نىشان بەلگىلەشئاساسلىقى ئېلېكترون ۋە ئۇچۇر كەسپىدە ئىشلىتىلىدۇ ، مەسىلەن توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ، ئۇچۇر ساقلاش ، سۇيۇق كرىستال كۆرسىتىش ، لازېرلىق ئەسلىمە ، ئېلېكترونلۇق كونترول ئۈسكۈنىسى قاتارلىقلار. ئۇلار ئەينەك سىرلاش ساھەسىدە ، شۇنداقلا ئۇپراشقا چىداملىق ھالەتتە ئىشلىتىلىدۇ. ماتېرىياللار ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق چىرىشكە چىداملىق ، ئالىي دەرىجىلىك بېزەك مەھسۇلاتلىرى ۋە باشقا كەسىپلەر.
پۈركۈش نېپىز فىلىم ماتېرىياللىرىنى تەييارلاشتىكى ئاساسلىق تېخنىكىلارنىڭ بىرى.ئۇ ئىئون مەنبەسىدىن ھاسىل بولغان ئىئوننى ئىشلىتىپ ۋاكۇئۇمدا تېز سۈرئەتتە يىغىلىپ ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ئېنېرگىيە ئىئون نۇرى ھاسىل قىلىدۇ ، قاتتىق يەرنى بومباردىمان قىلىدۇ ۋە ئىئون بىلەن قاتتىق يەر ئاتوملىرى ئارىسىدا ھەرىكەت ئېنېرگىيىسىنى ئالماشتۇرىدۇ. قاتتىق يۈزىدىكى ئاتوملار قاتتىق ھالەتتىن ئايرىلىدۇ ۋە يەر ئاستى يۈزىگە قويۇلدى. بومباردىمان قىلىنغان قاتتىق پۈركۈش ئارقىلىق نېپىز پەردىلەرنى ساقلاشتىكى خام ماتېرىيال بولۇپ ، ئۇ پۈركۈش نىشانى دەپ ئاتىلىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ، خاتىرىلەش مېدىياسى ، تەكشى تاختاي كۆرسىتىش ۋە خىزمەت يۈزى يۈزى سىرلاشتا ھەر خىل پۈركۈلگەن نېپىز پەردە ماتېرىياللىرى كەڭ قوللىنىلدى.
بارلىق قوللىنىشچان كەسىپلەر ئىچىدە ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپى نىشان پۈركۈش پىلاستىنكىسىغا ئەڭ قاتتىق سۈپەت تەلىپىگە ئىگە. يۇقىرى ساپلىقتىكى مېتال پۈركۈش نىشانى ئاساسلىقى ۋافېر ياساش ۋە ئىلغار ئوراپ قاچىلاش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ. ئۆزەك ياساشنى مىسالغا ئالساق ، بىز كرېمنىيلىق ۋافېردىن ئۆزەككىچە بولغان ئارىلىقتا تارقىلىش (ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش) ، رەسىم-تاش مەتبەئە (رەسىم-تاش مەتبەئە) ، Etch (Etch) دىن ئىبارەت 7 چوڭ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنى باشتىن كەچۈرۈشىمىز كېرەكلىكىنى كۆرەلەيمىز. ئىئون كۆچۈرۈش (IonImplant) ، نېپىز پەردە ئۆسۈشى (دىئېلېكترىك چۆكۈش) ، خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش (CMP) ، مېتاللاشتۇرۇش (مېتاللاشتۇرۇش) جەريانلار ماس كېلىدۇ بىر-بىرلەپ. پۈركۈش نىشانى «مېتاللاشتۇرۇش» جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ. نىشان نېپىز پەردە چۆكۈش ئۈسكۈنىسى ئارقىلىق يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك زەررىچىلەر بىلەن بومباردىمان قىلىنىدۇ ، ئاندىن كرېمنىيلىق ۋافېردا ئۆتكۈزگۈچ قەۋەت ، توساق قەۋىتى قاتارلىق ئالاھىدە ئىقتىدارلىرى بار مېتال قەۋەت ھاسىل بولىدۇ. ساقلاپ تۇرۇڭ. پۈتكۈل يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ جەريانلىرى ھەر خىل بولغاچقا ، سىستېمىنىڭ توغرا ئىكەنلىكىنى دەلىللەش ئۈچۈن ئاندا-ساندا بەزى ئەھۋاللار لازىم بولىدۇ ، شۇڭا بىز ئىشلەپچىقىرىشنىڭ مەلۇم باسقۇچلىرىدا بىر قىسىم دۆت ماتېرىياللارنى تەلەپ قىلىپ ، ئۈنۈمىنى دەلىللەيمىز.
يوللانغان ۋاقتى: 1-ئاينىڭ 17-كۈنىدىن 22-كۈنىگىچە