Yuqori tozalikdagi CVD qattiq SiC Bulk

Yuqori tozalikdagi CVD Solid SiC Bulk Tanlangan rasm

Qisqacha tavsif:

CVD-SiC ommaviy manbalari (Kimyoviy bug 'birikishi - SiC) yordamida SiC monokristallarining tez o'sishi yuqori sifatli SiC monokristalli materiallarni tayyorlashning keng tarqalgan usuli hisoblanadi. Ushbu monokristallar turli xil ilovalarda, jumladan, yuqori quvvatli elektron qurilmalarda, optoelektronik qurilmalarda, datchiklarda va yarim o'tkazgich qurilmalarda ishlatilishi mumkin.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

VET Energy ultra yuqori tozalikdan foydalanadikremniy karbid (SiC)kimyoviy bug'larning cho'kishi natijasida hosil bo'ladi(CVD)etishtirish uchun manba sifatidaSiC kristallarijismoniy bug 'tashilishi (PVT). PVT da manba material a ga yuklanaditigelva urug'lik kristaliga sublimatsiya qilinadi.

Yuqori sifatli ishlab chiqarish uchun yuqori tozalik manbai talab qilinadiSiC kristallari.

VET Energy PVT uchun katta zarrachali SiC ta'minlashga ixtisoslashgan, chunki u Si va C o'z ichiga olgan gazlarning o'z-o'zidan yonishi natijasida hosil bo'lgan kichik zarrachali materialga qaraganda yuqori zichlikka ega. Qattiq fazali sinterlash yoki Si va C reaktsiyasidan farqli o'laroq, u maxsus sinterlash pechini yoki o'sish pechida ko'p vaqt talab qiladigan sinterlash bosqichini talab qilmaydi. Ushbu yirik zarrachali material deyarli doimiy bug'lanish tezligiga ega, bu esa yugurishning bir xilligini yaxshilaydi.

Kirish:
1. CVD-SiC blok manbasini tayyorlang: Birinchidan, yuqori sifatli CVD-SiC blok manbasini tayyorlashingiz kerak, bu odatda yuqori toza va yuqori zichlikka ega. Bu tegishli reaksiya sharoitida kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) usuli bilan tayyorlanishi mumkin.

2. Substrat tayyorlash: SiC monokristal o'sishi uchun substrat sifatida tegishli substratni tanlang. Keng tarqalgan ishlatiladigan substrat materiallari orasida o'sib borayotgan SiC monokristaliga yaxshi mos keladigan silikon karbid, kremniy nitridi va boshqalar kiradi.

3. Isitish va sublimatsiya: CVD-SiC blok manbasini va substratni yuqori haroratli pechga joylashtiring va tegishli sublimatsiya sharoitlarini ta'minlang. Sublimatsiya deganda, yuqori haroratda blok manbai to'g'ridan-to'g'ri qattiq holatdan bug 'holatiga o'tadi va keyin bitta kristall hosil qilish uchun substrat yuzasida qayta kondensatsiyalanadi.

4. Haroratni nazorat qilish: Sublimatsiya jarayonida blok manbasining sublimatsiyasini va yagona kristallarning o'sishini rag'batlantirish uchun harorat gradienti va harorat taqsimotini aniq nazorat qilish kerak. Tegishli haroratni nazorat qilish ideal kristal sifati va o'sish tezligiga erishishi mumkin.

5. Atmosferani nazorat qilish: Sublimatsiya jarayonida reaktsiya atmosferasini ham nazorat qilish kerak. Yuqori tozalikdagi inert gaz (masalan, argon) odatda tegishli bosim va tozalikni saqlash va aralashmalar bilan ifloslanishni oldini olish uchun tashuvchi gaz sifatida ishlatiladi.

6. Yagona kristalli o'sish: CVD-SiC blok manbai sublimatsiya jarayonida bug 'fazasi o'tishini boshdan kechiradi va bitta kristalli strukturani hosil qilish uchun substrat yuzasida qayta kondensatsiyalanadi. SiC monokristallarining tez o'sishiga tegishli sublimatsiya sharoitlari va harorat gradientini nazorat qilish orqali erishish mumkin.