Які методи приготування та експлуатаційні характеристики карбід-кремнієвого покриття, отриманого методом CVD?

CVD (хімічне осадження з парової фази) – це поширений метод отримання покриттів з карбіду кремнію.Покриття з карбіду кремнію CVDмають багато унікальних експлуатаційних характеристик. У цій статті буде представлено метод отримання карбідокремнієвого покриття методом химічного осадження (CVD) та його експлуатаційні характеристики.

1. Спосіб приготуванняCVD карбід-кремнієве покриття

Метод CVD перетворює газоподібні прекурсори на тверді покриття з карбіду кремнію за високих температур. Залежно від різних газоподібних прекурсорів, його можна розділити на газофазний CVD та рідкофазний CVD.

1. ХПВД у парофазній фазі

Газофазна хіміохімічна обробка (ХПГ) використовує газоподібні прекурсори, зазвичай кремнійорганічні сполуки, для досягнення росту плівок карбіду кремнію. До поширених кремнійорганічних сполук належать метилсилан, диметилсилан, моносилан тощо, які утворюють плівки карбіду кремнію на металевих підкладках шляхом транспортування газоподібних прекурсорів у високотемпературні реакційні камери. Високотемпературні області в реакційній камері зазвичай створюються індукційним або резистивним нагріванням.

2. Рідкофазна хіміохімічна обробка (ХФО)

Рідкофазна CVD використовує рідкий прекурсор, зазвичай органічний розчинник, що містить кремній та силанольну сполуку, який нагрівається та випаровується в реакційній камері, а потім на підкладці в результаті хімічної реакції утворюється плівка карбіду кремнію.

2. Характеристики продуктивностіCVD карбід-кремнієве покриття

1. Відмінна продуктивність при високих температурах

Покриття з карбіду кремнію CVDзабезпечують чудову стабільність до високих температур та стійкість до окислення. Здатний працювати в умовах високих температур та витримувати екстремальні умови за високих температур.

2. Гарні механічні властивості

CVD карбід-кремнієве покриттямає високу твердість і добру зносостійкість. Захищає металеві основи від зносу та корозії, подовжуючи термін служби матеріалу.

3. Відмінна хімічна стабільність

Покриття з карбіду кремнію CVDмають високу стійкість до поширених хімічних речовин, таких як кислоти, луги та солі. Вони протистоять хімічному впливу та корозії основи.

4. Низький коефіцієнт тертя

CVD карбід-кремнієве покриттямає низький коефіцієнт тертя та добрі самозмащувальні властивості. Це зменшує тертя та знос і підвищує ефективність використання матеріалу.

5. Гарна теплопровідність

CVD карбід-кремнієве покриття має добрі теплопровідні властивості. Воно може швидко проводити тепло та покращувати ефективність розсіювання тепла металевою основою.

6. Відмінні електроізоляційні властивості

Карбід-кремнієве покриття, отримане методом CVD, має добрі електроізоляційні властивості та може запобігти витоку струму. Воно широко використовується для захисту ізоляції електронних пристроїв.

7. Регульована товщина та склад

Контролюючи умови під час процесу CVD та концентрацію прекурсора, можна регулювати товщину та склад плівки карбіду кремнію. Це забезпечує безліч варіантів та гнучкість для різноманітних застосувань.

Коротше кажучи, карбід-кремнієве покриття, отримане методом CVD, має чудові характеристики за високих температур, чудові механічні властивості, добру хімічну стабільність, низький коефіцієнт тертя, добру теплопровідність та електроізоляційні властивості. Ці властивості роблять карбід-кремнієві покриття, отримані методом CVD, широко використовуваними в багатьох галузях, включаючи електроніку, оптику, аерокосмічну, хімічну промисловість тощо.