يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش كەسپىدىكى بۇلغىنىش مەنبەسى ۋە ئالدىنى ئېلىش

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى ئىشلەپچىقىرىش ئاساسلىقى دىسكا ئۈسكۈنىلىرى ، توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ۋە ئۇلارنىڭ ئوراش جەريانىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنى مەھسۇلات گەۋدىسى ماتېرىيال ئىشلەپچىقىرىش ، مەھسۇلاتتىن ئىبارەت ئۈچ باسقۇچقا بۆلۈشكە بولىدۇwaferياساش ۋە ئۈسكۈنىلەرنى قۇراشتۇرۇش. بۇنىڭ ئىچىدە ، ئەڭ ئېغىر بۇلغىنىش مەھسۇلات ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش باسقۇچى.
بۇلغىما ئاساسلىقى كېرەكسىز سۇ ، كېرەكسىز گاز ۋە قاتتىق تاشلاندۇقلارغا ئايرىلىدۇ.
ئۆزەك ياساش جەريانى:
كرېمنىيلىق ۋافېرسىرتقى ئۇۋىلاشتىن كېيىن - تازىلاش - ئوكسىدلىنىش - بىرلىككە قارشى تۇرۇش - فوتولىئوگرافىيە - تەرەققىيات - قىچىشىش - تارقىلىش ، ئىئون كۆچۈرۈش - خىمىيىلىك ھور چۆكۈش - خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش - مېتاللاشتۇرۇش قاتارلىقلار.

پاسكىنا سۇ
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ۋە ئوراپ قاچىلاشنىڭ ھەر بىر باسقۇچ باسقۇچىدا كۆپ مىقداردا كېرەكسىز سۇ ھاسىل بولىدۇ ، ئاساسلىقى كىسلاتالىق كېرەكسىز سۇ ، ئاممىياك تەركىبىدىكى كېرەكسىز سۇ ۋە ئورگانىك كېرەكسىز سۇ.

1. فتور تەركىبىدىكى كېرەكسىز سۇ:
گىدروفلوئور كىسلاتا ئوكسىدلىنىش ۋە چىرىتىش خۇسۇسىيىتى سەۋەبىدىن ئوكسىدلىنىش ۋە قىچىشىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان ئاساسلىق ئېرىتكۈچىگە ئايلىنىدۇ. بۇ جەرياندا فتور بار يۇندى سۈيى ئاساسلىقى ئۆزەك ياساش جەريانىدىكى تارقىلىش جەريانى ۋە خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش جەريانىدىن كېلىدۇ. كرېمنىيلىق ۋافېر ۋە مۇناسىۋەتلىك قاچا-قۇچىلارنى تازىلاش جەريانىدا ، گىدروخلورىك كىسلاتامۇ كۆپ قېتىم ئىشلىتىلىدۇ. بۇ جەريانلارنىڭ ھەممىسى مەخسۇس ئېتىش باكى ياكى تازىلاش ئۈسكۈنىلىرىدە تاماملانغان ، شۇڭا تەركىبىدە فتور بار يۇندى سۈيىنى مۇستەقىل قويۇپ بەرگىلى بولىدۇ. قويۇقلۇقىغا ئاساسەن ، ئۇنى يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى فتور بار يۇندى ۋە تۆۋەن قويۇقلۇقتىكى ئاممىياك بار يۇندى دەپ ئايرىشقا بولىدۇ. ئادەتتە ، يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى ئاممىياك بولغان كېرەكسىز سۇنىڭ قويۇقلۇقى 100-1200 mg / L غا يېتىدۇ. كۆپىنچە شىركەتلەر بۇ سۇنىڭ بىر قىسمىنى يۇقىرى سۇ سۈپىتىگە ئېھتىياجلىق بولمىغان جەريانلار ئۈچۈن يىغىۋالىدۇ.
2. كىسلاتالىق كېرەكسىز سۇ:
توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى بارلىق جەريانلار ئۆزەكنى تازىلاشنى تەلەپ قىلىدۇ. ھازىر گۈڭگۈرت كىسلاتاسى ۋە ھىدروگېن ئوكسىد بىر گەۋدىلەشتۈرۈلگەن توك يولى ياساش جەريانىدا ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان تازىلاش سۇيۇقلۇقى. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئازوت كىسلاتاسى ، ھىدرو كىسلاتا ۋە ئاممىياك سۈيى قاتارلىق كىسلاتالىق ئاساسى رېئاكتورلارمۇ ئىشلىتىلىدۇ.
ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى كىسلاتالىق كېرەكسىز سۇ ئاساسلىقى ئۆزەك ياساش جەريانىدىكى تازىلاش جەريانىدىن كېلىدۇ. ئوراپ قاچىلاش جەريانىدا ، ئۆزەك ئېلېكتىرولىزلاش ۋە خىمىيىلىك ئانالىز جەريانىدا كىسلاتا-ئىشقارلىق ئېرىتمىسى بىلەن بىر تەرەپ قىلىنىدۇ. بىر تەرەپ قىلىنغاندىن كېيىن ، ئۇنى پاكىز سۇ بىلەن يۇيۇپ ، كىسلاتالىق كىرئالغۇنى چىقىرىۋېتىش كېرەك. ئۇنىڭدىن باشقا ، ناترىي ھىدروكسىد ۋە ھىدروكلور كىسلاتاسى قاتارلىق كىسلاتالىق رېئاكتورلارمۇ ساپ سۇ پونكىتىدا ئانئون ۋە كاتالىزاتورنى قايتا ھاسىل قىلىپ ، كىسلاتا-ئىشقارلىق قايتا ھاسىل بولىدىغان كېرەكسىز سۇنى ھاسىل قىلىدۇ. قۇيرۇق سۇنى يۇيۇشمۇ كىسلاتالىق كېرەكسىز گازنى يۇيۇش جەريانىدا ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش شىركەتلىرىدە كىسلاتالىق كېرەكسىز سۇنىڭ مىقدارى ئالاھىدە كۆپ.
3. ئورگانىك كېرەكسىز سۇ:
ئوخشىمىغان ئىشلەپچىقىرىش جەريانى سەۋەبىدىن ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدە ئىشلىتىلىدىغان ئورگانىك ئېرىتكۈچىنىڭ مىقدارى ئوخشىمايدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، تازىلاش دورىسى بولۇش سۈپىتى بىلەن ، ئورگانىك ئېرىتكۈچىلەر ئىشلەپچىقىرىش ئورالمىلىرىنىڭ ھەر خىل ئۇلىنىشلىرىدا يەنىلا كەڭ قوللىنىلىدۇ. بەزى ئېرىتكۈچىلەر ئورگانىك يۇندى چىقىرىشقا ئايلىنىدۇ.
4. باشقا كېرەكسىز سۇ:
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى قىچىشىش جەريانىدا كۆپ مىقداردا ئاممىياك ، فتور ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى سۇ ئىشلىتىلىدۇ ، بۇ ئارقىلىق يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى ئاممىياك بار بولغان پاسكىنا سۇ قويۇپ بېرىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئوراپ قاچىلاش جەريانىدا ئېلېكترلەشتۈرۈش جەريانى تەلەپ قىلىنىدۇ. ئۆزەكنى ئېلېكترلەشتۈرگەندىن كېيىن تازىلاشقا توغرا كېلىدۇ ، بۇ جەرياندا پاكىزلاش كېرەكسىز سۇنى ھاسىل قىلىدۇ. بەزى مېتاللار ئېلېكتىرولىزلاشتا ئىشلىتىلىدىغان بولغاچقا ، ئېلېكتىرولىزلاش تازىلاش يۇندىدا قوغۇشۇن ، قەلەي ، دىسكا ، سىنىك ، ئاليۇمىن قاتارلىقلار بار.

