يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فوتوگرافنىڭ تولۇق جەريانى

ھەر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەھسۇلاتنى ياساش نەچچە يۈز جەرياننى تەلەپ قىلىدۇ. بىز پۈتكۈل ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى سەككىز باسقۇچقا ئايرىدۇق:waferپىششىقلاپ ئىشلەش-ئوكسىدلىنىش-فوتولىئوگرافىيە-يېپىشقاق نېپىز پەردە چۆكمىسى-ئېپتاكسىيىلىك ئۆسۈش-تارقىلىش-ئىئون كۆچۈرۈش.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە مۇناسىۋەتلىك جەريانلارنى چۈشىنىشىڭىز ۋە تونۇشىڭىزغا ياردەم بېرىش ئۈچۈن ، بىز ھەر بىر ساندا ئۈندىدار ماقالىلىرىنى يۇقىرىدىكى باسقۇچلارنىڭ ھەر بىرىنى بىرمۇبىر تونۇشتۇرىمىز.
ئالدىنقى ماقالىدە قوغداشنى قوغداش ئۈچۈن تىلغا ئېلىنغانwaferھەر خىل بۇلغانمىلاردىن ئوكسىد پىلاستىنكىسى ئىشلەندى - ئوكسىدلىنىش جەريانى. بۈگۈن بىز ئوكسىد پىلاستىنكىسى بىلەن ۋافېردىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لايىھىلەش توك يولىنى سۈرەتكە تارتىشنىڭ «فوتوگرافلىق جەريانى» نى مۇزاكىرە قىلىمىز.

 

فوتوگرافىيە جەريانى

 

1. فوتوگرافىيە جەريانى دېگەن نېمە؟

Photolithography بولسا ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن كېرەكلىك توك يولى ۋە ئىقتىدارلىق رايونلارنى ياساش.
فوتوگرافىيە ماشىنىسى تارقاتقان نۇر مودېل بىلەن ماسكا ئارقىلىق فوتوگراف بىلەن سىرلانغان نېپىز پەردىنى ئاشكارىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ. فوتوگراف نۇرنى كۆرگەندىن كېيىن خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىدۇ ، بۇنداق بولغاندا ماسكا ئۈستىدىكى ئەندىزە نېپىز پەردىگە كۆچۈرۈلىدۇ ، بۇنداق بولغاندا نېپىز پەردە ئېلېكترونلۇق توك يولى دىئاگراممىسى بولىدۇ. بۇ فوتوگرافنىڭ رولى ، كامېرا بىلەن رەسىمگە چۈشكەنگە ئوخشاش. كامېرا تارتقان سۈرەتلەر فىلىمگە بېسىلغان ، فوتوگرافتا رەسىملەر ئويۇلغان ئەمەس ، بەلكى توك يولى دىئاگراممىسى ۋە باشقا ئېلېكترونلۇق زاپچاسلار.

Photolithography بولسا ئېنىق بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىسى

ئادەتتىكى فوتوگرافىيە ئۇلترا بىنەپشە نۇرنىڭ دولقۇن ئۇزۇنلۇقى 2000 دىن 4500 گىچە بولغان ئارىلىقنى رەسىم ئۇچۇر توشۇغۇچى سۈپىتىدە ئىشلىتىدىغان جەريان بولۇپ ، فوتوگرافنى ئارىلىق (رەسىم خاتىرىلەش) ۋاستىسى قىلىپ گرافىكنىڭ ئۆزگىرىشى ، يۆتكىلىشى ۋە بىر تەرەپ قىلىنىشىنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ ۋە ئاخىرىدا رەسىمنى يەتكۈزىدۇ. ئۆزەك (ئاساسلىقى كرېمنىي ئۆزىكى) ياكى ئېلېكتر قەۋىتىگە ئائىت ئۇچۇرلار.
شۇنداق دېيىشكە بولىدۇكى ، فوتوگرافلىق زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ، مىكرو ئېلېكترون ۋە ئۇچۇر سانائىتىنىڭ ئاساسى ، فوتوگرافىيە بۇ تېخنىكىلارنىڭ تەرەققىيات سەۋىيىسىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ.
1959-يىلى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى مۇۋەپپەقىيەتلىك كەشىپ قىلىنغان 60 يىلدىن كۆپرەك ۋاقىت ئىچىدە ، ئۇنىڭ گرافىكىنىڭ سىزىق كەڭلىكى تەخمىنەن تۆت چوڭ زاكاز بىلەن قىسقارتىلدى ، ئالتە خىلدىن ئارتۇق زاكاز ئارقىلىق توك يولى بىر گەۋدىلەشتۈرۈلدى. بۇ تېخنىكىلارنىڭ تېز تەرەققىي قىلىشى ئاساسلىقى فوتوگرافنىڭ تەرەققىياتىغا باغلىق.

(توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساشنىڭ ھەر قايسى باسقۇچلىرىدىكى فوتوگرافىيە تېخنىكىسىنىڭ تەلىپى)

 

2. فوتوگرافنىڭ ئاساسىي پرىنسىپلىرى

فوتوگرافىيە ماتېرىياللىرى ئادەتتە فوتوگرافنى كۆرسىتىدۇ ، فوتوگراف دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، بۇ فوتوگرافنىڭ ئەڭ ھالقىلىق ئىقتىدار ماتېرىيالى. بۇ خىل ماتېرىيالنىڭ يورۇقلۇق ئالاھىدىلىكى بار (كۆرۈنگەن نۇر ، ئۇلترا بىنەپشە نۇر ، ئېلېكترون نۇر قاتارلىقلار). فوتو-خىمىيىلىك رېئاكسىيەدىن كېيىن ، ئۇنىڭ ئېرىشچانلىقى كۆرۈنەرلىك ئۆزگىرىدۇ.
بۇنىڭ ئىچىدە ، ئىجادكاردىكى ئاكتىپ فوتوگرافنىڭ ئېرىشچانلىقى ئاشىدۇ ، ئېرىشكەن ئەندىزە ماسكا بىلەن ئوخشاش. مەنپىي فوتوگرافنىڭ ئەكسىچە ، يەنى ئىجادكارلار بىلەن ئۇچراشقاندىن كېيىن ئېرىشچانلىقى تۆۋەنلەيدۇ ، ھەتتا ئېرىمەيدۇ ، ئېرىشىلگەن ئەندىزە ماسكا بىلەن قارمۇ قارشى. ئىككى خىل فوتوگرافنىڭ قوللىنىشچان ساھەلىرى ئوخشىمايدۇ. ئاكتىپ فوتوگرافلار كۆپ ئىشلىتىلىدۇ ، ئومۇمىي ساننىڭ% 80 تىن كۆپرەكىنى ئىگىلەيدۇ.

يۇقارقىلار فوتوگرافلىق جەرياننىڭ سىخېما دىئاگراممىسى

 

(1) چاپلاش:

يەنى ، قېلىنلىقى بىر قەدەر كۈچلۈك ، يېپىشقاقلىقى ۋە كرېمنىيلىق ۋافېردا كەمتۈك بولمىغان فوتوگرافلىق پىلاستىنكا ھاسىل قىلىش. فوتوگرافلىق پىلاستىنكا بىلەن كرېمنىيلىق ۋافېر ئوتتۇرىسىدىكى يېپىشقاقلىقنى كۈچەيتىش ئۈچۈن ، ئالدى بىلەن كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ يۈزىنى ئالتە تەرەپلىك ئوكسىدلىنىش (HMDS) ۋە ترىمېتىلسىلىلىدېتىلامىن (TMSDEA) قاتارلىق ماددىلار بىلەن ئۆزگەرتىشكە توغرا كېلىدۇ. ئاندىن ، فوتوگرافلىق فىلىم ئايلانما سىر بىلەن تەييارلىنىدۇ.

(2) ئالدىن پىشۇرۇش:

ئايلانما سىرلانغاندىن كېيىن ، فوتوگرافلىق فىلىمدە يەنىلا مەلۇم مىقداردا ئېرىتكۈچى بار. تېخىمۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرغاندىن كېيىن ، ئېرىتمىنى ئامال بار ئېلىۋەتكىلى بولىدۇ. ئالدىن پىشۇرغاندىن كېيىن ، فوتوگرافنىڭ مەزمۇنى تەخمىنەن% 5 كە تۆۋەنلەيدۇ.

(3) ئاشكارىلاش:

دېمەك ، فوتوگراف نۇرنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ. بۇ ۋاقىتتا سۈرەتكە تارتىش يۈز بېرىدۇ ، يورۇتۇلغان قىسمى بىلەن يورۇتۇلمىغان قىسىمنىڭ ئېرىشچانلىقى پەرقى كۆرۈلىدۇ.

