Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptoray isang espesyal na idinisenyong suporta at heating device na ginagamit upang hawakan at painitin ang mga substrate ng semiconductor sa panahon ng mga proseso ng pagmamanupaktura tulad ng mga proseso ng Deposition o Epitaxy.

Kasama sa istraktura nito ang karaniwang cylindrical o bahagyang hugis ng bariles, ang ibabaw ay nagtatampok ng maraming bulsa o platform para sa paglalagay ng mga wafer, maaaring solid o guwang na disenyo, depende sa paraan ng pag-init.

Ang mga pangunahing pag-andar ng epitaxial barrel susceptor:

-Suporta sa substrate: ligtas na humahawak ng maramihang mga wafer ng semiconductor;
-Pinagmulan ng init: nagbibigay ng mataas na temperatura na kinakailangan para sa paglaki sa pamamagitan ng pag-init;
-Pagkakapareho ng temperatura: tinitiyak ang pare-parehong pag-init ng mga substrate;
-Pag-ikot: karaniwang umiikot sa panahon ng paglaki upang mapabuti ang temperatura at pagkakapareho ng pamamahagi ng gas.

Prinsipyo ng pagtatrabaho ng Epi graphite barrel susceptor:
- Sa epitaxial reactor, ang barrel susceptor ay pinainit sa kinakailangang temperatura (karaniwang 1000 ℃-1200 ℃ para sa silicon epitaxy);
-Ang susceptor ng bariles ay umiikot upang matiyak ang pare-parehong pamamahagi ng temperatura at daloy ng gas;
-Ang mga reaksyong gas ay nabubulok sa mataas na temperatura, na bumubuo ng mga epitaxial layer sa ibabaw ng substrate.

Mga Application:
-Pangunahing ginagamit para sa paglago ng epitaxial ng silikon
-Naaangkop din para sa epitaxy ng iba pang materyal na semiconductor tulad ng GaAs, InP, atbp.

Ang VET Energy ay gumagamit ng high purity graphite na may CVD-SiC coating para mapahusay ang chemical stability:

Ang mga bentahe ng VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

-Mataas na temperatura katatagan;
-Magandang thermal pagkakapareho;
-Maaaring iproseso ang maramihang mga substrate nang sabay-sabay, pagpapabuti ng kahusayan sa produksyon;
-Chemically inert, pinapanatili ang isang high-purity growth environment.