CVD Silicon Carbide Coated Graphite Ring

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy silicon carbide coated graphite ring ay isang produkto na may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa loob ng mahabang panahon. Mayroon itong napakahusay na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal, mataas na kadalisayan, paglaban sa pagguho, na ginagawa itong perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagpoproseso ng wafer.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Mga Karaniwang Katangian ng Base Graphite Material:

Malinaw na Densidad:	1.85 g/cm3
Electrical Resistivity:	11 μΩm
Flexural Strenth:	49 MPa (500kgf/cm2)
Hardness ng Shore:	58
Ash:	<5ppm
Thermal Conductivity:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Nagbibigay kami ng iba't ibang mga susceptor at graphite na bahagi para sa lahat ng kasalukuyang epitaxy reactor. Kasama sa aming mga produkto ang mga susceptor ng barrel para sa mga unit ng LPE, mga susceptor ng pancake para sa mga unit ng LPE, CSD, at Gemini, at mga susceptor ng single-wafer para sa mga unit na inilapat at ASM.

Sa pamamagitan ng pagsasama-sama ng matatag na pakikipagsosyo sa mga nangungunang OEM, kadalubhasaan sa materyales at kaalaman sa pagmamanupaktura, nag-aalok ang beterinaryo ng pinakamainam na disenyo para sa iyong aplikasyon.

Ang Enerhiya ng VET ay angtunay na tagagawa ng customized na graphite at silicon carbide na mga produkto na may CVD coating,makapag-supplyiba't-ibangcustomized na mga bahagi para sa semiconductor at photovoltaic na industriya. Oang iyong teknikal na koponan ay nagmumula sa mga nangungunang institusyong lokal na pananaliksik, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyalpara sayo.

Fmga katangian ng aming mga produkto:

1. Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon hanggang 1700℃.
2. Mataas na kadalisayan atpagkakapareho ng thermal
3. Napakahusay na paglaban sa kaagnasan: acid, alkali, asin at mga organikong reagents.
4. Mataas na tigas, compact na ibabaw, pinong mga particle.
5. Mas mahabang buhay ng serbisyo at mas matibay

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Karaniwang Halaga
晶体结构 / Istraktura ng Kristal	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Sukat ng Butil	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktibidad	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1