Ojak turba enjamlarynyň içki gurluşy jikme-jik düşündirilýär

Aboveokarda görkezilişi ýaly adaty bir zat

Birinji ýarym:

Ating atingyladyş elementi (ýyladyş rulony):

peç turbasynyň töwereginde ýerleşýär, adatça peç turbasynyň içini gyzdyrmak üçin ulanylýan garşylyk simlerinden ýasalýar.

Art Kwars turbasy:

Highokary temperatura çydap bilýän we himiki taýdan inert bolup bilýän ýokary arassa kwarsdan ýasalan gyzgyn oksid peçiniň özeni.

▪ Gaz iýmiti:

Ojak turbasynyň ýokarky ýa-da gapdalynda ýerleşýän, ojak turbasynyň içine kislorod ýa-da beýleki gazlary daşamak üçin ulanylýar.

▪ SS flanes:

kwars turbalaryny we gaz liniýalaryny birleşdirýän komponentler, birikmäniň berkligini we durnuklylygyny üpjün edýär.

▪ Gaz iýmit liniýalary:

MFC-ni gaz geçirmek üçin gaz üpjünçilik portuna birleşdirýän turbalar.

FC MFC (köpçülikleýin akym gözegçiligi):

Gerekli gazyň mukdaryny takyk sazlamak üçin kwars turbasynyň içindäki gaz akymyna gözegçilik edýän enjam.

Ent Went:

Peç turbasynyň içinden enjamyň daşyna çykýan gazy çykarmak üçin ulanylýar.

Aşaky bölegi:

Hold Holderdäki kremniý wafli:

Silikon wafli okislenme wagtynda birmeňzeş ýylylygy üpjün etmek üçin ýörite Holderde ýerleşdirilýär.

Wafer eýesi:

Silikon wafli saklamak we kremniý wafli prosesiň dowamynda durnukly bolmagyny üpjün etmek üçin ulanylýar.

Ed Pyýada:

Silikon wafli saklaýjy, adatça ýokary temperatura çydamly materialdan ýasalan gurluş.

Lift:

Silikon wafli awtomatiki ýüklemek we düşürmek üçin Wafer eýelerini kwars turbalaryna çykarmak we çykarmak üçin ulanylýar.

▪ Wafer Transfer roboty:

peç turba enjamynyň gapdalynda ýerleşýän, kremniý wafli gutudan awtomatiki aýyrmak we peç turbasyna ýerleşdirmek ýa-da gaýtadan işlenenden soň aýyrmak üçin ulanylýar.

Ass Kassetany saklamak karuseli:

Kassetany saklaýan karusel, kremniý wafli bolan gutyny saklamak üçin ulanylýar we robotlara girmek üçin aýlanyp bilner.

Waf Kasseta:

wafli kasetasy gaýtadan işlenmeli kremniý wafli saklamak we geçirmek üçin ulanylýar.