Somearymgeçiriji önümçiligine gatnaşmak üçin käbir organiki we organiki däl maddalar talap edilýär. Mundan başga-da, bu proses hemişe arassa otagda, adamyň gatnaşmagynda, ýarymgeçiriji bilen amala aşyrylýarwaflihökmany suratda dürli hapalar bilen hapalanýar.
Hapalaýjylaryň çeşmesine we tebigatyna görä, takmynan dört kategoriýa bölünip bilner: bölejikler, organiki maddalar, metal ionlary we oksidler.
1. Bölejikler:
Bölejikler esasan käbir polimerler, fotorezistler we hapalanan hapalardyr.
Şeýle hapalaýjylar, adatça, wafeliň üstünde adsorbinasiýa etmek üçin birek-birekli güýçlere bil baglap, enjamyň fotolitografiýa prosesiniň geometrik şekilleriniň we elektrik parametrleriniň emele gelmegine täsir edýär.
Şeýle hapalaýjylar, esasan, üstleri bilen aragatnaşygynyň meýdanyny kem-kemden azaltmak arkaly aýrylýarwaflifiziki ýa-da himiki usullar arkaly.
2. Organiki maddalar:
Organiki hapalaryň çeşmeleri adam derisiniň ýagy, bakteriýalar, maşyn ýagy, wakuum ýagy, fotorezist, arassalaýjy erginler we ş.m. ýaly birneme giňdir.
Şeýle hapalaýjy maddalar, arassalaýjy suwuklygyň wafliň ýüzüne ýetmeginiň öňüni almak üçin, wafliň üstünde organiki film emele getirýär, netijede wafliň üstüni doly arassalamaz.
Şeýle hapalaýjy maddalary ýok etmek, köplenç kükürt kislotasy we wodorod peroksid ýaly himiki usullary ulanmak bilen arassalaýyş işiniň ilkinji ädiminde amala aşyrylýar.
3. Metal ionlary:
Adaty metal hapalaryna demir, mis, alýumin, hrom, çoýun, titanium, natriý, kaliý, litiý we ş.m. girýär. Esasy çeşmeler dürli gap-gaçlar, turbalar, himiki reagentler we gaýtadan işlemek wagtynda metal baglanyşyklary emele gelende dörän metal hapalanmagydyr.
Hapalygyň bu görnüşi köplenç metal ion toplumlaryny emele getirmek arkaly himiki usullar bilen aýrylýar.
4. Oksid:
Ondarymgeçirijiwaflikislorod we suwy öz içine alýan gurşawa sezewar bolýarlar, üstünde tebigy oksid gatlagy emele gelýär. Bu oksid filmi ýarymgeçiriji önümçiliginde köp prosese päsgelçilik döreder we käbir metal hapalaryny hem öz içine alar. Käbir şertlerde elektrik kemçilikleri emele geler.
Bu oksid filminiň aýrylmagy köplenç suwuk gidroflorik kislotany siňdirmek bilen tamamlanýar.
Umumy arassalama yzygiderliligi
Icarymgeçirijiniň üstünde ýerleşdirilen hapalarwafliüç görnüşe bölüp bolar: molekulýar, ion we atom.
Olaryň arasynda molekulýar hapalar bilen wafliň üstündäki adsorbsion güýji gowşak we bu hapa bölejikleri ýok etmek aňsat. Olar, esasan, ýarymgeçiriji wafleriň üstüni hapalaýan ion we atom hapalary üçin maskalanmagy üpjün edip biljek gidrofob aýratynlyklary bolan ýagly hapalar, bu iki görnüşli hapalaryň ýok edilmegine amatly däl. Şonuň üçin ýarymgeçiriji wafli himiki taýdan arassalanda, ilki molekulýar hapalary aýyrmaly.
Şonuň üçin ýarymgeçirijiniň umumy prosedurasywafliarassalamak prosesi:
De-molekulýarizasiýa-deionizasiýa-de-atomizasiýa-deionizirlenen suw ýuwmak.
Mundan başga-da, wafliň üstündäki tebigy oksid gatlagyny aýyrmak üçin suwuk aminokislotany siňdiriji ädim goşmaly. Şonuň üçin arassalamak pikiri ilki bilen ýerdäki organiki hapalary aýyrmak; soň oksid gatlagyny eritmeli; ahyrynda bölejikleri we metal hapalanmalaryny aýyryň we şol bir wagtyň özünde üstüni passiwleşdiriň.
Arassalaýyş usullary
Icarymgeçiriji wafli arassalamak üçin himiki usullar köplenç ulanylýar.
