SiC Coating/Coated Graphite Substrate/Tray para sa Semiconductor

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor para sa Epitaxial Growth ay isang produktong may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa loob ng mahabang panahon. Mayroon itong napakahusay na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal, mataas na kadalisayan, paglaban sa pagguho, na ginagawa itong perpektong solusyon para sa mga aplikasyon ng pagpoproseso ng wafer.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

SiC coating/coated ng Graphite susceptor para sa Semiconductor

AngSiC Coated Graphite Substrateay isang lubos na matibay at mahusay na solusyon na idinisenyo upang matugunan ang mahigpit na pangangailangan ng industriya ng pagpoproseso ng semiconductor. Nagtatampok ng isang layer ng mataas na kadalisayansilicon carbide (SiC) coating, ang substrate na ito ay naghahatid ng pambihirang thermal stability, oxidation resistance, at matagal na buhay ng serbisyo, na ginagawa itong perpekto para sa mga aplikasyon sa mga proseso ng MOCVD, graphite wafer carrier, at iba pang high-temperature na kapaligiran.

Mga Tampok:
· Napakahusay na Thermal Shock Resistance
· Napakahusay na Physical Shock Resistance
· Napakahusay na Paglaban sa Kemikal
· Napakataas na Kadalisayan
· Availability sa Kumplikadong Hugis
· Magagamit sa ilalim ng Oxidizing Atmosphere

Application：

Mga Tampok at Kalamangan ng Produkto:

1. Superior Thermal Resistance:Na may mataas na kadalisayanSiC coating, ang substrate ay lumalaban sa matinding temperatura, na tinitiyak ang pare-parehong pagganap sa hinihingi na mga kapaligiran tulad ng epitaxy at semiconductor fabrication.

2. Pinahusay na Katatagan:Ang mga bahagi ng grapayt na pinahiran ng SiC ay idinisenyo upang labanan ang kemikal na kaagnasan at oksihenasyon, na nagpapataas ng habang-buhay ng substrate kumpara sa mga karaniwang graphite na substrate.

3. Vitreous Coated Graphite:Ang natatanging istraktura ng vitreous ngSiC coatingnagbibigay ng mahusay na katigasan sa ibabaw, pinapaliit ang pagkasira sa panahon ng pagproseso ng mataas na temperatura.

4. High Purity SiC Coating:Tinitiyak ng aming substrate ang kaunting kontaminasyon sa mga sensitibong proseso ng semiconductor, na nag-aalok ng pagiging maaasahan para sa mga industriya na nangangailangan ng mahigpit na kadalisayan ng materyal.

5. Malawak na Aplikasyon sa Market:AngSiC coated graphite susceptorAng merkado ay patuloy na lumalaki habang ang demand para sa mga advanced na SiC coated na produkto sa semiconductor manufacturing ay tumataas, na nagpoposisyon sa substrate na ito bilang isang pangunahing manlalaro sa parehong graphite wafer carrier market at ang silicon carbide coated graphite trays market.

Mga Karaniwang Katangian ng Base Graphite Material:

Malinaw na Densidad:	1.85 g/cm3
Electrical Resistivity:	11 μΩm
Flexural Strenth:	49 MPa (500kgf/cm2)
Hardness ng Shore:	58
Ash:	<5ppm
Thermal Conductivity:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Karaniwang Halaga
晶体结构 / Istraktura ng Kristal	FCC β phase 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ang VET Energy ay ang tunay na tagagawa ng customized na graphite at silicon carbide na mga produkto na may iba't ibang coating tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp., ay maaaring magbigay ng iba't ibang customized na bahagi para sa semiconductor at photovoltaic na industriya.

Ang aming teknikal na koponan ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.

Patuloy kaming bumuo ng mga advanced na proseso upang magbigay ng mas advanced na mga materyales, at gumawa ng eksklusibong patented na teknolohiya, na maaaring gawing mas mahigpit ang pagbubuklod sa pagitan ng coating at substrate at hindi gaanong madaling kapitan ng detatsment.

Malugod kang tinatanggap sa pagbisita sa aming pabrika, magkaroon pa tayo ng talakayan!