ئالدى بىلەن بىز بىلىشىمىز كېرەكPECVD(پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى). پلازما ماددى مولېكۇلانىڭ ئىسسىقلىق ھەرىكىتىنىڭ كۈچىيىشى. ئۇلار ئوتتۇرىسىدىكى سوقۇلۇش گاز مولېكۇلالىرىنىڭ ئىئونلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ۋە ماتېرىيال ئەركىن ھەرىكەتلىنىدىغان ئاكتىپ ئىئون ، ئېلېكترون ۋە ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىدىغان نېيترال زەررىچىلەرنىڭ ئارىلاشمىسىغا ئايلىنىدۇ.
مۆلچەرلىنىشىچە ، كرېمنىي يۈزىدىكى نۇرنىڭ نۇر قايتۇرۇش نىسبىتى تەخمىنەن% 35 كە يېتىدىكەن. نۇر قايتۇرۇشقا قارشى پىلاستىنكا باتارېيە باتارېيەسىنىڭ قۇياش نۇرىدىن پايدىلىنىش نىسبىتىنى زور دەرىجىدە يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ ، بۇ نۇرنىڭ توكنىڭ قويۇقلۇقىنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بېرىدۇ ، شۇڭا ئايلىنىش ئۈنۈمىنى ئۆستۈرىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، فىلىمدىكى ھىدروگېن باتارېيە ھۈجەيرىسىنىڭ يۈزىنى پاسسىپلاشتۇرىدۇ ، بۇلغىما قويۇپ بېرىش ئېغىزىنىڭ يەر يۈزىنىڭ قايتا ھاسىل بولۇش نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىدۇ ، قاراڭغۇ توكنى تۆۋەنلىتىدۇ ، ئوچۇق توك بېسىمىنى ئاشۇرىدۇ ۋە فوتو ئېلېكترنىڭ ئايلىنىش ئۈنۈمىنى ئۆستۈرىدۇ. كۆيۈش جەريانىدا يۇقىرى تېمپېراتۇرا شۇئان تۇتاشتۇرۇش بەزى Si-H ۋە NH زايومىنى بۇزىدۇ ، قويۇپ بېرىلگەن H باتارېيەنىڭ پاسسىپلىقىنى تېخىمۇ كۈچەيتىدۇ.
يورۇقلۇق ۋولت دەرىجىسىدىكى كرېمنىي ماتېرىياللىرى مۇقەررەر ھالدا زور مىقداردا بۇلغانمىلار ۋە نۇقسانلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان بولغاچقا ، ئاز سانلىق مىللەت توشۇغۇچىنىڭ ئۆمرى ۋە كرېمنىينىڭ تارقىلىش ئۇزۇنلۇقى ئازىيىدۇ ، نەتىجىدە باتارېيەنىڭ ئايلىنىش ئۈنۈمى تۆۋەنلەيدۇ. H كرېمنىيدىكى كەمتۈكلۈك ياكى بۇلغانمىلار بىلەن ئىنكاس قايتۇرالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق بەلۋاغتىكى ئېنېرگىيە بەلبېغىنى ۋالېنس بەلبېغى ياكى ئۆتكۈزگۈچ بەلۋاغقا يۆتكىيەلەيدۇ.
1. PECVD پرىنسىپى
PECVD سىستېمىسى ئىشلىتىۋاتقان بىر يۈرۈش گېنېراتورلارPECVD گرافىك كېمىسى ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق پلازما قوزغاتقۇچ. پلازما گېنېراتورى تۆۋەن بېسىم ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىنكاس قايتۇرۇش ئۈچۈن سىر تاختىسىنىڭ ئوتتۇرىسىغا بىۋاسىتە ئورنىتىلغان. ئىشلىتىلگەن ئاكتىپ گازلار سىلان SiH4 ۋە ئاممىياك NH3. بۇ گازلار كرېمنىيلىق ۋافېردا ساقلانغان كرېمنىي نىترىدتا ھەرىكەت قىلىدۇ. سىلاننىڭ ئاممىياك نىسبىتىنى ئۆزگەرتىش ئارقىلىق ئوخشىمىغان سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچىگە ئېرىشكىلى بولىدۇ. چۆكۈش جەريانىدا ، كۆپ مىقداردا ھىدروگېن ئاتوم ۋە ھىدروگېن ئىئونى ھاسىل بولۇپ ، ۋافېرنىڭ ھىدروگېن پاسسىپلىقى ئىنتايىن ياخشى بولىدۇ. ۋاكۇئۇم ۋە مۇھىتنىڭ تېمپېراتۇرىسى 480 سېلسىيە گرادۇس ، كرېمنىي ۋافېرنىڭ يۈزىگە SixNy نىڭ بىر قەۋىتى سىرلانغان.PECVD گرافىك كېمىسى.
