ئوچاق تۇرۇبا ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىچكى قۇرۇلمىسى تەپسىلىي چۈشەندۈرۈلگەن

يۇقىرىدا كۆرسىتىلگەندەك ، تىپىك

ئالدىنقى يېرىم مەيدان:

▪ ئىسسىقلىق ئېلېمېنتى (ئىسسىنىش كاتەكچىسى):

ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئەتراپىغا جايلاشقان ، ئادەتتە قارشىلىق سىمىدىن ياسالغان ، ئوچاق نەيچىسىنىڭ ئىچىنى قىزىتىشقا ئىشلىتىلىدۇ.

▪ Quartz Tube:

ئىسسىق ئوكسىدلىنىش ئوچىقىنىڭ يادروسى ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا بەرداشلىق بېرەلەيدىغان ۋە خىمىيىلىك ئىنېرتسىيەنى ساقلىيالايدىغان يۇقىرى ساپلىق كۋارتتىن ياسالغان.

▪ Gas Feed:

ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئۈستۈنكى ياكى يان تەرىپىگە جايلاشقان بولۇپ ، ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىگە ئوكسىگېن ياكى باشقا گازلارنى توشۇشقا ئىشلىتىلىدۇ.

▪ SS Flange:

كۋارتس تۇرۇبىسى ۋە گاز لىنىيىسىنى تۇتاشتۇرىدىغان زاپچاسلار ، ئۇلىنىشنىڭ چىڭ ۋە مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

Feed Feed Feed Line:

MFC نى تەبىئىي گاز يەتكۈزۈش ئېغىزىغا تۇتىشىدىغان تۇرۇبا.

▪ MFC (Mass Flow Controller):

كۋارتس تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىدىكى گازنىڭ ئايلىنىشىنى كونترول قىلىدىغان ئۈسكۈنە ئېھتىياجلىق گاز مىقدارىنى ئېنىق تەڭشەيدۇ.

Vent:

كېرەكسىز گازنى ئوچاق تۇرۇبىسىنىڭ ئىچىدىن ئۈسكۈنىلەرنىڭ سىرتىغا چىقىرىشقا ئىشلىتىلىدۇ.

تۆۋەن قىسمى:

Hold Holder دىكى كىرىمنىي ۋافېر:

كرېمنىيلىق ۋافېرلار ئالاھىدە تۇتقۇچىغا ئورۇنلاشتۇرۇلغان بولۇپ ، ئوكسىدلىنىش جەريانىدا بىردەك ئىسسىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

▪ Wafer Holder:

كرېمنىيلىق ۋافېرنى ساقلاش ۋە بۇ جەرياندا كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ مۇقىم بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.

▪ Pedestal:

كرېمنىيلىق ۋافېرنى ساقلايدىغان قۇرۇلما ، ئادەتتە يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق ماتېرىيالدىن ياسالغان.

Elevator:

كرېمنىيلىق ۋافېرنى ئاپتوماتىك قاچىلاش ۋە چۈشۈرۈش ئۈچۈن Wafer تۇتقۇچىلارنى كۋارتس تۇرۇبىسىغا ئېلىپ-چىقىرىشقا ئىشلىتىلىدۇ.

▪ يۆتكىلىشچان ماشىنا ئادەم:

ئوچاق تۇرۇبىسى ئۈسكۈنىسىنىڭ يان تەرىپىگە جايلاشقان ، ئۇ كرېمنىيلىق ۋافېرنى ساندۇقتىن ئاپتوماتىك چىقىرىپ ئوچاق تۇرۇبىسىغا قويۇش ياكى پىششىقلاپ ئىشلەنگەندىن كېيىن ئېلىۋېتىشكە ئىشلىتىلىدۇ.