كېرەكسىز گاز
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياننىڭ مەشغۇلات ئۆيىنىڭ پاكىزلىقىغا بولغان تەلىپى ئىنتايىن يۇقىرى بولغاچقا ، مەستانىلەر ئادەتتە بۇ جەرياندا تۇراقسىزلانغان ھەر خىل تاشلاندۇق گازىنى چىقىرىشقا ئىشلىتىلىدۇ. شۇڭلاشقا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى تاشلاندۇق گازىنىڭ قويۇپ بېرىلىشى زور گاز چىقىرىش مىقدارى ۋە بۇلغىما قويۇپ بېرىش مىقدارى تۆۋەن بولۇش بىلەن خاراكتېرلىنىدۇ. تاشلاندۇق گازى قويۇپ بېرىشمۇ ئاساسلىقى تۇراقسىزلىنىدۇ.
بۇ كېرەكسىز گاز قويۇپ بېرىشنى ئاساسلىقى كىسلاتالىق گاز ، ئىشقارلىق گاز ، ئورگانىك تاشلاندۇق گازى ۋە زەھەرلىك گازدىن ئىبارەت تۆت تۈرگە ئايرىشقا بولىدۇ.
1. كىسلاتالىق كېرەكسىز گاز:
كىسلاتالىق كېرەكسىز گاز ئاساسلىقى تارقىلىشتىن كېلىدۇ ،CVD، CMP ۋە قىچىشىش جەريانى ، بۇ كىسلاتانى ئاساس قىلغان تازىلاش ئېرىتمىسىنى ئىشلىتىپ ۋافېرنى تازىلايدۇ.
ھازىر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان تازىلاش ئېرىتمىسى ھىدروگېن ئوكسىد بىلەن گۈڭگۈرت كىسلاتاسىنىڭ ئارىلاشمىسى.
بۇ جەريانلاردا ھاسىل بولغان تاشلاندۇق گازى گۈڭگۈرت كىسلاتاسى ، گىدروفلور كىسلاتاسى ، گىدروخلور كىسلاتاسى ، نىترىت كىسلاتاسى ۋە فوسفورلۇق كىسلاتا قاتارلىق كىسلاتالىق گازلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئىشقارلىق گازى ئاساسلىقى ئاممىياك.
2. ئورگانىك تاشلاندۇق گازى:
ئورگانىك تاشلاندۇق گازى ئاساسلىقى فوتوگرافىيە ، تەرەققىيات ، قىچىشىش ۋە تارقىلىش قاتارلىق جەريانلاردىن كېلىدۇ. بۇ جەريانلاردا ئورگانىك ئېرىتمە (مەسىلەن ئىزوپروپىل ئىسپىرت) ۋافېرنىڭ يۈزىنى تازىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، تەۋرىنىش كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان تاشلاندۇق گازى ئورگانىك تاشلاندۇق گازىنىڭ بىرى.
شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، فوتوگراف (فوتوگراف) فوتوگرافوگرافىيە ۋە قىچىشىش جەريانىدا ئىشلىتىلگەن ، ئورگانىك تاشلاندۇق گازىنىڭ يەنە بىر مەنبەسى بولغان ۋافېر پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا ئاتموسفېراغا ئۆزگىرىدىغان بۇتىل ئاتسېتات قاتارلىق ئۆزگىرىشچان ئورگانىك ئېرىتكۈچى بار.
3. زەھەرلىك تاشلاندۇق گازى:
زەھەرلىك تاشلاندۇق گازى ئاساسلىقى خرۇستال تۇتقاقلىق ، قۇرۇق قىچىشىش ۋە CVD قاتارلىق جەريانلاردىن كېلىدۇ. بۇ جەريانلاردا ھەر خىل يۇقىرى ساپلىقتىكى ئالاھىدە گازلار ۋافېرنى بىر تەرەپ قىلىشتا ئىشلىتىلىدۇ ، مەسىلەن كرېمنىي (SiHj) ، فوسفور (PH3) ، كاربون تېتراخلورىد (CFJ) ، بوران ، بور ئوكسىد قاتارلىقلار. بەزى ئالاھىدە گازلار زەھەرلىك ، نەپەسلىنىش ۋە چىرىتىش.
شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا خىمىيىلىك ھور چۆكۈپ كەتكەندىن كېيىن قۇرۇتۇش ۋە تازىلاش جەريانىدا ، كۆپ مىقداردا تولۇق ئوكسىد (PFCS) گازى تەلەپ قىلىنىدۇ ، مەسىلەن NFS ، C2F & CR, C3FS, CHF3, SF6 قاتارلىقلار. بۇ خىل بىرىكمە بىرىكمىلەر. ئىنفىرا قىزىل نۇر رايونىدا كۈچلۈك سۈمۈرۈلۈش ۋە ئاتموسفېرادا ئۇزاق تۇرۇش. ئۇلار ئادەتتە يەر شارى پارنىك ئېففېكتىنىڭ ئاساسلىق مەنبەسى دەپ قارىلىدۇ.
4. ئوراپ قاچىلاش جەريانىدىكى كېرەكسىز گاز:
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىغا سېلىشتۇرغاندا ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئوراپ قاچىلاش جەريانىدا ھاسىل بولغان تاشلاندۇق گازى بىر قەدەر ئاددىي ، ئاساسلىقى كىسلاتالىق گاز ، ئېپوس قالدۇقى ۋە چاڭ-توزان.
كىسلاتالىق كېرەكسىز گاز ئاساسلىقى ئېلېكتىرولىتلاش قاتارلىق جەريانلاردا ھاسىل بولىدۇ.
ئەخلەت گازى پىشۇرۇش مەھسۇلاتنى چاپلاش ۋە پېچەتلەشتىن كېيىن پىشۇرۇش جەريانىدا ھاسىل بولىدۇ
بوياش ماشىنىسى ۋافېر كېسىش جەريانىدا مىكرو كرېمنىي توپىسى بولغان تاشلاندۇق گازىنى ھاسىل قىلىدۇ.