3SiH4 + 4NH3 → Si3N4 + 12H2
2. Si3N4
قېلىنلىقى بىلەن Si3N4 فىلىمىنىڭ رەڭگى ئۆزگىرىدۇ. ئادەتتە ، كۆڭۈلدىكىدەك قېلىنلىقى 75 دىن 80 nm ئارىلىقىدا بولۇپ ، قېنىق كۆك كۆرۈنىدۇ. Si3N4 فىلىمىنىڭ سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى ئەڭ ياخشىسى 2.0 بىلەن 2.5 ئارىلىقىدا. ئىسپىرت ئادەتتە ئۇنىڭ سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچىنى ئۆلچەشتە ئىشلىتىلىدۇ.
يەر يۈزىنىڭ پاسسىپلىق ئۈنۈمى ، ئوپتىكىلىق نۇر قايتۇرۇشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى (قېلىنلىق سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى ماسلاشتۇرۇش) ، تۆۋەن تېمپېراتۇرا جەريانى (تەننەرخنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىدۇ) ۋە ھاسىل قىلىنغان H ئىئونلىرى كرېمنىيلىق ۋافېر يۈزىنى پاسسىپلاشتۇرىدۇ.
3. سىرلاش سېخىدىكى كۆپ ئۇچرايدىغان ئىشلار
كىنو قېلىنلىقى:
ئوخشىمىغان كىنو قېلىنلىقى ئۈچۈن چۆكۈش ۋاقتى ئوخشىمايدۇ. چاپلاش ۋاقتىنى سىرنىڭ رەڭگىگە ئاساسەن مۇۋاپىق ئاشۇرۇش ياكى ئازايتىش كېرەك. ئەگەر فىلىم ئاق بولسا ، ئامانەت قويۇش ۋاقتىنى قىسقارتىش كېرەك. ئەگەر قىزىل بولسا ، مۇۋاپىق كۆپەيتىش كېرەك. ھەر بىر كېمە فىلىمىنى تولۇق جەزملەشتۈرۈش كېرەك ، نۇقسانسىز مەھسۇلاتلارنىڭ كېيىنكى باسقۇچقا ئېقىشىغا يول قويۇلمايدۇ. مەسىلەن ، رەڭلىك داغ ۋە سۇ بەلگىسى قاتارلىق سىرلار ناچار بولسا ، ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىدىكى ئەڭ كۆپ ئۇچرايدىغان يۈزنى ئاقارتىش ، رەڭ پەرقى ۋە ئاق داغلارنى ۋاقتىدا تاللاش كېرەك. يەر يۈزىنى ئاقارتىش ئاساسلىقى قويۇق كرېمنىي نىترىد پىلاستىنكىسىدىن كېلىپ چىققان بولۇپ ، ئۇنى فىلىم قويۇش ۋاقتىنى تەڭشەش ئارقىلىق تەڭشىگىلى بولىدۇ. رەڭ پەرقى پەردىسى ئاساسلىقى گاز يولىنى توسۇش ، كۋارتس نەيچىسى ئېقىش ، مىكرو دولقۇنلۇق كاشىلا قاتارلىقلار كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئاق داغ ئاساسلىقى ئالدىنقى باسقۇچتىكى كىچىك قارا داغلار كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. نۇر قايتۇرۇش ، سۇندۇرۇش كۆرسەتكۈچى قاتارلىقلارنى نازارەت قىلىش ، ئالاھىدە گازلارنىڭ بىخەتەرلىكى قاتارلىقلار.
يۈزىدىكى ئاق داغلار:
PECVD قۇياش ھۈجەيرىسىدىكى نىسبەتەن مۇھىم جەريان ۋە شىركەتنىڭ قۇياش ئېنېرگىيىسى ئۈنۈمىنىڭ مۇھىم كۆرسەتكۈچى. PECVD جەريانى ئادەتتە ئالدىراش بولۇپ ، ھەر بىر تۈركۈم ھۈجەيرىلەرنى نازارەت قىلىش كېرەك. نۇرغۇن سىرلىق ئوچاق تۇرۇبىسى بار ، ھەر بىر تۇرۇبىدا ئادەتتە نەچچە يۈز ھۈجەيرە بولىدۇ (ئۈسكۈنىلەرگە ئاساسەن). جەريان پارامېتىرلىرىنى ئۆزگەرتكەندىن كېيىن ، تەكشۈرۈش دەۋرى ئۇزۇن بولىدۇ. سىرلاش تېخنىكىسى پۈتكۈل يورۇقلۇق ۋولت سانائىتىگە ئىنتايىن ئەھمىيەت بېرىدىغان تېخنىكا. سىرلاش تېخنىكىسىنى ياخشىلاش ئارقىلىق قۇياش ھۈجەيرىسىنىڭ ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرگىلى بولىدۇ. كەلگۈسىدە ، قۇياش ھۈجەيرىسىنىڭ يەر يۈزى تېخنىكىسى قۇياش ھۈجەيرىلىرىنىڭ نەزەرىيەۋى ئۈنۈمىدىكى بۆسۈش بولۇپ قېلىشى مۇمكىن.
يوللانغان ۋاقتى: 12-ئاينىڭ 23-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە