يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرنىڭ بۇلغىنىشى ۋە تازىلاشنىڭ مەنبەسى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشقا قاتنىشىش ئۈچۈن بەزى ئورگانىك ۋە ئانئورگانىك ماددىلار تەلەپ قىلىنىدۇ. ئۇنىڭدىن باشقا ، بۇ جەريان ھەمىشە ئىنسانلارنىڭ قاتنىشىشى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بىلەن پاكىز ئۆيدە ئېلىپ بېرىلىدىغان بولغاچقاwafersمۇقەررەر ھالدا ھەر خىل بۇلغانمىلار بىلەن بۇلغانغان.

بۇلغانمىلارنىڭ كېلىش مەنبەسى ۋە خاراكتېرىگە ئاساسەن ، ئۇلارنى ئاساسەن تۆت تۈرگە بۆلۈشكە بولىدۇ: زەررىچە ، ئورگانىك ماددا ، مېتال ئىئون ۋە ئوكسىد.

 

1. بۆلەكلەر:

زەررىچىلەر ئاساسلىقى بىر قىسىم پولىمېرلار ، فوتوگرافلار ۋە چىرىگەن ماددىلار.

بۇ خىل بۇلغىمىلار ئادەتتە ئارىلىق ئارىلىقىدىكى كۈچلەرگە تايىنىپ ۋافېر يۈزىدىكى ئېلاننى سۈمۈرۈپ ، ئۈسكۈنىنىڭ فوتوگرافىيە جەريانىدىكى گېئومېتىرىيەلىك سان ۋە ئېلېكتر پارامېتىرلىرىنىڭ شەكىللىنىشىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

بۇ خىل بۇلغانمىلار ئاساسلىقى يەر يۈزى بىلەن بولغان ئالاقىلىشىش رايونىنى تەدرىجىي ئازايتىش ئارقىلىق چىقىرىۋېتىلىدۇwaferفىزىكىلىق ياكى خىمىيىلىك ئۇسۇللار ئارقىلىق.

 

2. ئورگانىك ماددىلار:

ئورگانىك بۇلغانمىلارنىڭ كېلىش مەنبەسى بىر قەدەر كەڭ ، مەسىلەن ئىنسانلارنىڭ تېرە مېيى ، باكتېرىيە ، ماشىنا مېيى ، ۋاكۇئۇم يېغى ، فوتوگراف ، تازىلاش ئېرىتمىسى قاتارلىقلار.

بۇ خىل بۇلغىمىلار ئادەتتە ۋافېر يۈزىدە ئورگانىك پىلاستىنكا ھاسىل قىلىپ ، تازىلاش سۇيۇقلۇقىنىڭ ۋافېر يۈزىگە يېتىپ كېلىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ، نەتىجىدە ۋافېر يۈزى تولۇق تازىلانمايدۇ.

بۇ خىل بۇلغانمىلارنى يوقىتىش كۆپىنچە تازىلاشنىڭ بىرىنچى باسقۇچىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ ، ئاساسلىقى گۈڭگۈرت كىسلاتاسى ، ھىدروگېن ئوكسىد قاتارلىق خىمىيىلىك ئۇسۇللار قوللىنىلىدۇ.

 

3. مېتال ئىئون:

كۆپ ئۇچرايدىغان مېتال بۇلغانمىلار تۆمۈر ، مىس ، ئاليۇمىن ، خروم ، قۇيۇلغان تۆمۈر ، تىتان ، ناترىي ، كالىي ، لىتىي قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئاساسلىق مەنبەلەر ھەر خىل قاچا-قۇچىلار ، تۇرۇبا ، خىمىيىلىك رېئاكتور ۋە مېتال بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا ھاسىل بولغان مېتال بۇلغىنىشى.

بۇ خىل نىجاسەت كۆپىنچە مېتال ئىئون مۇرەككەپ ماددىلىرىنى شەكىللەندۈرۈش ئارقىلىق خىمىيىلىك ئۇسۇللار بىلەن چىقىرىۋېتىلىدۇ.

 

4. ئوكسىد:

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بولغانداwafersئوكسىگېن ۋە سۇ بولغان مۇھىتنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ ، يەر يۈزىدە تەبىئىي ئوكسىد قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ. بۇ ئوكسىد پىلاستىنكىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى نۇرغۇن جەريانلارغا توسقۇنلۇق قىلىدۇ ، شۇنداقلا بەزى مېتال بۇلغانمىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. مەلۇم شارائىتتا ئۇلار ئېلېكتر كەمتۈكلىكىنى شەكىللەندۈرىدۇ.

بۇ ئوكسىد پىلاستىنكىسىنى ئېلىۋېتىش ھەمىشە سۇيۇقلاندۇرۇلغان گىدروفلوئىك كىسلاتاغا چىلاش ئارقىلىق تاماملىنىدۇ.

 

ئادەتتىكى تازىلاش تەرتىپى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يۈزىگە چاپلانغان ئىمپېرىيەwafersمولېكۇلا ، ئىئون ۋە ئاتومدىن ئىبارەت ئۈچ خىلغا بۆلۈشكە بولىدۇ.

بۇنىڭ ئىچىدە مولېكۇلالىق بۇلغانمىلار بىلەن ۋافېر يۈزىنىڭ سۈمۈرۈلۈش كۈچى ئاجىز ، بۇ خىل نىجاسەت زەررىچىلىرىنى چىقىرىۋېتىش بىر قەدەر ئاسان. ئۇلار كۆپىنچە گىدروپوبىك ئالاھىدىلىكى بار مايلىق بۇلغانمىلار بولۇپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرنىڭ يۈزىنى بۇلغايدىغان ئىئون ۋە ئاتوم ماددىلىرىنى نىقاب بىلەن تەمىنلەيدۇ ، بۇ ئىككى خىل بۇلغانمىلارنى يوقىتىشقا پايدىسىز. شۇڭلاشقا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرنى خىمىيىلىك تازلىغاندا ، ئالدى بىلەن مولېكۇلا بۇلغانمىلارنى چىقىرىۋېتىش كېرەك.

شۇڭلاشقا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئومۇمىي تەرتىپىwaferتازىلاش جەريانى:

مولېكۇلالاشتۇرۇش-دىئونسىزلاشتۇرۇش-ئاتومسىزلاشتۇرۇش-دىئونسىزلاشتۇرۇلغان سۇ چايقاش.

ئۇنىڭدىن باشقا ، ۋافېر يۈزىدىكى تەبىئىي ئوكسىد قەۋىتىنى يوقىتىش ئۈچۈن ، سۇيۇق ئامىنو كىسلاتانى چىلاش قەدىمىنى قوشۇش كېرەك. شۇڭلاشقا ، تازىلاش ئويى ئالدى بىلەن يەر يۈزىدىكى ئورگانىك بۇلغىنىشنى يوقىتىش. ئاندىن ئوكسىد قەۋىتىنى ئېرىتىدۇ. ئاخىرىدا زەررىچىلەر ۋە مېتاللارنىڭ بۇلغىنىشىنى چىقىرىپ تاشلاپ ، بىرلا ۋاقىتتا يۈزنى پاسسىپلاشتۇرىدۇ.

 

كۆپ ئۇچرايدىغان تازىلاش ئۇسۇللىرى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرنى تازىلاشتا دائىم خىمىيىلىك ئۇسۇللار قوللىنىلىدۇ.

خىمىيىلىك تازىلاش دېگىنىمىز ھەر خىل خىمىيىلىك رېئاكتورلار ۋە ئورگانىك ئېرىتمىلەرنى ئىشلىتىپ ۋافېر يۈزىدىكى بۇلغانمىلار ۋە ماي ​​داغلىرىنى سۈمۈرۈپ ، ئېرىتىپ ، ئاندىن كۆپ مىقداردا يۇقىرى ساپ ئىسسىق ۋە سوغۇق دېئونسىزلانغان سۇ بىلەن چايقاشنى كۆرسىتىدۇ. پاكىز يەر.

خىمىيىلىك تازىلاشنى ھۆل خىمىيىلىك تازىلاش ۋە قۇرۇق خىمىيىلىك تازىلاش دەپ ئايرىشقا بولىدۇ ، بۇنىڭ ئىچىدە ھۆل خىمىيىلىك تازىلاش يەنىلا ئاساسلىق ئورۇندا تۇرىدۇ.

 

ھۆل خىمىيىلىك تازىلاش

 

1. ھۆل خىمىيىلىك تازىلاش:

ھۆل خىمىيىلىك تازىلاش ئاساسلىقى ئېرىتمە چۆمۈلۈش ، مېخانىكىلىق سۈرتۈش ، ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش ، مېگاسون تازىلاش ، ئايلانما دورا پۈركۈش قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

 

2. ھەل قىلىش چارىسى:

ھەل قىلىش چارىسى سۇنى خىمىيىلىك ئېرىتمىگە چۆمدۈرۈپ يەر يۈزىنىڭ بۇلغىنىشىنى يوقىتىشنىڭ ئۇسۇلى. ئۇ ھۆل خىمىيىلىك تازىلاشتا ئەڭ كۆپ قوللىنىلىدىغان ئۇسۇل. ئوخشىمىغان ھەل قىلىش ئۇسۇللىرى ئارقىلىق ۋافېر يۈزىدىكى ئوخشىمىغان تىپتىكى بۇلغىمىلارنى چىقىرىۋەتكىلى بولىدۇ.

ئادەتتە ، بۇ ئۇسۇل ۋافېر يۈزىدىكى بۇلغانمىلارنى پۈتۈنلەي چىقىرىپ تاشلىيالمايدۇ ، شۇڭا سۇغا چىلاش جەريانىدا قىزىتىش ، ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى ۋە ئارىلاشتۇرۇش قاتارلىق فىزىكىلىق تەدبىرلەر قوللىنىلىدۇ.

 

3. مېخانىكىلىق تەكشۈرۈش:

مېخانىكىلىق سۈرتۈش كۆپىنچە ۋافېر يۈزىدىكى زەررىچىلەر ياكى ئورگانىك قالدۇقلارنى چىقىرىپ تاشلاشقا ئىشلىتىلىدۇ. ئۇنى ئادەتتە ئىككى خىلغا ئايرىشقا بولىدۇ:قولدا سۈرتۈش ۋە سۈرتكۈچ.

قولدا سۈرتۈشئەڭ ئاددىي سۈرتۈش ئۇسۇلى. داتلاشماس پولات چوتكىسى سۇسىز ئېتانول ياكى باشقا ئورگانىك ئېرىتمىلەرگە چىلانغان توپنى تۇتۇپ ، ۋافېرنىڭ يۈزىنى ئاستا-ئاستا ئوخشاش يۆنىلىشكە سۈرتۈپ ، موم پەردىسى ، چاڭ-توزان ، قالدۇق يېلىم ياكى باشقا قاتتىق زەررىچىلەرنى يوقىتىدۇ. بۇ ئۇسۇل ئاسان سىزىلىپ ، ئېغىر بۇلغىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

سۈرتكۈچ مېخانىكىلىق ئايلىنىش ئارقىلىق يۇمشاق يۇڭ چوتكا ياكى ئارىلاش چوتكا بىلەن ۋافېرنىڭ يۈزىنى سۈرتەلەيدۇ. بۇ ئۇسۇل ۋافېردىكى سىزمىلارنى زور دەرىجىدە ئازايتىدۇ. يۇقىرى بېسىملىق سۈرتكۈچ مېخانىكىلىق سۈركىلىشنىڭ كەملىكى سەۋەبىدىن ۋافېرنى سىزمايدۇ ، ھەمدە ئۆستەڭدىكى بۇلغىنىشنى يوقىتالايدۇ.

 

4. ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش:

ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدىغان تازىلاش ئۇسۇلى. ئۇنىڭ ئارتۇقچىلىقى ياخشى تازىلاش ئۈنۈمى ، ئاددىي مەشغۇلات ، شۇنداقلا مۇرەككەپ ئۈسكۈنىلەر ۋە قاچىلارنى پاكىزلىيالايدۇ.

بۇ تازىلاش ئۇسۇلى كۈچلۈك ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنىنىڭ تەسىرىدە (ئادەتتە ئىشلىتىلىدىغان ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى چاستوتىسى 20s40kHz) ، سۇيۇق ۋاسىتە ئىچىدە شالاڭ ۋە قويۇق زاپچاسلار ھاسىل بولىدۇ. شالاڭ قىسمى ئاساسەن دېگۈدەك ۋاكۇئۇم بوشلۇقى كۆپۈك ھاسىل قىلىدۇ. كاۋاك كۆپۈك يوقىغاندا ، ئۇنىڭ يېنىدا كۈچلۈك يەرلىك بېسىم پەيدا بولۇپ ، مولېكۇلادىكى خىمىيىلىك رىشتىنى بۇزۇپ ، ۋافېر يۈزىدىكى بۇلغانمىلارنى ئېرىتىدۇ. ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش ئېرىمەس ياكى ئېرىمەس ئېقىن قالدۇقلىرىنى يوقىتىشتا ئەڭ ئۈنۈملۈك.

 

5. مېگاسونىك تازىلاش:

مېگاسونىك تازىلاش ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاشنىڭ ئەۋزەللىكىگە ئىگە بولۇپلا قالماي ، كەمچىلىكلىرىنىمۇ يېڭىدۇ.

