SiC coating graphite MOCVD Wafer carrier,Mga Susceptor ng Graphitepara sa SiC Epitaxy,
Nagbibigay ng mga susceptor ng carbon, epitaxy susceptors, Mga Susceptor ng Graphite,
Ang CVD-SiC coating ay may mga katangian ng pare-parehong istraktura, compact na materyal, mataas na temperatura na resistensya, oxidation resistance, mataas na kadalisayan, acid&alkali resistance at organic reagent, na may matatag na pisikal at kemikal na mga katangian.
Kung ikukumpara sa mga high-purity graphite na materyales, ang graphite ay nagsisimulang mag-oxidize sa 400C, na magdudulot ng pagkawala ng pulbos dahil sa oksihenasyon, na magreresulta sa polusyon sa kapaligiran sa mga peripheral device at vacuum chamber, at magpapataas ng mga impurities ng high-purity na kapaligiran.
Gayunpaman, ang SiC coating ay maaaring mapanatili ang pisikal at kemikal na katatagan sa 1600 degrees, Ito ay malawakang ginagamit sa modernong industriya, lalo na sa industriya ng semiconductor.
Nagbibigay ang aming kumpanya ng mga serbisyo sa proseso ng SiC coating sa pamamagitan ng CVD na pamamaraan sa ibabaw ng grapayt, keramika at iba pang mga materyales, upang ang mga espesyal na gas na naglalaman ng carbon at silikon ay tumutugon sa mataas na temperatura upang makakuha ng mataas na kadalisayan ng mga molekula ng SiC, mga molekula na idineposito sa ibabaw ng mga pinahiran na materyales, bumubuo ng SIC protective layer. Ang nabuong SIC ay matatag na nakagapos sa graphite base, na nagbibigay sa graphite base ng mga espesyal na katangian, kaya ginagawa ang ibabaw ng graphite na compact, Porosity-free, mataas na temperatura resistance, corrosion resistance at oxidation resistance.
Application:
Pangunahing tampok:
1. Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon:
ang oxidation resistance ay napakahusay pa rin kapag ang temperatura ay kasing taas ng 1700 C.
2. Mataas na kadalisayan: ginawa ng chemical vapor deposition sa ilalim ng mataas na temperatura na kondisyon ng chlorination.
3. Erosion resistance: mataas na tigas, compact surface, fine particles.
4. Corrosion resistance: acid, alkali, asin at organic reagents.
Pangunahing Detalye ng CVD-SIC Coatings:
SiC-CVD | ||
Densidad | (g/cc)
| 3.21 |
Flexural na lakas | (Mpa)
| 470 |
Thermal expansion | (10-6/K) | 4
|
Thermal conductivity | (W/mK) | 300 |
Kakayahang Supply:
10000 Piece/Pieces bawat Buwan
Packaging at Delivery:
Pag-iimpake: Karaniwan at Malakas na Pag-iimpake
Poly bag + Box + Carton + Pallet
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Lead Time:
Dami(Piraso) | 1 – 1000 | >1000 |
Est. Oras(araw) | 15 | Upang mapag-usapan |