Aboveokarda görkezilişi ýaly adaty bir zat
Birinji ýarym:
Atingyladyş elementi (ýyladyş rulony): peç turbasynyň töwereginde ýerleşýär, adatça peç turbasynyň içini gyzdyrmak üçin ulanylýan garşylyk simlerinden ýasalýar.
Kwars turbasy: highokary temperatura çydap bilýän we himiki taýdan inert bolup bilýän ýokary arassa kwarsdan ýasalan gyzgyn oksidlenýän peçiň özeni.
Gaz iýmiti: Ojak turbasynyň ýokarky ýa-da gapdalynda ýerleşýän, ojak turbasynyň içine kislorod ýa-da beýleki gazlary daşamak üçin ulanylýar.
SS Flange: kwars turbalaryny we gaz liniýalaryny birleşdirýän komponentler, birikmäniň berkligini we durnuklylygyny üpjün edýär.
Gaz iýmit liniýalary: MFC-ni gaz geçirmek üçin gaz üpjünçilik portuna birleşdirýän turbalar.
MFC (Mass Flow Controller): Gerekli gazyň mukdaryny takyk sazlamak üçin kwars turbasynyň içindäki gaz akymyna gözegçilik edýän enjam.
Went: Egzoz gazyny peç turbasynyň içinden enjamyň daşyna çykarmak üçin ulanylýar.
Aşaky bölegi
Saklaýjy kremniý wafli: Silikon wafli okislenme wagtynda birmeňzeş ýylylygy üpjün etmek üçin ýörite saklaýjyda ýerleşdirilýär.
Wafli saklaýjy: Silikon wafli saklamak we kremniý wafli prosesiň dowamynda durnukly bolmagyny üpjün etmek üçin ulanylýar.
Pyýada: Silikon wafli saklaýjy, adatça ýokary temperatura çydamly materialdan ýasalan gurluş.
Lift: Wafer eýelerini kremniý wafli awtomatiki ýüklemek we düşürmek üçin kwars turbalaryna çykarmak we çykarmak üçin ulanylýar.
Wafer Transfer Robot: peç turbasynyň enjamynyň gapdalynda ýerleşýän, kremniý wafli gutudan awtomatiki aýyrmak we peç turbasyna ýerleşdirmek ýa-da gaýtadan işlenenden soň aýyrmak üçin ulanylýar.
Kassetany saklaýan karusel: Kassetany saklaýan karusel, kremniý wafli bolan gutyny saklamak üçin ulanylýar we robotlara girmek üçin aýlanyp bilner.
Wafli kasetasy: wafli kasetasy gaýtadan işlenmeli kremniý wafli saklamak we geçirmek üçin ulanylýar.
Iş wagty: 22-nji aprel-22-nji aprel