مۇھىت بۇلغىنىش مەسىلىسى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىدىكى مۇھىت بۇلغىنىش مەسىلىسىگە نىسبەتەن ، ھەل قىلىشقا تېگىشلىك ئاساسلىق مەسىلىلەر:
· فوتوگرافلىق جەرياندا ھاۋا بۇلغىمىسى ۋە ئۆزگىرىشچان ئورگانىك بىرىكمىلەرنىڭ (VOC) كەڭ كۆلەمدە قويۇپ بېرىلىشى
· پلازما قېتىش ۋە خىمىيىلىك ھور چۆكۈش جەريانىدا خۇشپۇراق بىرىكمىلەر (PFCS) نىڭ قويۇپ بېرىلىشى
· ئەمگەكچىلەرنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ۋە بىخەتەرلىكىنى قوغداشتا ئېنېرگىيە ۋە سۇنى كەڭ كۆلەمدە ئىستېمال قىلىش
· قوشۇمچە مەھسۇلاتلارنى يىغىۋېلىش ۋە بۇلغىنىشنى نازارەت قىلىش
· ئوراپ قاچىلاش جەريانىدا خەتەرلىك خىمىيىلىك ماددىلارنى ئىشلىتىش مەسىلىسى.

پاكىز ئىشلەپچىقىرىش
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىنىڭ پاكىز ئىشلەپچىقىرىش تېخنىكىسىنى خام ئەشيا ، جەريان ۋە جەرياننى كونترول قىلىش تەرەپلىرىدىن ياخشىلىغىلى بولىدۇ.

خام ئەشيا ۋە ئېنېرگىيەنى ياخشىلاش
بىرىنچى ، ماتېرىياللارنىڭ ساپلىقىنى قاتتىق كونترول قىلىپ ، بۇلغانمىلار ۋە زەررىچىلەرنىڭ كىرىشىنى ئازايتىش كېرەك.
ئىككىنچىدىن ، ھەرخىل تېمپېراتۇرا ، ئېقىپ كېتىشنى بايقاش ، تەۋرىنىش ، يۇقىرى بېسىملىق ئېلېكتر سوقۇشى ۋە باشقا سىناقلار ئىشلەپچىقىرىشقا كىرىشتىن بۇرۇن كەلگەن زاپچاسلار ياكى يېرىم تەييار مەھسۇلاتلاردا ئېلىپ بېرىلىشى كېرەك.
ئۇنىڭدىن باشقا ، قوشۇمچە ماتېرىياللارنىڭ ساپلىقىنى قاتتىق كونترول قىلىش كېرەك. پاكىز ئېنېرگىيە ئىشلەپچىقىرىشقا ئىشلىتىلىدىغان تېخنىكىلار بىر قەدەر كۆپ.

ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇڭ
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنىڭ ئۆزى جەريان تېخنىكىسىنى ياخشىلاش ئارقىلىق مۇھىتقا بولغان تەسىرىنى ئازايتىشقا تىرىشىدۇ.
مەسىلەن ، ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 70-يىللىرىدا ، ئورگانىك ئېرىتكۈچىلەر ئاساسلىقى توپلاشتۇرۇلغان توك تازىلاش تېخنىكىسىدىكى ۋافېرلارنى تازىلاشقا ئىشلىتىلگەن. ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 80-يىللىرىدا ، سۇلفات كىسلاتا قاتارلىق كىسلاتا ۋە ئىشقار ئېرىتمىسى ۋافېرنى تازىلاشقا ئىشلىتىلگەن. ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 90-يىللىرىغا قەدەر ، پلازما ئوكسىگىن تازىلاش تېخنىكىسى بارلىققا كەلگەن.
ئوراپ قاچىلاش جەھەتتە ، ھازىر نۇرغۇن شىركەتلەر ئېلېكتر ئېنېرگىيىسى تېخنىكىسىنى ئىشلىتىدۇ ، بۇ مۇھىتنىڭ ئېغىر مېتال بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
قانداقلا بولمىسۇن ، شاڭخەيدىكى ئوراپ قاچىلاش زاۋۇتلىرى ئېلېكترلەشتۈرۈش تېخنىكىسىنى ئەمدى ئىشلەتمەيدۇ ، شۇڭا ئېغىر مېتاللارنىڭ مۇھىتقا بولغان تەسىرى يوق. شۇنى بايقىغىلى بولىدۇكى ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئۆزىنىڭ تەرەققىيات جەريانىدىكى جەرياننى ياخشىلاش ۋە خىمىيىلىك ئالماشتۇرۇش ئارقىلىق مۇھىتقا بولغان تەسىرىنى تەدرىجىي ئازايتىۋاتىدۇ ، بۇمۇ مۇھىتنى ئاساس قىلغان تەشۋىقات جەريانى ۋە مەھسۇلات لايىھىلەشنىڭ نۆۋەتتىكى يەرشارى تەرەققىيات يۈزلىنىشىگە ئەگىشىدۇ.

ھازىر ، تېخىمۇ كۆپ يەرلىك جەريانلارنى ياخشىلاش ئېلىپ بېرىلماقتا ، بۇنىڭ ئىچىدە:
· بارلىق ئاممونىيلىق PFCS گازىنى ئالماشتۇرۇش ۋە ئازايتىش ، مەسىلەن پارنىك ئېففېكتى تۆۋەن بولغان PFCs گازىنى ئىشلىتىپ پارنىكنى يۇقىرى پارنىك ئېففېكتى بىلەن ئالماشتۇرۇش ، مەسىلەن جەرياننىڭ ئايلىنىشىنى ياخشىلاش ۋە بۇ جەرياندا ئىشلىتىلىدىغان PFCS گازىنىڭ مىقدارىنى ئازايتىش دېگەندەك.
· تاق ۋافېرلىق تازىلاشقا كۆپ ۋافېرلىق تازىلاشنى ياخشىلاپ ، تازىلاش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان خىمىيىلىك تازىلاش دورىلىرىنىڭ مىقدارىنى ئازايتىش.
· جەرياننى قاتتىق كونترول قىلىش:
a. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى ئاپتوماتلاشتۇرۇشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇڭ ، ئۇ ئېنىق پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ ھەمدە قول مەشغۇلاتىنىڭ يۇقىرى خاتالىق نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
b. دەرىجىدىن تاشقىرى پاكىز جەريان مۇھىت ئامىلى ، مەھسۇلات زىيىنىنىڭ تەخمىنەن% 5 ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەن بولۇشى كىشىلەر ۋە مۇھىت كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. دەرىجىدىن تاشقىرى پاكىز جەريان مۇھىت ئامىلى ئاساسلىقى ھاۋا تازىلىقى ، يۇقىرى ساپلىقتىكى سۇ ، پىرىسلانغان ھاۋا ، CO2 ، N2 ، تېمپېراتۇرا ، نەملىك قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ھاۋا ، يەنى زەررىچىلەر سانىنىڭ قويۇقلۇقى
c. بايقاشنى كۈچەيتىپ ، ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا نۇرغۇن ئەخلەتلەر بار خىزمەت پونكىتلىرىدا بايقاش ئۈچۈن مۇۋاپىق ئاچقۇچلۇق نۇقتىلارنى تاللاڭ.

 

دۇنيانىڭ ھەر قايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ بىزنى زىيارەت قىلىپ تېخىمۇ كۆپ مۇلاھىزە قىلىشىنى قارشى ئالىمىز!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j