خىمىيىلىك ھور چۆكۈش (CVD) مۇھىم نېپىز پەردە چۆكۈش تېخنىكىسى بولۇپ ، دائىم ھەر خىل ئىقتىدارلىق فىلىملەر ۋە نېپىز قەۋەتلىك ماتېرىياللارنى تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ۋە باشقا ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ.
1. CVD نىڭ خىزمەت پرىنسىپى
CVD جەريانىدا ، گاز پۈركۈگۈچ (بىر ياكى بىر نەچچە خىل گاز پۈركۈگۈچ بىرىكمىسى) يەر ئاستى يۈزى بىلەن ئۇچرىشىپ ، مەلۇم تېمپېراتۇرىدا قىزىتىلىپ ، خىمىيىلىك رېئاكسىيە پەيدا قىلىپ ، يەر ئاستى يۈزىگە قويۇلۇپ ، لازىملىق فىلىم ياكى سىر شەكىللىنىدۇ. قەۋەت. بۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيەنىڭ مەھسۇلاتى قاتتىق ، ئادەتتە لازىملىق ماتېرىيالنىڭ بىرىكمىسى. ئەگەر بىز كرېمنىينى يەر يۈزىگە چاپلىماقچى بولساق ، ترىخلوروسىلان (SiHCl3) نى ئالدىنئالا ئىشلىتىدىغان گاز سۈپىتىدە ئىشلىتەلەيمىز: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl كرېمنىي ھەر قانداق ئاشكارلانغان يۈزىگە (ئىچكى ۋە تاشقى) باغلىنىدۇ ، خلور ۋە گىدروخلور كىسلاتا گازى بولىدۇ. كامېردىن چىقىرىۋېتىلىدۇ.
2. CVD تۈرگە ئايرىش
ئىسسىقلىق CVD: ئالدىنقى گازنى قىزىتىپ پارچىلىنىپ يەر ئاستى يۈزىگە قويىدۇ. پلازما كۈچەيتىلگەن CVD (PECVD): ئىسسىقلىق CVD غا پلازما قوشۇلۇپ ، ئىنكاس نىسبىتىنى ئۆستۈرۈپ ، چۆكۈش جەريانىنى كونترول قىلىدۇ. مېتال ئورگانىك CVD (MOCVD): مېتال ئورگانىك بىرىكمىلەرنى ئالدىدىكى گاز ئورنىدا ئىشلىتىش ، مېتال ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ نېپىز پەردىلىرىنى تەييارلىغىلى بولىدۇ ، LED قاتارلىق ئۈسكۈنىلەرنى ياساشتا دائىم ئىشلىتىلىدۇ.
3. ئىلتىماس
(1) يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش
سىلىتسىيلىق پىلاستىنكا: ئىزولياتسىيىلىك قەۋەت ، ئاستى قەۋەت ، ئايرىپ قەۋەت قاتارلىقلار تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ نىترىد پىلاستىنكىسى: كرېمنىي نىترىد ، ئاليۇمىن نىترىد قاتارلىقلار تەييارلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، LED ، ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ. قەۋەت قاتارلىقلار.
(2) تېخنىكا كۆرسىتىش
ITO فىلىمى: سۈزۈك ئۆتكۈزگۈچ ئوكسىد پىلاستىنكىسى ، ئادەتتە تەكشى ئېكرانلىق ئېكران ۋە سېزىمچان ئېكراندا ئىشلىتىلىدۇ. مىس پىلاستىنكا: ئورالما قەۋىتى ، ئۆتكۈزگۈچ سىزىق قاتارلىقلار تەييارلاپ ، كۆرسىتىش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىقتىدارىنى ئۆستۈرىدۇ.
(3) باشقا ساھەلەر
ئوپتىكىلىق قاپلاش: نۇر قايتۇرۇشقا قارشى چاپلاش ، ئوپتىكىلىق سۈزگۈچ قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. چىرىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش قەۋىتى: ماشىنا زاپچاسلىرى ، ئالەم قاتنىشى ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىلىدۇ.
4. CVD جەريانىنىڭ ئالاھىدىلىكى
يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىدىن پايدىلىنىپ ئىنكاس قايتۇرۇش سۈرئىتىنى ئىلگىرى سۈرۈش. ئادەتتە ۋاكۇئۇملۇق مۇھىتتا ئېلىپ بېرىلىدۇ. رەسىم سىزىشتىن بۇرۇن بۆلەك يۈزىدىكى بۇلغانمىلارنى چىقىرىۋېتىش كېرەك. بۇ جەرياندا سىرلىغىلى بولىدىغان ئاستىرتتىن چەكلىمىلەر بولۇشى مۇمكىن ، يەنى تېمپېراتۇرا چەكلىمىسى ياكى ئاكتىپچانلىقى چەكلىمىسى بولۇشى مۇمكىن. CVD قاپلاش بۆلەك ، قارىغۇ تۆشۈك ۋە ئىچكى يۈز قاتارلىق بارلىق بۆلەكلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. كونكرېت نىشان رايونلىرىنى نىقابلاش ئىقتىدارىنى چەكلەپ قويۇشى مۇمكىن. فىلىم قېلىنلىقى جەريان ۋە ماددى شارائىت بىلەن چەكلىنىدۇ. دەرىجىدىن تاشقىرى چاپلىشىش.
5. CVD تېخنىكىسىنىڭ ئەۋزەللىكى
بىردەكلىكى: چوڭ رايوننىڭ ئاستى قىسمىغا تەكشى چۆكۈشنى ئەمەلگە ئاشۇرالايدۇ.
كونترول قىلىش ئىقتىدارى: ئالدىنقى گازنىڭ ئېقىش نىسبىتى ۋە تېمپېراتۇرىسىنى كونترول قىلىش ئارقىلىق چۆكۈش نىسبىتى ۋە پىلاستىنكا خۇسۇسىيىتىنى تەڭشىگىلى بولىدۇ.
كۆپ خىللىقى: مېتال ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ، ئوكسىد قاتارلىق ھەر خىل ماتېرىياللارنىڭ قويۇلۇشىغا ماس كېلىدۇ.
يوللانغان ۋاقتى: 5-مايدىن 06-مايغىچە