خرۇستال ئۆسۈش ئوچىقى يادرولۇق ئۈسكۈنىلەركرېمنىي كاربونخرۇستال ئۆسۈش. ئۇ ئەنئەنىۋى خرۇستال كرېمنىي دەرىجىلىك خرۇستال ئۆسۈش ئوچىقىغا ئوخشايدۇ. ئوچاق قۇرۇلمىسى ئانچە مۇرەككەپ ئەمەس. ئۇ ئاساسلىقى ئوچاق گەۋدىسى ، ئىسسىنىش سىستېمىسى ، كاتەكچە يەتكۈزۈش مېخانىزمى ، ۋاكۇئۇم ئېلىش ۋە ئۆلچەش سىستېمىسى ، گاز يولى سىستېمىسى ، سوۋۇتۇش سىستېمىسى ، كونترول سىستېمىسى قاتارلىقلاردىن تەركىب تاپقان. ئىسسىقلىق مەيدانى ۋە جەريان شارائىتى ئاساسلىق كۆرسەتكۈچلەرنى بەلگىلەيدۇ.كرېمنىي كاربون كىرىستالسۈپەت ، چوڭلۇق ، ئۆتكۈزۈشچانلىقى قاتارلىقلار.
بىر تەرەپتىن ، ئۆسۈش جەريانىدىكى تېمپېراتۇراكرېمنىي كاربون كىرىستالناھايىتى يۇقىرى بولۇپ ، نازارەت قىلغىلى بولمايدۇ. شۇڭلاشقا ، ئاساسلىق قىيىنچىلىق جەرياننىڭ ئۆزىدە. ئاساسلىق قىيىنچىلىقلار تۆۋەندىكىچە:
(1) ئىسسىقلىق مەيدانىنى كونترول قىلىشتىكى قىيىنچىلىق: يېپىق يۇقىرى تېمپېراتۇرا بوشلۇقىنى نازارەت قىلىش قىيىن ۋە كونترول قىلغىلى بولمايدۇ. ئەنئەنىۋى كرېمنىينى ئاساس قىلغان ھەل قىلىش ئۇسۇلى بىۋاسىتە تارتىش كۈچىگە ئىگە خرۇستال ئۆسۈش ئۈسكۈنىلىرىگە ئوخشىمايدۇ ، يۇقىرى دەرىجىدىكى ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە كۆزىتىشكە ۋە كونترول قىلغىلى بولىدىغان خرۇستال ئۆسۈش جەريانىغا سېلىشتۇرغاندا ، كرېمنىي كاربون كىرىستاللىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىدا يېپىق بوشلۇقتا ئۆسۈپ ، 2000 above تىن يۇقىرى بولىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئېنىق كونترول قىلىش كېرەك ، بۇ تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىشنى قىيىنلاشتۇرۇۋېتىدۇ
. Micropipes (MP) تىپىدىكى كەمتۈكلۈك بولۇپ ، چوڭلۇقى بىر نەچچە مىكرووندىن ئون نەچچە مىكروونغىچە بولىدۇ ، بۇ ئۈسكۈنىلەرنىڭ قاتىل كەمچىلىكى. كرېمنىي كاربون يەككە كرىستال 200 دىن ئارتۇق ئوخشىمىغان خرۇستال شەكىلنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئەمما پەقەت بىر نەچچە خرۇستال قۇرۇلما (4H تىپى) ئىشلەپچىقىرىشقا ئېھتىياجلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال. خرۇستال شەكىلنىڭ ئۆزگىرىشى ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدا ئاسان پەيدا بولىدۇ ، نەتىجىدە كۆپ مەنبەلىك كەمتۈكلۈك كېلىپ چىقىدۇ. شۇڭلاشقا ، كىرىمنىي-كاربون نىسبىتى ، ئۆسۈش تېمپېراتۇرىسى تەدرىجىي ، خرۇستالنىڭ ئېشىش سۈرئىتى ۋە ھاۋا ئېقىمى بېسىمى قاتارلىق پارامېتىرلارنى توغرا كونترول قىلىش كېرەك. بۇنىڭدىن باشقا ، كىرىمىنىي كاربوننىڭ يەككە كىرىستال ئۆسۈشىنىڭ ئىسسىقلىق مەيدانىدا تېمپېراتۇرا تەدرىجىي بار بولۇپ ، بۇ كىرىستالنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدىكى يەرلىك ئىچكى بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ (نەتىجىدە ئايروپىلاننىڭ يۆتكىلىشى BPD ، بۇرمىلاشنىڭ يۆتكىلىشى TSD ، گىرۋەكنىڭ يۆتكىلىشى TED). كېيىنكى epitaxy ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ سۈپىتى ۋە ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
3.
(4) ئېشىش سۈرئىتى ئاستا: كرېمنىي كاربدنىڭ ئېشىش سۈرئىتى ئىنتايىن ئاستا. ئەنئەنىۋى كرېمنىي ماتېرىياللىرىنىڭ خرۇستال تاياققا ئايلىنىشى ئۈچۈن پەقەت 3 كۈنلا كېتىدۇ ، كرېمنىي كاربون كىرىستال تاياقچىسى 7 كۈنگە ئېھتىياجلىق. بۇ كىرىمنىي كاربوننىڭ تەبىئىي تۆۋەن ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ۋە ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئىنتايىن چەكلىك بولۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
يەنە بىر جەھەتتىن ، كرېمنىي كاربون ئېپىتاكسىيىسىنىڭ ئۆسۈشىنىڭ پارامېتىرلىرى ئىنتايىن تەلەپچان بولۇپ ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ھاۋانىڭ چىڭلىقى ، رېئاكسىيە ئۆيىدىكى گاز بېسىمىنىڭ مۇقىملىقى ، گاز كىرگۈزۈش ۋاقتىنى ئېنىق كونترول قىلىش ، گازنىڭ توغرىلىقى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. نىسبىتى ۋە چۆكمە تېمپېراتۇرىسىنى قاتتىق باشقۇرۇش. بولۇپمۇ ئۈسكۈنىنىڭ توك بېسىمىغا قارشى تۇرۇش دەرىجىسىنىڭ ئۆسۈشىگە ئەگىشىپ ، تۇتقاقلىق ۋافېرنىڭ يادرولۇق پارامېتىرلىرىنى كونترول قىلىش قىيىنلىقى كۆرۈنەرلىك ئاشتى. ئۇنىڭدىن باشقا ، تۇتقاقلىق قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقىنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، قېلىنلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش بىلەن بىللە ، قارشىلىقنىڭ بىردەكلىكىنى قانداق كونترول قىلىپ ، كەمتۈكلۈك زىچلىقىنى تۆۋەنلىتىش يەنە بىر چوڭ رىقابەتكە ئايلاندى. ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن كونترول سىستېمىسىدا ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سېنزور ۋە ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچنى بىرلەشتۈرۈپ ، ھەر خىل پارامېتىرلارنىڭ توغرا ۋە مۇقىم تەڭشىلىشىگە كاپالەتلىك قىلىش كېرەك. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، كونترول ھېسابلاش ئۇسۇلىنى ئەلالاشتۇرۇشمۇ ئىنتايىن مۇھىم. ئۇ ئىنكاس قايتۇرۇش سىگنالىغا ئاساسەن كونترول ئىستراتېگىيىسىنى دەل ۋاقتىدا تەڭشىيەلەيدىغان بولۇپ ، كرېمنىي كاربون ئېپىتاكسىيىسىنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدىكى ھەر خىل ئۆزگىرىشلەرگە ماسلىشىشى كېرەك.
ئاساسلىق قىيىنچىلىقلاركرېمنىي كاربون سۇبيېكتىياساش:
يوللانغان ۋاقتى: Jun-07-2024