مېگاسونىك تازىلاش يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك (850kHz) چاستوتا تەۋرىنىش ئۈنۈمى بىلەن خىمىيىلىك تازىلاش دورىلىرىنىڭ خىمىيىلىك ئىنكاسىنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق ۋافېر تازىلاش ئۇسۇلى. تازىلاش جەريانىدا ، ھەل قىلىش مولېكۇلاسى مېگاسون دولقۇنى بىلەن تېزلىشىدۇ (ئەڭ چوڭ تېزلىك تېزلىكى 30cmV غا يېتىدۇ) ، يۇقىرى سۈرئەتلىك سۇيۇقلۇق دولقۇنى ئۇففېرنىڭ يۈزىگە ئۇدا تەسىر كۆرسىتىدۇ ، شۇڭا بۇلغىما ۋە ئىنچىكە زەررىچىلەر يەر يۈزىگە چاپلىنىدۇ. ۋافېر مەجبۇرىي ئېلىۋېتىلىپ تازىلاش ئېرىتمىسىگە كىرىدۇ. تازىلاش ئېرىتمىسىگە كىسلاتالىق قوشۇمچە ماددىلارنى قوشقاندا ، بىر تەرەپتىن ، قوشۇمچە ماددىلارنىڭ سۈمۈرۈلۈشى ئارقىلىق سىلىقلاش يۈزىدىكى زەررىچىلەر ۋە ئورگانىك ماددىلارنى يوقىتىش مەقسىتىگە يەتكىلى بولىدۇ. يەنە بىر تەرەپتىن ، سۇيۇقلۇق ۋە كىسلاتالىق مۇھىتنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق ، سىلىقلاش قەغىزى يۈزىدىكى مېتال بۇلغىنىشنى يوقىتىش مەقسىتىگە يېتەلەيدۇ. بۇ ئۇسۇل بىرلا ۋاقىتتا مېخانىكىلىق سۈرتۈش ۋە خىمىيىلىك تازىلاش رولىنى ئوينايدۇ.

ھازىر ، مېگاسونىك تازىلاش ئۇسۇلى سىلىقلاش جەدۋىلىنى تازىلاشنىڭ ئۈنۈملۈك ئۇسۇلىغا ئايلاندى.

 

6. ئايلانما پۈركۈش ئۇسۇلى:

ئايلانما پۈركۈش ئۇسۇلى مېخانىكىلىق ئۇسۇللارنى ئىشلىتىپ ۋافېرنى يۇقىرى سۈرئەتتە ئايلاندۇرىدۇ ، ھەمدە ئايلىنىش جەريانىدا ئۇففېرنىڭ يۈزىگە ئۇدا سۇيۇقلۇق (يۇقىرى ساپلىق دىئونلانغان سۇ ياكى باشقا تازىلاش سۇيۇقلۇقى) پۈركۈپ ، ئۈستىدىكى بۇلغىمىلارنى چىقىرىپ تاشلايدۇ. wafer نىڭ يۈزى.

بۇ ئۇسۇل ۋافېر يۈزىدىكى بۇلغىنىشنى ئىشلىتىپ پۈركۈلگەن سۇيۇقلۇقتا ئېرىپ كېتىدۇ (ياكى ئۇنىڭ بىلەن خىمىيىلىك رېئاكسىيە قىلىپ ئېرىتىدۇ) ، ھەمدە يۇقىرى سۈرئەتلىك ئايلىنىشنىڭ مەركەزدىن قاچۇرۇش ئۈنۈمىدىن پايدىلىنىپ ، تەركىبىدىكى بۇلغانمىلار بار سۇيۇقلۇقنى ۋافېر يۈزىدىن ئايرىپ چىقىدۇ. ۋاقتىدا.

ئايلانما پۈركۈش ئۇسۇلى خىمىيىلىك تازىلاش ، سۇيۇقلۇق مېخانىك تازىلاش ۋە يۇقىرى بېسىملىق سۈرتۈشتەك ئەۋزەللىككە ئىگە. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، بۇ ئۇسۇلنى قۇرۇتۇش جەريانى بىلەن بىرلەشتۈرگىلى بولىدۇ. بىر مەزگىل دېئونسىزلانغان سۇ پۈركۈش تازىلاشتىن كېيىن ، سۇ پۈركۈش توختىتىلىپ ، پۈركۈش گازى ئىشلىتىلىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئايلىنىش سۈرئىتىنى ئاشۇرۇپ ، مەركەزدىن قېچىش كۈچىنى ئاشۇرۇپ ، ۋافېرنىڭ يۈزىنى تېز سۇسىزلاندۇرىدۇ.