Himiki arassalaýyş, dürli himiki reagentleri we organiki erginleri wafliň üstündäki hapalary we ýag tegmillerini reaksiýa etmek ýa-da eritmek üçin, soň bolsa köp mukdarda ýokary arassa gyzgyn we sowuk deionizirlenen suw bilen ýuwuň; arassa ýer.
Himiki arassalama çygly himiki arassalama we gury himiki arassalama bölünip bilner, olaryň arasynda çygly himiki arassalama henizem agdyklyk edýär.
Çygly himiki arassalama
1. Çygly himiki arassalama:
Çygly himiki arassalama esasan ergini suwa çümdürmek, mehaniki süpürmek, ultrases sesini arassalamak, megasoniki arassalamak, aýlaw pürkmek we ş.m.
2. Çözgüdi çümdürmek:
Çözgüdi çümdürmek, wafli himiki ergine çümdürip, ýerüsti hapalanmagy aýyrmagyň usulydyr. Çygly himiki arassalamakda iň köp ulanylýan usul. Wafliň üstündäki dürli hapalary aýyrmak üçin dürli çözgütler ulanylyp bilner.
Adatça, bu usul wafliň üstündäki hapalary doly aýryp bilmeýär, şonuň üçin çümdürilende ýyladyş, ultrases we garyş ýaly fiziki çäreler köplenç ulanylýar.
3. Mehaniki süpürmek:
Mehaniki süpürmek köplenç wafliň üstündäki bölejikleri ýa-da organiki galyndylary aýyrmak üçin ulanylýar. Adatça iki usula bölmek bolar:süpürgiç bilen el bilen süpürmek we süpürmek.
El bilen süpürmeksüpürmegiň iň ýönekeý usulydyr. Poslamaýan polat çotgasy, suwsyz etanolda ýa-da beýleki organiki erginlerde siňdirilen topy saklamak we mumyň plyonkasyny, tozany, galyndy ýelimini ýa-da beýleki gaty bölejikleri aýyrmak üçin wafliň ýüzüni ýuwaşlyk bilen sürtmek üçin ulanylýar. Bu usul çyzylmagyna we çynlakaý hapalanmagyna sebäp bolýar.
Süpürgiç, ýumşak ýüň çotgasy ýa-da garyşyk çotga bilen wafliň ýüzüni sürtmek üçin mehaniki öwrüm ulanýar. Bu usul wafli dyrnaklaryny ep-esli azaldar. Pressureokary basyşly süpürgiç mehaniki sürtülmäniň ýoklugy sebäpli wafli çyzyp bilmez we trubkadaky hapalygy aýryp biler.
4. Ultrases arassalaýyş:
Ultrases arassalaýyş ýarymgeçiriji pudagynda giňden ulanylýan arassalaýyş usulydyr. Onuň artykmaçlyklary gowy arassalaýyş täsiri, ýönekeý işlemek we çylşyrymly enjamlary we gaplary arassalap biler.
Bu arassalaýyş usuly güýçli ultrases tolkunlarynyň täsiri astynda (köplenç ulanylýan ultrases ýygylygy 20s40kHz) we suwuk gurşawyň içinde seýrek we dykyz bölekler dörediler. Seýrek bölegi wakuum boşlugynyň köpüsini öndürer. Çukur köpügi ýok bolanda, onuň golaýynda güýçli ýerli basyş dörediler, wafli üstündäki hapalary eritmek üçin molekulalardaky himiki baglanyşyklary döwer. Ultrases arassalaýyş, eremeýän ýa-da eräp bilmeýän akym galyndylaryny aýyrmak üçin has täsirli.
5. Megasoniki arassalamak:
Megasoniki arassalamak diňe bir ultrases sesini arassalamagyň artykmaçlyklaryna eýe bolman, eýsem kemçiliklerini hem ýeňip geçýär.
Megasoniki arassalamak, ýokary energiýa (850kHz) ýygylyk yrgyldy täsirini himiki arassalaýjy serişdeleriň himiki reaksiýasy bilen birleşdirip, wafli arassalamagyň usulydyr. Arassalamak wagtynda ergin molekulalary megason tolkuny bilen çaltlaşdyrylýar (iň ýokary tizlik 30 sm-e ýetip biler) we ýokary tizlikli suwuk tolkun wafliň ýüzüne yzygiderli täsir edýär, şeýlelik bilen hapalaýjy maddalar we inçe bölejikler wafli zor bilen aýrylýar we arassalaýyş erginine girýär. Arassalaýjy ergine kislotaly sýrfaktantlary goşmak, bir tarapdan, sýrfaktantlaryň adsorbsiýasy arkaly ýalpyldawuk ýerdäki bölejikleri we organiki maddalary aýyrmak maksadyna ýetip biler; beýleki tarapdan, surfaktantlary we kislotaly gurşawy birleşdirmek arkaly, ýalpyldawuk listiň üstündäki metal hapalanmagyny aýyrmak maksadyna ýetip biler. Bu usul bir wagtyň özünde mehaniki süpürmek we himiki arassalamak roluny oýnap biler.