(4) تەرەققىيات ۋە قاتتىقلاشتۇرۇش:

بۇ مەھسۇلات ئاچقۇچىغا چۆمۈلگەن. بۇ ۋاقىتتا مۇسبەت فوتوگرافنىڭ ئاشكارلانغان رايونى ۋە مەنپىي فوتوگرافنىڭ ئاشكارىلانمىغان رايونى تەرەققىياتتا ئېرىپ كېتىدۇ. بۇ ئۈچ ئۆلچەملىك ئەندىزىنى ئوتتۇرىغا قويدى. تەرەققىي قىلغاندىن كېيىن ، ئۆزەك قاتتىق تېمپېراتۇرىغا ئايلىنىش ئۈچۈن يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق بىر تەرەپ قىلىش جەريانىغا موھتاج ، بۇ ئاساسلىقى فوتوگرافنىڭ ئاستىغا چاپلىشىشىنى تېخىمۇ كۈچەيتىدۇ.

(5) Etching:

فوتوگرافنىڭ ئاستىدىكى ماتېرىياللار ئورالغان. ئۇ سۇيۇق ھۆل تەمرەتكە ۋە گازلىق قۇرۇق قىچىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. مەسىلەن ، كرېمنىينىڭ ھۆل يېيىشى ئۈچۈن ، گىدروفلوئور كىسلاتاسىنىڭ كىسلاتالىق سۇ ئېرىتمىسى ئىشلىتىلىدۇ. مىسنى ھۆل قىرىش ئۈچۈن ، نىترىت كىسلاتاسى ، گۈڭگۈرت كىسلاتاسى قاتارلىق كۈچلۈك كىسلاتا ئېرىتمىسى ئىشلىتىلىدۇ ، قۇرۇق قىچىشتا دائىم پلازما ياكى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك ئىئون لامپىسى ئىشلىتىپ ماتېرىيالنىڭ يۈزىگە زىيان سالىدۇ ۋە ئۇنى قىرىدۇ.

(6) Degumming:

ئاخىرىدا ، فوتوگرافنى لىنزا يۈزىدىن چىقىرىۋېتىش كېرەك. بۇ باسقۇچ چېكىنىش دەپ ئاتىلىدۇ.

بارلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى بىخەتەرلىك ئەڭ مۇھىم مەسىلە. ئۆزەك تاش مەتبەئە جەريانىدىكى ئاساسلىق خەتەرلىك ۋە زىيانلىق فوتوگرافلىق گازلار تۆۋەندىكىچە:

 

1. ھىدروگېن ئوكسىد

ھىدروگېن ئوكسىد (H2O2) كۈچلۈك ئوكسىدلىنىش. بىۋاسىتە ئۇچرىشىش تېرە ۋە كۆز ياللۇغىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

 

2. Xylene

شىلېن مەنپىي تاش مەتبەئەدە ئىشلىتىلىدىغان ئېرىتكۈچى ۋە ئىجادكار. ئۇ ئاسان يانىدىغان بولۇپ ، تۆۋەن تېمپېراتۇرىسى ئاران 27.3 ℃ (تەخمىنەن ئۆينىڭ تېمپېراتۇرىسى). ھاۋادىكى قويۇقلۇقى% 1-% 7 بولغاندا پارتلايدۇ. خىلىن بىلەن قايتا-قايتا ئۇچرىشىش تېرە ياللۇغىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. شىلېن ھور تاتلىق بولۇپ ، ئايروپىلاننىڭ پۇرىقىغا ئوخشايدۇ. خىلىن بىلەن ئۇچرىشىش كۆز ، بۇرۇن ۋە كېكىردەكنىڭ ياللۇغلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. گازنىڭ سۈمۈرۈلۈشى باش ئاغرىش ، باش قېيىش ، ئىشتىھا تۇتۇلۇش ۋە ھارغىنلىقنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

 

3. Hexamethyldisilazane (HMDS)

Hexamethyldisilazane (HMDS) ئادەتتە دەسلەپكى قەۋەت سۈپىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، فوتوگرافنىڭ مەھسۇلات يۈزىگە چاپلىشىشىنى ئاشۇرىدۇ. ئۇ ئاسان يانىدىغان بولۇپ ، يورۇتۇش نۇقتىسى ° C 6.7. ھاۋادىكى قويۇقلۇقى% 0.8 -16% بولغاندا پارتلايدۇ. HMDS ئاممىياك قويۇپ بېرىش ئۈچۈن سۇ ، ئىسپىرت ۋە مىنېرال كىسلاتا بىلەن كۈچلۈك ئىنكاس قايتۇرىدۇ.

