بۇ 6 Inch N Type SiC Wafer پەۋقۇلئاددە شارائىتتا ئىقتىدارنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، يۇقىرى قۇۋۋەت ۋە تېمپېراتۇرىغا چىداملىق قوللىنىشچان پروگراممىلارنىڭ كۆڭۈلدىكىدەك تاللىشى ھېسابلىنىدۇ. بۇ ۋافېر بىلەن مۇناسىۋەتلىك مۇھىم مەھسۇلاتلار Si Wafer ، SiC Substrate ، SOI Wafer ۋە SiN Substrate قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بۇ ماتېرىياللار ھەر خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئەڭ ياخشى ئۈنۈمگە كاپالەتلىك قىلىپ ، ئېنېرگىيە تېجەيدىغان ۋە چىداملىق ئۈسكۈنىلەرنى تەمىنلەيدۇ.
Epi Wafer ، Gallium Oxide Ga2O3 ، Cassette ياكى AlN Wafer بىلەن ھەمكارلاشقان شىركەتلەرگە نىسبەتەن ، VET Energy نىڭ 6 Inch N Type SiC Wafer يېڭىلىق يارىتىشچان مەھسۇلات ئېچىش ئۈچۈن زۆرۈر ئاساس بىلەن تەمىنلەيدۇ. مەيلى يۇقىرى قۇۋۋەتلىك ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىدا بولسۇن ياكى RF تېخنىكىسىنىڭ ئەڭ يېڭى تېخنىكىسىدا بولسۇن ، بۇ ۋافېرلار ناھايىتى ياخشى ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە ئەڭ تۆۋەن ئىسسىقلىق قارشىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىپ ، ئۈنۈم ۋە ئىقتىدارنىڭ چېگراسىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ.
WAFERING SPECIFICATIONS
* n-Pm = n تىپلىق Pm-Grade, n-Ps = n تىپلىق Ps-Grade, Sl = Semi-lnsulating
Item | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
ئوقيا (GF3YFCD) - مۇتلەق قىممەت | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
SURFACE FINISH
* n-Pm = n تىپلىق Pm-Grade, n-Ps = n تىپلىق Ps-Grade, Sl = Semi-lnsulating
Item | 8-Inch | 6-Inch | 4-Inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Surface Finish | قوش تەرەپ ئوپتىكىلىق پولشا ، Si- Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | رۇخسەت قىلىنمايدۇ (ئۇزۇنلۇقى ۋە كەڭلىكى 0.5mm) | ||||
كۆرسەتمە | رۇخسەت قىلىنمايدۇ | ||||
سىزىلغان رەسىملەر (Si-Face) | Qty.≤5, جۇغلانما | Qty.≤5, جۇغلانما | Qty.≤5, جۇغلانما | ||
يېرىق | رۇخسەت قىلىنمايدۇ | ||||
Edge Exclusion | 3mm |