Epitaksial epi grafit barrel ushlagichi

Epitaksial epi grafit barrel ushlagichi

Epitaksial epi grafit barrel ushlagichiCho'kma yoki Epitaksiya jarayonlari kabi ishlab chiqarish jarayonlarida yarimo'tkazgichli substratlarni ushlab turish va isitish uchun ishlatiladigan maxsus mo'ljallangan qo'llab-quvvatlash va isitish moslamasi.

Uning tuzilishi odatda silindrsimon yoki bir oz barrel shaklidagi, sirt xususiyatlari gofretlarni joylashtirish uchun bir nechta cho'ntaklar yoki platformalarni o'z ichiga oladi, isitish usuliga qarab qattiq yoki ichi bo'sh dizayn bo'lishi mumkin.

Epitaksial barrel sezgichining asosiy funktsiyalari:

-Substratni qo'llab-quvvatlash: bir nechta yarimo'tkazgichli gofretlarni ishonchli ushlab turadi;
-Issiqlik manbai: isitish orqali o'sish uchun zarur bo'lgan yuqori haroratni ta'minlaydi;
-haroratning bir xilligi: tagliklarning bir xil qizdirilishini ta'minlaydi;
- Aylanish: odatda harorat va gaz taqsimotining bir xilligini yaxshilash uchun o'sish jarayonida aylanadi.

Epi grafitli barrel ushlagichining ishlash printsipi:
- Epitaksial reaktorda barrel sezgichi kerakli haroratgacha isitiladi (odatda kremniy epitaksi uchun 1000℃-1200℃);
-barrel sensori haroratning bir xil taqsimlanishi va gaz oqimini ta'minlash uchun aylanadi;
-Reaksiya gazlari yuqori haroratda parchalanib, taglik yuzasida epitaksial qatlamlarni hosil qiladi.

Ilovalar:
-Asosan kremniy epitaksial o'sishi uchun ishlatiladi
- GaAs, InP va boshqalar kabi boshqa yarimo'tkazgich materiallarining epitaksisi uchun ham amal qiladi.

VET Energy kimyoviy barqarorlikni oshirish uchun CVD-SiC qoplamali yuqori toza grafitdan foydalanadi:

VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorning afzalliklari:

- Yuqori harorat barqarorligi;
- yaxshi issiqlik bir xilligi;
-Bir vaqtning o'zida bir nechta substratlarni qayta ishlash, ishlab chiqarish samaradorligini oshirish;
- Kimyoviy inert, yuqori tozalikdagi o'sish muhitini saqlab turish.