 

4. Tetramethylammonium گىدروكسىد

Tetramethylammonium گىدروكسىد (TMAH) مۇسبەت تاش مەتبەئە ئۈچۈن ئاچقۇچى سۈپىتىدە كەڭ قوللىنىلىدۇ. ئۇ زەھەرلىك ۋە چىرىتكۈچى. يۇتۇۋەتسە ياكى تېرە بىلەن بىۋاسىتە ئۇچراشسا ئەجەللىك بولىدۇ. TMAH چاڭ-توزان ياكى تۇمان بىلەن ئۇچرىشىش كۆز ، تېرە ، بۇرۇن ۋە كېكىردەكنىڭ ياللۇغلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى TMAH نىڭ نەپەسلىنىشى ئۆلۈمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

 

5. خلور ۋە فتور

خلور (Cl2) ۋە فتور (F2) ھەر ئىككىسى چوڭقۇر ئۇلترا بىنەپشە ۋە ئىنتايىن ئۇلترا بىنەپشە نۇر (EUV) نۇر مەنبەسى سۈپىتىدە ھاياجانلاندۇرىدىغان لازېردا ئىشلىتىلىدۇ. ھەر ئىككى خىل گاز زەھەرلىك ، سۇس يېشىل كۆرۈنىدۇ ھەمدە كۈچلۈك غىدىقلىغۇچى پۇراققا ئىگە. يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى بۇ گازنىڭ سۈمۈرۈلۈشى ئۆلۈمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. فتور گازى سۇ بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ھىدروگېن فتور گازى ھاسىل قىلىشى مۇمكىن. ھىدروگېن فتور گازى تېرە ، كۆز ۋە نەپەس يولىنى غىدىقلايدىغان كۈچلۈك كىسلاتا بولۇپ ، كۆيۈش ۋە نەپەس قىيىنلىشىش قاتارلىق كېسەللىك ئالامەتلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. فتورنىڭ قويۇقلۇقى يۇقىرى بولۇپ ، ئادەم بەدىنىگە زەھەرلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، باش ئاغرىش ، قۇسۇش ، ئىچ سۈرۈش ۋە ھوشسىزلىنىش قاتارلىق كېسەللىك ئالامەتلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

 

6. Argon

ئارگون (Ar) ئىنېرت گازى بولۇپ ، ئادەتتە ئادەم بەدىنىگە بىۋاسىتە زىيان كەلتۈرمەيدۇ. نورمال ئەھۋال ئاستىدا ، كىشىلەر نەپەسلىنىدىغان ھاۋادا تەخمىنەن% 0.93 ئارگون بار ، بۇ قويۇقلۇقنىڭ ئادەم بەدىنىگە كۆرۈنەرلىك تەسىرى يوق. قانداقلا بولمىسۇن ، بەزى ئەھۋاللاردا ، ئارگون ئادەم بەدىنىگە زىيان ئېلىپ كېلىشى مۇمكىن.
بۇ يەردە مۇمكىن بولغان بەزى ئەھۋاللار بار: چەكلەنگەن بوشلۇقتا ئارگوننىڭ قويۇقلۇقى ئېشىپ ، بۇ ئارقىلىق ھاۋادىكى ئوكسىگېننىڭ قويۇقلۇقى تۆۋەنلەپ ، قاندىكى ئوكسىدلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ بەلكىم باش قېيىش ، ھارغىنلىق ۋە نەپەس سىقىلىش قاتارلىق كېسەللىك ئالامەتلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. ئۇنىڭدىن باشقا ، ئارگون ئىنېرت گازى ، ئەمما ئۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا ياكى يۇقىرى بېسىم ئاستىدا پارتىلىشى مۇمكىن.

 

7. Neon

Neon (Ne) تۇراقلىق ، رەڭسىز ۋە پۇراقسىز گاز بولۇپ ، نېئون گازى ئىنسانلارنىڭ نەپەسلىنىش جەريانىغا قاتناشمايدۇ ، شۇڭا يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى نېئون گازىدا نەپەسلىنىش قاندىكى ئوكسىدلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئەگەر سىز ئۇزۇن مۇددەت قان شېكىرى تۆۋەن ھالەتتە تۇرسىڭىز ، باش ئاغرىش ، كۆڭلى ئاينىش ، قۇسۇش قاتارلىق ئالامەتلەر كۆرۈلىشى مۇمكىن. ئۇنىڭدىن باشقا ، نېئون گازى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ياكى يۇقىرى بېسىم ئاستىدا باشقا ماددىلار بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، ئوت ياكى پارتىلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

 