Häzirki wagtda megasoniki arassalama usuly, ýalpyldawuk listleri arassalamagyň täsirli usulyna öwrüldi.
6. Aýlanma pürküji usuly:
Aýlanýan pürküji usuly, wafli ýokary tizlikde aýlamak üçin mehaniki usullary ulanýan we aýlanyş döwründe suwuklygy (ýokary arassa deionizirlenen suw ýa-da beýleki arassalaýjy suwuklygy) aýlanyş prosesinde wafliň üstüne yzygiderli sepýär. wafli.
Bu usul, sepilen suwuklykda eremek üçin (ýa-da eremek üçin himiki reaksiýa) wafli üstündäki hapalanmagy ulanýar we hapalary öz içine alýan suwuklygy wafliň ýüzünden aýyrmak üçin ýokary tizlikli aýlanmagyň merkezden gaçyryş täsirini ulanýar. wagtynda.
Aýlanýan pürküji usuly himiki arassalamagyň, suwuk mehanikany arassalamagyň we ýokary basyşly süpürmegiň artykmaçlyklaryna eýedir. Şol bir wagtyň özünde, bu usul guradyş prosesi bilen birleşdirilip bilner. Deionizirlenen suw pürküji arassalanylandan soň, suw pürküji togtadylýar we pürküji gazy ulanylýar. Şol bir wagtyň özünde, wafliň ýüzüni çalt suwsuzlandyrmak üçin merkezden gaçyryş güýjüni ýokarlandyrmak üçin aýlanma tizligini ýokarlandyryp bolýar.
7.Gury himiki arassalama
Gury arassalamak, çözgütleri ulanmaýan arassalaýyş tehnologiýasyna degişlidir.
Häzirki wagtda ulanylýan gury arassalaýyş tehnologiýalary: plazmany arassalamak tehnologiýasy, gaz fazasyny arassalamak tehnologiýasy, şöhläni arassalamak tehnologiýasy we ş.m.
Gury arassalamagyň artykmaçlyklary ýönekeý proses we daşky gurşawyň hapalanmagy ýok, ýöne gymmaty gaty ýokary we häzirki wagtda ulanmagyň gerimi uly däl.
1. Plazmany arassalamak tehnologiýasy:
Plazmany arassalamak köplenç fotorezisti aýyrmak prosesinde ulanylýar. Plazma reaksiýa ulgamyna az mukdarda kislorod girizilýär. Güýçli elektrik meýdanynyň täsiri astynda kislorod plazma döredýär, ol fotorezisti üýtgäp durýan gaz ýagdaýyna çalt okisleýär we çykarylýar.
Bu arassalaýyş tehnologiýasy aňsat işlemegiň, ýokary netijeliligiň, arassa ýeriň, çyzylmanyň artykmaçlyklaryna eýedir we zaýalanmak prosesinde önümiň hilini üpjün etmek üçin amatlydyr. Mundan başga-da, kislotalary, aşgarlary we organiki erginleri ulanmaýar we galyndylary zyňmak we daşky gurşawyň hapalanmagy ýaly meseleler ýok. Şonuň üçin adamlar tarapyndan barha gymmatlanýar. Şeýle-de bolsa, uglerod we beýleki üýtgemeýän metal ýa-da metal oksidi hapalaryny aýryp bilmeýär.
2. Gaz fazasyny arassalamak tehnologiýasy:
Gaz fazasyny arassalamak, hapalary ýok etmek maksadyna ýetmek üçin wafliň üstündäki hapalanan maddalar bilen täsirleşmek üçin suwuk prosesdäki degişli madda ekwiwalentini ulanýan arassalama usulyna degişlidir.
Mysal üçin, CMOS prosesinde wafli arassalamak, oksidleri aýyrmak üçin gaz fazasy HF bilen suw bugynyň arasyndaky täsirini ulanýar. Adatça, suwy öz içine alýan HF prosesi bölejikleri aýyrmak prosesi bilen bilelikde bolmalydyr, şol bir wagtyň özünde gaz fazasyny arassalamak tehnologiýasyny ulanmak bölejikleri aýyrmak üçin indiki prosesi talap etmeýär.
Suwly HF prosesi bilen deňeşdirilende iň möhüm artykmaçlyklar, HF-iň himiki sarp edilişi we has ýokary arassalaýyş netijeliligi.
Has giňişleýin pikir alyşmak üçin dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilere hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Iş wagty: Awgust-13-2024