Tohum bolandaiş täzelikleri, ýarymgeçirijiniň ýasalyşyna düşünmek zerurlykdyr. ýarymgeçiriji wafli bu pudakda möhüm elementdir, ýöne köplenç dürli haramlykdan hapalanýarlar. Atom, organiki maddalar, metal element iony we oksidi öz içine alýan bu hapalaýjy, ýasama prosedurasyna täsir edip biler.
Bölejiklerpolimer we arassalaýjy haramlyk, wafeliň üstündäki adsorbsion molekulýar güýje bolan ynam, enjamyň fotolitografiýasyna täsir edýär.organiki hapalargofoda deri ýagy we maşyn ýagy görnüşli film ýaly, arassalanmaga päsgelçilik döredýär.metal element ionlarydemir we alýumin ýaly metal element ion toplumynyň emele gelmegi bilen köplenç aýrylýar.Oksidlerýasama prosedurasyna päsgelçilik döredýär we adatça suwuk gidroflor kislotasyna siňdirilýär.
himiki usullaryköplenç ýarymgeçiriji wafli arassalamak we sokmak üçin ulanylýar. ergin çümdürilmegi we mehaniki skrab ýaly çyglylygy himiki arassalamak usuly agdyklyk edýär. adatdan daşary we megasoniki arassalama usuly haramlygy aýyrmagyň täsirli usullaryny hödürleýär. gury himiki arassalama, plazma we gaz fazasy tehnologiýasyny öz içine alýar, ýarymgeçiriji wafli arassalamak prosesinde hem rol oýnaýar.
Iş wagty: Oktýabr-29-2024