سلکان کاربائیڈ (SiC) ایک نیا کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر مواد ہے۔ سلکان کاربائیڈ میں ایک بڑا بینڈ گیپ (تقریباً 3 گنا سلکان)، اعلیٰ اہم فیلڈ طاقت (تقریباً 10 گنا سلکان)، اعلی تھرمل چالکتا (تقریباً 3 گنا سلکان) ہے۔ یہ اگلی نسل کا ایک اہم سیمی کنڈکٹر مواد ہے۔ SiC کوٹنگز سیمی کنڈکٹر انڈسٹری اور سولر فوٹوولٹکس میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں۔ خاص طور پر، ایل ای ڈی اور سی سنگل کرسٹل ایپیٹیکسی کے اپیٹیکسیل نمو میں استعمال ہونے والے سسیپٹرز کو SiC کوٹنگ کے استعمال کی ضرورت ہوتی ہے۔ لائٹنگ اور ڈسپلے انڈسٹری میں ایل ای ڈی کے مضبوط اوپر کی طرف رجحان، اور سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کی بھرپور ترقی کی وجہ سے،SiC کوٹنگ کی مصنوعاتامکانات بہت اچھے ہیں.
درخواست کا میدان
طہارت، SEM ساخت، موٹائی کا تجزیہسی سی کوٹنگ
سی وی ڈی کا استعمال کرتے ہوئے گریفائٹ پر ایس آئی سی کوٹنگز کی پاکیزگی 99.9995٪ تک زیادہ ہے۔ اس کی ساخت ایف سی سی ہے۔ گریفائٹ پر لیپت کردہ SiC فلمیں (111) پر مبنی ہیں جیسا کہ XRD ڈیٹا (تصویر 1) میں دکھایا گیا ہے جو اس کے اعلی کرسٹل معیار کو ظاہر کرتا ہے۔ سی سی فلم کی موٹائی بہت یکساں ہے جیسا کہ تصویر 2 میں دکھایا گیا ہے۔
تصویر 2: گریفائٹ پر بیٹا-SiC فلم کی SiC فلموں SEM اور XRD کی موٹائی کی وردی
CVD SiC پتلی فلم کا SEM ڈیٹا، کرسٹل کا سائز 2~1 Opm ہے۔
CVD SiC فلم کا کرسٹل ڈھانچہ چہرے پر مرکوز کیوبک ڈھانچہ ہے، اور فلم کی ترقی کی سمت 100٪ کے قریب ہے۔
سلکان کاربائیڈ (SiC) لیپتسنگل کرسٹل سلکان اور GaN ایپیٹیکسی کے لیے بیس بہترین بنیاد ہے، جو ایپیٹیکسی فرنس کا بنیادی جزو ہے۔ بڑے انٹیگریٹڈ سرکٹس کے لیے مونوکریسٹل لائن سلکان کے لیے بیس ایک کلیدی پروڈکشن لوازمات ہے۔ اس میں اعلی پاکیزگی، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، اچھی ہوا کی تنگی اور دیگر بہترین مادی خصوصیات ہیں۔
مصنوعات کی درخواست اور استعمال
سنگل کرسٹل سلکان ایپیٹیکسیل گروتھ کے لیے گریفائٹ بیس کوٹنگ Aixtron مشینوں وغیرہ کے لیے موزوں ہے کوٹنگ کی موٹائی: 90~150umWafer crater کا قطر 55mm ہے۔
پوسٹ ٹائم: مارچ 14-2022