 

7.قۇرۇق خىمىيىلىك تازىلاش

قۇرۇق تازىلاش ھەل قىلىش چارىسىنى ئىشلەتمەيدىغان تازىلاش تېخنىكىسىنى كۆرسىتىدۇ.

ھازىر ئىشلىتىلىۋاتقان قۇرۇق تازىلاش تېخنىكىسى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ: پلازما تازىلاش تېخنىكىسى ، گاز باسقۇچى تازىلاش تېخنىكىسى ، نۇر دەستىسى تازىلاش تېخنىكىسى قاتارلىقلار.

قۇرۇق تازىلاشنىڭ ئەۋزەللىكى ئاددىي جەريان ، مۇھىت بۇلغىنىشى يوق ، ئەمما تەننەرخى يۇقىرى ، ئىشلىتىش دائىرىسى ھازىرچە چوڭ ئەمەس.

 

1. پلازما تازىلاش تېخنىكىسى:

پلازما تازىلاش كۆپىنچە فوتوگرافنى ئېلىۋېتىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ. پلازما رېئاكسىيە سىستېمىسىغا ئاز مىقداردا ئوكسىگېن كىرگۈزۈلىدۇ. كۈچلۈك ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتىدە ، ئوكسىگېن پلازما ھاسىل قىلىدۇ ، ئۇ فوتوئورگانى تېز سۈرئەتتە ئوكسىدسىز گاز ھالىتىگە ئايلاندۇرىدۇ ۋە چىقىرىلىدۇ.

بۇ تازىلاش تېخنىكىسىنىڭ ئاسان مەشغۇلات قىلىش ، يۇقىرى ئۈنۈملۈك ، پاكىز يەر يۈزى ، سىزىلماسلىقتەك ئەۋزەللىكى بار بولۇپ ، ناچارلىشىش جەريانىدا مەھسۇلات سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىشقا پايدىلىق. ئۇنىڭ ئۈستىگە ، ئۇ كىسلاتا ، ئىشقارلىق ۋە ئورگانىك ئېرىتكۈچى ئىشلەتمەيدۇ ، تاشلاندۇقلارنى بىر تەرەپ قىلىش ۋە مۇھىتنىڭ بۇلغىنىشى قاتارلىق مەسىلىلەر يوق. شۇڭلاشقا ، كىشىلەر بارغانسىرى قەدىرلەيدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، ئۇ كاربون ۋە باشقا تۇراقسىز مېتال ياكى مېتال ئوكسىد ماددىلىرىنى چىقىرىۋېتەلمەيدۇ.

 

2. گاز باسقۇچى تازىلاش تېخنىكىسى:

گاز باسقۇچىنى تازىلاش تازىلاش ئۇسۇلىنى كۆرسىتىدۇ ، ئۇ سۇيۇقلۇق جەريانىدىكى ماس ماددىغا باراۋەر بولغان گاز باسقۇچىنى ئىشلىتىپ ، ۋافېر يۈزىدىكى بۇلغانغان ماددىلار بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىپ ، بۇلغانمىلارنى يوقىتىش مەقسىتىگە يېتىدۇ.

مەسىلەن ، CMOS جەريانىدا ، ۋافېر تازىلاش گاز باسقۇچى HF بىلەن سۇ ھورىنىڭ ئۆز-ئارا تەسىر ئىشلىتىپ ئوكسىدنى يوقىتىدۇ. ئادەتتە ، سۇنى ئۆز ئىچىگە ئالغان HF جەريانى چوقۇم زەررىچە ئېلىۋېتىش جەريانى بىلەن بىللە بولۇشى كېرەك ، ئەمما گاز باسقۇچى HF تازىلاش تېخنىكىسىنى ئىشلىتىش كېيىنكى زەررىچىلەرنى يوقىتىش جەريانىنى تەلەپ قىلمايدۇ.

سۇ HF جەريانىغا سېلىشتۇرغاندا ئەڭ مۇھىم ئەۋزەللىكى HF خىمىيىلىك ئىستېمالى ۋە تازىلاش ئۈنۈمى تېخىمۇ يۇقىرى.

 

دۇنيانىڭ ھەر قايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ بىزنى زىيارەت قىلىپ تېخىمۇ كۆپ مۇلاھىزە قىلىشىنى قارشى ئالىمىز!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j