The AdvancedSiC Cantilever Paddleچۈنكى مال دوختۇرى جۇڭگو قۇرغان Wafer بىر تەرەپ قىلىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ئۈچۈن ناھايىتى ياخشى ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ مۈشۈكئېيىق پالەك SiC (كرېمنىي كاربون) ماتېرىيالىدىن ياسالغان بولۇپ ، قاتتىقلىقى ۋە ئىسسىققا چىدامچانلىقى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتىش مۇھىتىدا ئەلا ئىقتىدارنى ساقلاپ قالالايدۇ. Cantilever Paddle نىڭ لايىھىسى بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا ۋافېرنى ئىشەنچلىك قوللاپ ، پارچىلىنىش ۋە بۇزۇلۇش خەۋىپىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
SiC Cantilever Paddleيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش ئۈسكۈنىلىرىدە ئوكسىدلىنىش ئوچىقى ، دىففۇزىيە ئوچىقى ۋە قوشۇمچە ئوچاق قاتارلىق ئۈسكۈنىلەردە ئىشلىتىلىدىغان ئالاھىدە زاپچاس ، ئاساسلىق ئىشلىتىلىشى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق جەرياندا ۋافېرنى قاچىلاش ۋە چۈشۈرۈش ، ۋافېرنى قوللاش ۋە توشۇش.
ئورتاق قۇرۇلمىلارofSiCcantileverpaddle: كەمپۈت قۇرۇلمىسى ، بىر ئۇچىغا مۇقىم ، يەنە بىر تەرىپىگە ھەقسىز ، ئادەتتە تەكشى ۋە پاتقاققا ئوخشاش لايىھەلەنگەن.
VET ئېنىرگىيىسى ساپلىق دەرىجىسى يۇقىرى بولغان كرېمنىي كاربون ماتېرىياللىرىنى ئىشلىتىپ سۈپەتكە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
قايتا ياسالغان كرېمنىي كاربدنىڭ فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتى | |
مۈلۈك | تىپىك قىممەت |
خىزمەت تېمپېراتۇرىسى (° C) | 1600 ° C (ئوكسىگېن بىلەن) ، 1700 ° C (مۇھىتنى ئازايتىش) |
SiC مەزمۇنى | > 99.96% |
ھەقسىز Si مەزمۇنى | <0.1% |
توپ زىچلىقى | 2.60-2.70 g / cm3 |
قارىماققا جاراڭلىق | <16% |
پىرىسلاش كۈچى | > 600MPa |
سوغۇق ئېگىلىش كۈچى | 80-90 MPa (20 ° C) |
قىزىق ئېگىلىش كۈچى | 90-100 MPa (1400 ° C) |
ئىسسىقلىق كېڭىيىشى @ 1500 ° C. | 4.70 10-6/ ° C. |
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى @ 1200 ° C. | 23W / m • K. |
ئېلاستىك مودۇل | 240 GPa |
ئىسسىقلىق زەربىسىگە چىداملىق | بەك ياخشى |
VET ئېنېرگىيەسىنىڭ ئىلغار SiC Cantilever Paddle نىڭ Wafer بىر تەرەپ قىلىشتىكى ئەۋزەللىكى:
- يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى: 1600 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى مۇھىتتا ئىشلىتىشكە بولىدۇ
تۆۋەن تېمپېراتۇرىنى كېڭەيتىش كوئېففىتسېنتى: ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى ساقلايدۇ ، ۋافېر ئۇرۇش خەتىرىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
-ئىككى ساپلىق: مېتالنىڭ بۇلغىنىش خەۋىپى تۆۋەنرەك
- خىمىيىلىك ئىنېرتسىيە: چىرىشكە چىداملىق ، ھەر خىل گاز مۇھىتىغا ماس كېلىدۇ
- كۈچلۈك ۋە قاتتىقلىق: كىيىشكە چىداملىق ، ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش
-ياخشى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: بىرلىككە كەلگەن ۋافېر قىزىتىشقا ياردەم بېرىدۇ.