TaC Coated Susceptor para sa Epitaxy Equipment

Maikling Paglalarawan:

Nagbibigay ang VET ng espesyal na tantalum carbide (TaC) coatings para sa iba't ibang bahagi at carrier. Ang nangungunang proseso ng coating ng VET ay nagbibigay-daan sa tantalum carbide (TaC) coatings na makamit ang mataas na kadalisayan, mataas na temperatura na katatagan at mataas na chemical tolerance, pagpapabuti ng kalidad ng produkto ng SIC/GAN crystals at EPI layers, at pagpapahaba ng buhay ng mga pangunahing bahagi ng reactor. Ang paggamit ng tantalum carbide TaC coating ay upang malutas ang problema sa gilid at mapabuti ang kalidad ng paglaki ng kristal, at ang VET ay nalutas ang tagumpay sa tantalum carbide coating technology (CVD), na umabot sa internasyonal na advanced na antas.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Pinahiran ng TaCAng substrate ay isang manipis na pelikula na gawa satantalum carbidemateryal, na inilapat sa ibabaw ng substrate ng epitaxial equipment.TaC coatingay may maraming mahuhusay na katangian, na ginagawa itong perpektong pagpipilian.

Ang TaC coating ay isang uri ng tantalum carbide (TaC) coating na inihanda ng physical vapor deposition technology, mayroon itong mga sumusunod na katangian:

1. Mataas na tigas: TaC coating hardness ay mataas, kadalasan ay maaaring umabot sa 2500-3000HV, ay isang mahusay na hard coating.

2. Wear resistance: Ang TaC coating ay napaka-wear-resistant, na maaaring epektibong mabawasan ang pagkasira at pagkasira ng mga mekanikal na bahagi habang ginagamit.

3. Magandang mataas na temperatura pagtutol: TaC coating ay maaari ring mapanatili ang mahusay na pagganap nito sa ilalim ng mataas na temperatura na kapaligiran.

4. Magandang chemical stability: Ang TaC coating ay may magandang chemical stability at kayang labanan ang maraming kemikal na reaksyon, gaya ng mga acid at base.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Mga katangiang pisikal ng TaC patong
密度/ Densidad	14.3 (g/cm³)
比辐射率 / Partikular na emissivity	0.3
热膨胀系数 / Thermal expansion coefficient	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Katigasan (HK)	2000 HK
电阻 / Paglaban	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermal na katatagan	<2500℃
石墨尺寸变化 / Mga pagbabago sa laki ng graphite	-10~-20um
涂层厚度 / Kapal ng patong	≥20um karaniwang halaga (35um±10um)

Ang Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ay isang high-tech na enterprise na nakatuon sa produksyon at pagbebenta ng mga high-end na advanced na materyales, ang mga materyales at teknolohiya na sumasaklaw sa graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment at iba pa. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, bagong enerhiya, metalurhiya, atbp.

Ang aming teknikal na koponan ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Malugod kang tinatanggap sa pagbisita sa aming pabrika, magkaroon pa tayo ng talakayan!