فرنس ٹیوب کے سامان کی اندرونی ساخت کی تفصیل سے وضاحت کی گئی ہے۔

جیسا کہ اوپر دکھایا گیا ہے، ایک عام ہے

پہلا نصف:

▪ حرارتی عنصر (حرارتی کوائل):

فرنس ٹیوب کے ارد گرد واقع ہے، جو عام طور پر مزاحمتی تاروں سے بنی ہوتی ہے، جو فرنس ٹیوب کے اندر کو گرم کرنے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔

▪ کوارٹج ٹیوب:

ایک گرم آکسیکرن بھٹی کا بنیادی حصہ، جو اعلیٰ طہارت کوارٹز سے بنا ہے جو زیادہ درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے اور کیمیائی طور پر غیر فعال رہ سکتا ہے۔

▪ گیس فیڈ:

فرنس ٹیوب کے اوپری یا طرف واقع ہے، یہ آکسیجن یا دیگر گیسوں کو فرنس ٹیوب کے اندر لے جانے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔

▪ ایس ایس فلانج:

وہ اجزاء جو کوارٹج ٹیوبوں اور گیس لائنوں کو جوڑتے ہیں، کنکشن کی سختی اور استحکام کو یقینی بناتے ہیں۔

▪ گیس فیڈ لائنز:

وہ پائپ جو MFC کو گیس کی ترسیل کے لیے گیس سپلائی پورٹ سے جوڑتے ہیں۔

▪ ایم ایف سی (ماس فلو کنٹرولر):

ایک آلہ جو کوارٹج ٹیوب کے اندر گیس کے بہاؤ کو کنٹرول کرتا ہے تاکہ مطلوبہ گیس کی مقدار کو درست طریقے سے منظم کیا جا سکے۔

▪ نکالنا:

ایگزاسٹ گیس کو فرنس ٹیوب کے اندر سے سامان کے باہر تک نکالنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔

نچلا حصہ:

▪ ہولڈر میں سلکان ویفرز:

آکسیڈیشن کے دوران یکساں گرمی کو یقینی بنانے کے لیے سلیکون ویفرز کو ایک خاص ہولڈر میں رکھا جاتا ہے۔

▪ ویفر ہولڈر:

سلکان ویفر کو پکڑنے اور اس بات کو یقینی بنانے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے کہ عمل کے دوران سلکان ویفر مستحکم رہے۔

▪ پیڈسٹل:

ایک ڈھانچہ جس میں سلکان ویفر ہولڈر ہوتا ہے، عام طور پر اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحم مواد سے بنا ہوتا ہے۔

▪ لفٹ:

ویفر ہولڈرز کو کوارٹج ٹیوبوں کے اندر اور باہر سلکان ویفرز کی خودکار لوڈنگ اور ان لوڈنگ کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔

▪ ویفر ٹرانسفر روبوٹ:

فرنس ٹیوب ڈیوائس کے سائیڈ پر واقع ہے، اس کا استعمال سلکان ویفر کو باکس سے خود بخود ہٹانے اور اسے فرنس ٹیوب میں رکھنے یا پروسیسنگ کے بعد ہٹانے کے لیے کیا جاتا ہے۔

▪ کیسٹ اسٹوریج کیروسل:

کیسٹ سٹوریج carousel کا استعمال ایک باکس کو ذخیرہ کرنے کے لیے کیا جاتا ہے جس میں سلکان ویفرز ہوتے ہیں اور روبوٹ تک رسائی کے لیے اسے گھمایا جا سکتا ہے۔

▪ ویفر کیسٹ:

ویفر کیسٹ کا استعمال سلیکون ویفرز کو پروسیس کرنے کے لیے ذخیرہ کرنے اور منتقل کرنے کے لیے کیا جاتا ہے۔