushuntirilgan

Yuqorida ko'rsatilganidek, odatiy hisoblanadi

Birinchi yarmi:

▪ Isitish elementi (isitish batareyasi):

o'choq trubkasi atrofida joylashgan, odatda qarshilik simlaridan yasalgan, o'choq trubasining ichki qismini isitish uchun ishlatiladi.

▪ Kvars trubkasi:

Yuqori haroratga bardosh beradigan va kimyoviy jihatdan inert bo'lib qoladigan yuqori toza kvartsdan tayyorlangan issiq oksidlanish pechining yadrosi.

▪ Gaz ta'minoti:

Pech trubasining yuqori yoki yon tomonida joylashgan bo'lib, u kislorod yoki boshqa gazlarni o'choq trubasining ichki qismiga o'tkazish uchun ishlatiladi.

▪ SS gardish:

kvarts quvurlari va gaz quvurlarini birlashtiruvchi komponentlar, ulanishning mustahkamligi va barqarorligini ta'minlaydi.

▪ Gaz uzatish liniyalari:

MFCni gazni uzatish uchun gaz ta'minoti portiga ulaydigan quvurlar.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Kerakli gaz miqdorini aniq tartibga solish uchun kvarts trubkasi ichidagi gaz oqimini boshqaradigan qurilma.

▪ Shamollatish:

Egzoz gazini o'choq trubkasi ichidan uskunaning tashqi tomoniga chiqarish uchun ishlatiladi.

Pastki qismi:

▪ Tutqichdagi kremniy gofretlari:

Silikon gofretlar oksidlanish vaqtida bir xil issiqlikni ta'minlash uchun maxsus ushlagichga joylashtirilgan.

▪ Gofret ushlagichi:

Silikon gofretni ushlab turish va silikon gofretning jarayon davomida barqaror bo'lishini ta'minlash uchun ishlatiladi.

▪ Poydevor:

Odatda yuqori haroratga chidamli materialdan tayyorlangan silikon gofret ushlagichini ushlab turadigan struktura.

▪ Lift:

Silikon gofretlarni avtomatik yuklash va tushirish uchun kvarts trubkalariga vafer ushlagichlarini ko'tarish uchun ishlatiladi.

▪ Gofret uzatish roboti:

o'choq trubkasi qurilmasining yon tomonida joylashgan bo'lib, u kremniy gofretni qutidan avtomatik ravishda olib tashlash va uni o'choq trubkasiga joylashtirish yoki ishlov berishdan keyin uni olib tashlash uchun ishlatiladi.