8. Xenon gas

شېنون گازى (Xe) تۇراقلىق ، رەڭسىز ۋە پۇراقسىز گاز بولۇپ ، ئۇ ئىنسانلارنىڭ نەپەسلىنىش جەريانىغا قاتناشمايدۇ ، شۇڭا يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى كېسون گازىدا نەپەسلىنىش قاندىكى ئوكسىدلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئەگەر سىز ئۇزۇن مۇددەت قان يېتىشمەسلىك كېسىلىگە گىرىپتار بولسىڭىز ، باش ئاغرىش ، كۆڭلى ئاينىش ، قۇسۇش قاتارلىق كېسەللىك ئالامەتلىرى كۆرۈلىشىڭىز مۇمكىن. ئۇنىڭدىن باشقا ، نېئون گازى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ياكى يۇقىرى بېسىم ئاستىدا باشقا ماددىلار بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، ئوت ياكى پارتىلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

 

9. Krypton gas

كرىپتون گازى (Kr) تۇراقلىق ، رەڭسىز ۋە پۇراقسىز گاز بولۇپ ، ئۇ ئىنسانلارنىڭ نەپەسلىنىش جەريانىغا قاتناشمايدۇ ، شۇڭا يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى كىرىپتون گازىدا نەپەسلىنىش قاندىكى ئوكسىدلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئەگەر سىز ئۇزۇن مۇددەت قان يېتىشمەسلىك كېسىلىگە گىرىپتار بولسىڭىز ، باش ئاغرىش ، كۆڭلى ئاينىش ، قۇسۇش قاتارلىق كېسەللىك ئالامەتلىرى كۆرۈلىشىڭىز مۇمكىن. ئۇنىڭدىن باشقا ، كېسېن گازى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ياكى يۇقىرى بېسىم ئاستىدا باشقا ماددىلار بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، ئوت ياكى پارتىلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. ئوكسىگېن كەمچىل مۇھىتتا نەپەسلىنىش قاندىكى ئوكسىدلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ئەگەر سىز ئۇزۇن مۇددەت قان يېتىشمەسلىك كېسىلىگە گىرىپتار بولسىڭىز ، باش ئاغرىش ، كۆڭلى ئاينىش ، قۇسۇش قاتارلىق كېسەللىك ئالامەتلىرى كۆرۈلىشىڭىز مۇمكىن. بۇنىڭدىن باشقا ، كىرىپتون گازى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ياكى يۇقىرى بېسىم ئاستىدا باشقا ماددىلار بىلەن ئىنكاس قايتۇرۇپ ، ئوت ياكى پارتىلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

 

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئۈچۈن خەتەرلىك گاز بايقاش چارىلىرى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئاسان يانىدىغان ، پارتىلاتقۇچ دورا ، زەھەرلىك ۋە زىيانلىق گازلارنىڭ ئىشلەپچىقىرىلىشى ، ياسىلىشى ۋە جەريانىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتىدىكى گاز ئىشلەتكۈچىلەر بولۇش سۈپىتى بىلەن ، ھەر بىر خىزمەتچى ئىشلىتىشتىن ئىلگىرى ھەر خىل خەتەرلىك گازلارنىڭ بىخەتەرلىك سانلىق مەلۇماتلىرىنى چۈشىنىشى ، ھەمدە بۇ گازلار ئېقىپ كەتكەندە جىددىي تەرتىپلەرنى قانداق بىر تەرەپ قىلىشنى بىلىشى كېرەك.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنى ئىشلەپچىقىرىش ، ياساش ۋە ساقلاشتا ، بۇ خەتەرلىك گازلارنىڭ ئېقىپ كېتىشىدىن كېلىپ چىققان ئادەم ۋە مال-مۈلۈكنىڭ زىيانغا ئۇچرىشىدىن ساقلىنىش ئۈچۈن ، گازنى تەكشۈرۈش ئەسۋابى ئورنىتىپ ، نىشاندىكى گازنى ئېنىقلاش كېرەك.

گاز تەكشۈرگۈچ بۈگۈنكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى موھىم مۇھىتنى نازارەت قىلىش قورالىغا ئايلاندى ، شۇنداقلا ئەڭ بىۋاسىتە نازارەت قىلىش قورالى.
رىكېن كېيكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش سانائىتىنىڭ بىخەتەر تەرەققىياتىغا ئىزچىل ئەھمىيەت بېرىپ ، كىشىلەرگە بىخەتەر خىزمەت مۇھىتى يارىتىشنى مەقسەت قىلىپ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىگە ماس كېلىدىغان گاز سېنزورلىرىنى تەرەققىي قىلدۇرۇشقا ئۆزىنى بېغىشلاپ ، يولۇققان ھەر خىل مەسىلىلەرنى مۇۋاپىق ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلىدى. ئىشلەتكۈچىلەر ، ھەمدە مەھسۇلات ئىقتىدارىنى ئۈزلۈكسىز يېڭىلاپ ، سىستېمىنى ئەلالاشتۇرىدۇ.