ئوچاق تۇرۇبا ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىچكى قۇرۇلمىسى تەپسىلىي چۈشەندۈرۈلگەن

يۇقىرىدا كۆرسىتىلگەندەك ، تىپىك

ئالدىنقى يېرىم مەيدان:
ئىسسىنىش ئېلېمېنتى (ئىسسىنىش كاتەكچىسى): ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئەتراپىغا جايلاشقان ، ئادەتتە قارشىلىق سىمىدىن ياسالغان ، ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىنى قىزىتىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
كۋارتس تۇرۇبىسى: ئىسسىق ئوكسىدلىنىش ئوچىقىنىڭ يادروسى ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا بەرداشلىق بېرەلەيدىغان ۋە خىمىيىلىك ئىنېرتسىيەنى ساقلىيالايدىغان يۇقىرى ساپلىق كۋارتتىن ياسالغان.
گاز يەم-خەشەك: ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئۈستۈنكى ياكى يان تەرىپىگە جايلاشقان ، ئۇ ئوكسىگېن ياكى باشقا گازلارنى ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىگە توشۇشقا ئىشلىتىلىدۇ.
SS Flange: كۋارتس تۇرۇبىسى ۋە گاز لىنىيىسىنى تۇتاشتۇرىدىغان زاپچاسلار ، ئۇلىنىشنىڭ چىڭ ۋە مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
گاز يەم-خەشەك لىنىيىسى: MFC نى تەبىئىي گاز يەتكۈزۈش ئېغىزىغا تۇتىشىدىغان تۇرۇبا.
MFC (ئاممىۋى ئېقىن كونتروللىغۇچ): كۋارتس تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىدىكى گازنىڭ ئايلىنىشىنى كونترول قىلىدىغان ئۈسكۈنە ، ئېھتىياجلىق گاز مىقدارىنى ئېنىق تەڭشەيدۇ.
Vent: كېرەكسىز گازنى ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىدىن ئۈسكۈنىلەرنىڭ سىرتىغا چىقىرىشقا ئىشلىتىلىدۇ.

تۆۋەن قىسمى
تۇتقۇچىدىكى كرېمنىي ۋافېر: كرېمنىيلىق ۋافېرلار ئالاھىدە تۇتقۇچىغا ئورۇنلاشتۇرۇلغان بولۇپ ، ئوكسىدلىنىش جەريانىدا بىردەك ئىسسىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ۋافېر تۇتقۇچى: كرېمنىيلىق ۋافېرنى تۇتۇپ ، بۇ جەرياندا كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ مۇقىم بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
پىيادىلەر يولى: كرېمنىيلىق ۋافېرنى ساقلايدىغان قۇرۇلما ، ئادەتتە يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق ماتېرىيالدىن ياسالغان.
لىفت: كرېمنىيلىق ۋافېرنى ئاپتوماتىك قاچىلاش ۋە چۈشۈرۈش ئۈچۈن Wafer تۇتقۇچىلارنى كۋارتس تۇرۇبىسىغا ئېلىپ-چىقىرىشقا ئىشلىتىلىدۇ.
ۋافېر يۆتكەش ماشىنا ئادىمى: ئوچاق تۇرۇبا ئۈسكۈنىسىنىڭ يان تەرىپىگە جايلاشقان ، ئۇ كرېمنىيلىق ۋافېرنى ساندۇقتىن ئاپتوماتىك چىقىرىپ ئوچاق تۇرۇبىسىغا قويۇش ياكى پىششىقلاپ ئىشلەنگەندىن كېيىن ئېلىۋېتىشكە ئىشلىتىلىدۇ.
كاسسات ساقلاش كارۇسېل: كاسسات ساقلاش كارۇسېل كرېمنىيلىق ۋافېر بار ساندۇقنى ساقلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، ماشىنا ئادەم زىيارەت قىلىش ئۈچۈن ئايلاندۇرغىلى بولىدۇ.
Wafer Cassette: بىر تەرەپ قىلىنىدىغان كرېمنىيلىق ۋافېرنى ساقلاش ۋە يۆتكەشكە ئىشلىتىلىدۇ.