كرېمنىي كاربون كىرىستال ئۆسۈش ئوچىقىنىڭ تېخنىكىلىق قىيىنچىلىقلىرى قايسىلار؟

خرۇستال ئۆسۈش ئوچىقى يادرولۇق ئۈسكۈنىلەركرېمنىي كاربونخرۇستال ئۆسۈش. ئۇ ئەنئەنىۋى خرۇستال كرېمنىي دەرىجىلىك خرۇستال ئۆسۈش ئوچىقىغا ئوخشايدۇ. ئوچاق قۇرۇلمىسى ئانچە مۇرەككەپ ئەمەس. ئۇ ئاساسلىقى ئوچاق گەۋدىسى ، ئىسسىنىش سىستېمىسى ، كاتەكچە يەتكۈزۈش مېخانىزمى ، ۋاكۇئۇم ئېلىش ۋە ئۆلچەش سىستېمىسى ، گاز يولى سىستېمىسى ، سوۋۇتۇش سىستېمىسى ، كونترول سىستېمىسى قاتارلىقلاردىن تەركىب تاپقان. ئىسسىقلىق مەيدانى ۋە جەريان شارائىتى ئاساسلىق كۆرسەتكۈچلەرنى بەلگىلەيدۇ.كرېمنىي كاربون كىرىستالسۈپەت ، چوڭلۇق ، ئۆتكۈزۈشچانلىقى قاتارلىقلار.

بىر تەرەپتىن ئۆسۈش جەريانىدىكى تېمپېراتۇراكرېمنىي كاربون كىرىستالناھايىتى يۇقىرى بولۇپ ، نازارەت قىلغىلى بولمايدۇ. شۇڭلاشقا ، ئاساسلىق قىيىنچىلىق جەرياننىڭ ئۆزىدە. ئاساسلىق قىيىنچىلىقلار تۆۋەندىكىچە:

(1) ئىسسىقلىق مەيدانىنى كونترول قىلىشتىكى قىيىنچىلىق:

يېپىق يۇقىرى تېمپېراتۇرا بوشلۇقىنى نازارەت قىلىش قىيىن ۋە كونترول قىلغىلى بولمايدۇ. ئەنئەنىۋى كرېمنىينى ئاساس قىلغان ھەل قىلىش ئۇسۇلى بىۋاسىتە تارتىش كۈچىگە ئىگە خرۇستال ئۆسۈش ئۈسكۈنىلىرىگە ئوخشىمايدۇ ، يۇقىرى دەرىجىدىكى ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە كۆزىتىشكە ۋە كونترول قىلغىلى بولىدىغان خرۇستال ئۆسۈش جەريانىغا سېلىشتۇرغاندا ، كرېمنىي كاربون كىرىستاللىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىدا يېپىق بوشلۇقتا ئۆسۈپ ، 2000 above تىن يۇقىرى بولىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئېنىق كونترول قىلىش كېرەك ، بۇ تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىشنى قىيىنلاشتۇرۇۋېتىدۇ

(2) خرۇستال شەكىلنى كونترول قىلىشتىكى قىيىنچىلىق:

مىكروپلار ، كۆپ شەكىللىك بىرىكمىلەر ، يۆتكىلىش ۋە باشقا كەمتۈكلۈكلەر ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدا ئاسانلا كۆرۈلىدۇ ، ئۇلار بىر-بىرىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ ۋە تەرەققىي قىلىدۇ. Micropipes (MP) تىپىدىكى كەمتۈكلۈك بولۇپ ، چوڭلۇقى بىر نەچچە مىكرووندىن ئون نەچچە مىكروونغىچە بولىدۇ ، بۇ ئۈسكۈنىلەرنىڭ قاتىل كەمچىلىكى. كرېمنىي كاربون يەككە كرىستال 200 دىن ئارتۇق ئوخشىمىغان خرۇستال شەكىلنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئەمما پەقەت بىر نەچچە خرۇستال قۇرۇلما (4H تىپى) ئىشلەپچىقىرىشقا ئېھتىياجلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال. خرۇستال شەكىلنىڭ ئۆزگىرىشى ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدا ئاسان پەيدا بولىدۇ ، نەتىجىدە كۆپ مەنبەلىك كەمتۈكلۈك كېلىپ چىقىدۇ. شۇڭلاشقا ، كىرىمنىي-كاربون نىسبىتى ، ئۆسۈش تېمپېراتۇرىسى تەدرىجىي ، خرۇستالنىڭ ئېشىش سۈرئىتى ۋە ھاۋا ئېقىمى بېسىمى قاتارلىق پارامېتىرلارنى توغرا كونترول قىلىش كېرەك. بۇنىڭدىن باشقا ، كىرىمىنىي كاربوننىڭ يەككە كىرىستال ئۆسۈشىنىڭ ئىسسىقلىق مەيدانىدا تېمپېراتۇرا تەدرىجىي بار بولۇپ ، بۇ كىرىستالنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدىكى يەرلىك ئىچكى بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ (نەتىجىدە ئايروپىلاننىڭ يۆتكىلىشى BPD ، بۇرمىلاشنىڭ يۆتكىلىشى TSD ، گىرۋەكنىڭ يۆتكىلىشى TED). كېيىنكى epitaxy ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ سۈپىتى ۋە ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.

(3) دورا ئىشلىتىشنىڭ قىيىن بولۇشى:

يۆنىلىشلىك دوپپا بىلەن ئۆتكۈزگۈچ كىرىستالغا ئېرىشىش ئۈچۈن ، سىرتقى بۇلغانمىلارنى كىرگۈزۈشنى قاتتىق كونترول قىلىش كېرەك.

(4) ئېشىش سۈرئىتى ئاستا:

كرېمنىي كاربدنىڭ ئېشىش سۈرئىتى ئىنتايىن ئاستا. ئەنئەنىۋى كرېمنىي ماتېرىياللىرىنىڭ خرۇستال تاياققا ئايلىنىشى ئۈچۈن پەقەت 3 كۈنلا كېتىدۇ ، كرېمنىي كاربون كىرىستال تاياقچىسى 7 كۈنگە ئېھتىياجلىق. بۇ كىرىمنىي كاربوننىڭ تەبىئىي تۆۋەن ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ۋە ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئىنتايىن چەكلىك بولۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

يەنە بىر جەھەتتىن ، كرېمنىي كاربون ئېپىتاكسىيىسىنىڭ ئۆسۈشىنىڭ پارامېتىرلىرى ئىنتايىن تەلەپچان بولۇپ ، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ھاۋانىڭ چىڭلىقى ، رېئاكسىيە ئۆيىدىكى گاز بېسىمىنىڭ مۇقىملىقى ، گاز كىرگۈزۈش ۋاقتىنى ئېنىق كونترول قىلىش ، گازنىڭ توغرىلىقى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. نىسبىتى ۋە چۆكمە تېمپېراتۇرىسىنى قاتتىق باشقۇرۇش. بولۇپمۇ ئۈسكۈنىنىڭ توك بېسىمىغا قارشى تۇرۇش دەرىجىسىنىڭ ئۆسۈشىگە ئەگىشىپ ، تۇتقاقلىق ۋافېرنىڭ يادرولۇق پارامېتىرلىرىنى كونترول قىلىش قىيىنلىقى كۆرۈنەرلىك ئاشتى. ئۇنىڭدىن باشقا ، تۇتقاقلىق قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقىنىڭ ئېشىشىغا ئەگىشىپ ، قېلىنلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش بىلەن بىللە ، قارشىلىقنىڭ بىردەكلىكىنى قانداق كونترول قىلىپ ، كەمتۈكلۈك زىچلىقىنى تۆۋەنلىتىش يەنە بىر چوڭ رىقابەتكە ئايلاندى. ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن كونترول سىستېمىسىدا ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سېنزور ۋە ھەرىكەتلەندۈرگۈچ كۈچنى بىرلەشتۈرۈپ ، ھەر خىل پارامېتىرلارنىڭ توغرا ۋە مۇقىم تەڭشىلىشىگە كاپالەتلىك قىلىش كېرەك. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، كونترول ھېسابلاش ئۇسۇلىنى ئەلالاشتۇرۇشمۇ ئىنتايىن مۇھىم. ئۇ ئىنكاس قايتۇرۇش سىگنالىغا ئاساسەن كونترول ئىستراتېگىيىسىنى دەل ۋاقتىدا تەڭشىيەلەيدىغان بولۇپ ، كرېمنىي كاربون ئېپىتاكسىيىسىنىڭ ئۆسۈپ يېتىلىش جەريانىدىكى ھەر خىل ئۆزگىرىشلەرگە ماسلىشىشى كېرەك.

ئاساسلىق قىيىنچىلىقلاركرېمنىي كاربون سۇبيېكتىياساش: