SiC epitaksial uskunada ishlatiladigan SiC qoplangan yarim oy qismli tambur

SiC epitaksial uskunada ishlatiladigan SiC qoplamali yarim oy qismli baraban Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

Mahsulotni joriy etish va ishlatish: Ulangan kvarts trubkasi, taglik tagining aylanishini, haroratni nazorat qilish uchun gazni o'tkazishi mumkin

Mahsulotning qurilma joylashuvi: reaktsiya kamerasida, gofret bilan bevosita aloqada emas

Asosiy quyi oqim mahsulotlari: quvvat qurilmalari

Asosiy terminal bozori: yangi energiya vositalari

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

SiC qoplangan grafit yarim oy qismiis a kalityarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida, ayniqsa SiC epitaksial uskunalari uchun ishlatiladigan komponent.Yarim oy qismini yaratish uchun biz patentlangan texnologiyamizdan foydalanamizjuda yuqori tozalik,yaxshiqoplamabir xillikva mukammal xizmat muddati, shu qatorda; shu bilan birgayuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlik xususiyatlari.

VET Energy hisoblanadi theCVD qoplamali moslashtirilgan grafit va kremniy karbid mahsulotlarini haqiqiy ishlab chiqaruvchisi,yetkazib berishi mumkinhar xilyarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoat uchun moslashtirilgan qismlar. OSizning texnik guruhingiz eng yaxshi mahalliy tadqiqot institutlaridan keladi, ko'proq professional moddiy echimlarni taqdim etishi mumkinsiz uchun.

Biz ilg'or materiallarni taqdim etish uchun ilg'or jarayonlarni doimiy ravishda ishlab chiqamiz,vaEksklyuziv patentlangan texnologiyani ishlab chiqdilar, bu qoplama va substrat o'rtasidagi bog'lanishni yanada qattiqroq va ajralishga kamroq moyil qiladi.

Fmahsulotlarimiz xususiyatlari:

1. 1700 gacha bo'lgan yuqori haroratli oksidlanish qarshiligi℃.
2. Yuqori tozalik vatermal bir xillik
3. Zo'r korroziyaga chidamlilik: kislota, gidroksidi, tuz va organik reagentlar.
4. Yuqori qattiqlik, ixcham sirt, mayda zarralar.
5. Xizmat muddati uzoqroq va bardoshli

CVD SiClíngíngíngíngyínín CVD SiC ning asosiy fizik xususiyatlariqoplama
mí / Mulk	chàngāngì / Oddiy qiymat
língíngín / Kristal tuzilishi	FCC b fazasimìní，sīngīdḺ（111）jàn
qín / Zichlik	3,21 g/sm³
lín / Qattiqlik	2500 língínín（500g yuk）
língjín / Don hajmi	2 ~ 10 mkm
yān / Kimyoviy tozalik	99,99995%
yān / Issiqlik sig'imi	640 J·kg^-1· K^-1
chàngìnìnẦ / Sublimatsiya harorati	2700 ℃
làngāngān / Egilish kuchi	415 MPa RT 4 nuqtali
mēngǎngín / Young moduli	430 Gpa 4pt egilish, 1300 ℃
língjíní / TermalO'tkazuvchanlik	300 Vt·m^-1· K^-1
língíngín / Termal kengayish (CTE)	4,5×10^-6K^-1