Tantalum carbide coated susceptor para sa wafer

Maikling Paglalarawan:

Ang Semicera ay isang nangunguna sa teknolohiyang proteksyon ng materyal na may mataas na temperatura at ipinagmamalaki naming ipakilala ang mga produktong patong ng CVD Tantalum Carbide (TaC) upang magbigay ng maaasahang proteksyon sa mataas na temperatura para sa iyong mga graphite substrates.Ang graphite ay isang mahusay na materyal na lumalaban sa mataas na temperatura, ngunit ito ay madaling kapitan ng oksihenasyon sa mataas na temperatura, na hindi ganap na maiiwasan kahit na sa isang vacuum furnace.Ang aming CVD Tantalum Carbide (TaC) coating ay epektibong makakapigil sa oksihenasyon ng graphite substrate habang pinapanatili ang mahusay nitong pagganap sa mataas na temperatura.Ang TaC ay isa ring inert na materyal na maaaring lumaban sa mga reaksyon sa mga gas tulad ng argon at hydrogen.Kumonsulta sa Semicera ngayon upang matuto nang higit pa tungkol sa aming Tantalum Carbide CVD coated EPI susceptors upang matiyak ang katatagan at pagiging maaasahan ng iyong mga aplikasyon sa mataas na temperatura.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang TaC coating ay isang uri ng tantalum carbide (TaC) coating na inihanda ng physical vapor deposition technology, mayroon itong mga sumusunod na katangian:

1. Mataas na tigas: TaC coating hardness ay mataas, kadalasan ay maaaring umabot sa 2500-3000HV, ay isang mahusay na hard coating.

2. Wear resistance: Ang TaC coating ay napaka wear-resistant, na maaaring epektibong mabawasan ang pagkasira at pagkasira ng mga mekanikal na bahagi habang ginagamit.

3. Magandang mataas na temperatura pagtutol: TaC coating ay maaari ring mapanatili ang mahusay na pagganap nito sa ilalim ng mataas na temperatura na kapaligiran.

4. Magandang chemical stability: Ang TaC coating ay may magandang chemical stability at kayang labanan ang maraming kemikal na reaksyon, gaya ng mga acid at base.

Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Mga katangiang pisikal ng TaC patong
密度/ Densidad	14.3 (g/cm³)
比辐射率 / Partikular na emissivity	0.3
热膨胀系数 / Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Katigasan (HK)	2000 HK
电阻 / Paglaban	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermal na katatagan	<2500℃
石墨尺寸变化 / Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
涂层厚度 / Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

Ang Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ay isang high-tech na enterprise na nakatuon sa produksyon at pagbebenta ng mga high-end na advanced na materyales, ang mga materyales at teknolohiya na sumasaklaw sa graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment at iba pa.Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, bagong enerhiya, metalurhiya, atbp.

Ang aming teknikal na koponan ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Malugod kang tinatanggap sa pagbisita sa aming pabrika, magkaroon pa tayo ng talakayan!