Yuqorida ko'rsatilganidek, odatiy hisoblanadi
Birinchi yarmi:
Isitish elementi (isitish batareyasi): o'choq trubkasi atrofida joylashgan, odatda qarshilik simlaridan yasalgan, o'choq trubasining ichki qismini isitish uchun ishlatiladi.
Kvarts trubkasi: Yuqori haroratga bardosh beradigan va kimyoviy jihatdan inert bo'lib qoladigan yuqori toza kvartsdan tayyorlangan issiq oksidlanish pechining yadrosi.
Gaz ta'minoti: o'choq trubasining yuqori yoki yon tomonida joylashgan bo'lib, u kislorod yoki boshqa gazlarni o'choq trubasining ichki qismiga tashish uchun ishlatiladi.
SS gardish: kvarts quvurlari va gaz quvurlarini bog'laydigan komponentlar, ulanishning mustahkamligi va barqarorligini ta'minlaydi.
Gaz uzatish liniyalari: MFC ni gaz uzatish uchun gaz ta'minoti portiga ulaydigan quvurlar.
MFC (Mass Flow Controller) : Kerakli gaz miqdorini aniq tartibga solish uchun kvarts trubkasi ichidagi gaz oqimini boshqaradigan qurilma.
Shamollatish: chiqindi gazni o'choq trubkasi ichidan uskunaning tashqi tomoniga chiqarish uchun ishlatiladi.
Pastki qismi
Tutqichdagi silikon gofretlar: Oksidlanish vaqtida bir xil issiqlikni ta'minlash uchun silikon gofretlar maxsus ushlagichga joylashtirilgan.
Gofret ushlagichi: silikon gofretni ushlab turish va jarayon davomida kremniy gofreti barqaror turishini ta'minlash uchun ishlatiladi.
Poydevor: Odatda yuqori haroratga chidamli materialdan tayyorlangan kremniy gofret ushlagichini ushlab turadigan struktura.
Lift: Silikon gofretlarni avtomatik yuklash va tushirish uchun kvarts trubkalariga vafli ushlagichlarni ko'tarish uchun ishlatiladi.
Gofret uzatish roboti: o'choq trubkasi qurilmasining yon tomonida joylashgan bo'lib, u kremniy gofretni qutidan avtomatik ravishda olib tashlash va uni o'choq trubkasiga joylashtirish yoki ishlov berilgandan keyin olib tashlash uchun ishlatiladi.
Kassetani saqlash karuseli: kassetani saqlash karuseli kremniy gofretlari bo'lgan qutini saqlash uchun ishlatiladi va robotga kirish uchun aylantirilishi mumkin.
Gofret kassetasi: gofret kassetasi qayta ishlanadigan kremniy gofretlarni saqlash va uzatish uchun ishlatiladi.
Xabar vaqti: 22-aprel-2024