Ondarymgeçiriji enjam öndürmek esasan diskret enjamlary, integral zynjyrlary we gaplama amallaryny öz içine alýar.
Ondarymgeçirijiniň önümçiligini üç basgançaga bölmek bolar: önümiň beden önümçiligi, önümwafliönümçilik we enjam ýygnamak. Şolaryň arasynda iň çynlakaý hapalanmak, önüm öndürmek üçin önümçilik tapgyrydyr.
Hapalaýjy maddalar esasan hapa suwlara, galyndy gazlara we gaty galyndylara bölünýär.
Çip öndürmek prosesi:
Silikon waflidaşarky üweýişden soň - arassalamak - okislenme - birmeňzeş garşylyk - fotolitografiýa - ösüş - efirlemek - diffuziýa, ion implantasiýasy - himiki bug çökdürilmegi - himiki mehaniki polat - metallizasiýa we ş.m.
Hapa suwlar
Ondarymgeçirijini öndürmek we gaplamak synaglarynyň her bir ädiminde esasan kislota esasly hapa suwlar, ammiak öz içine alýan hapa suwlar we organiki hapa suwlar köp mukdarda hapa suwlar emele gelýär.
1. Ftorly hapa suwlar:
Gidroflor kislotasy, okislenme we poslaýjy häsiýetleri sebäpli okislenme we eriş proseslerinde ulanylýan esasy çözüji bolýar. Amalda ftorly hapa suwlar, esasan, çip öndürmek prosesinde diffuziýa we himiki mehaniki polishing prosesinden gelýär. Silikon wafli we degişli gap-gaçlary arassalamakda gidroklor kislotasy hem köp gezek ulanylýar. Bu amallaryň hemmesi ýörite çüýşelerde ýa-da arassalaýjy enjamlarda tamamlanýar, şonuň üçin ftorly hapa suwlar özbaşdak çykarylyp bilner. Konsentrasiýa görä, ýokary konsentrasiýaly ftorly hapa suwlara we pes konsentrasiýaly ammiakly hapa suwlara bölünip bilner. Adatça, ýokary konsentrasiýaly ammiakly hapa suwlaryň konsentrasiýasy 100-1200 mg / L-e ýetip biler. Kompaniýalaryň köpüsi, suwuň ýokary bölegini talap etmeýän prosesler üçin hapa suwlaryň bu bölegini gaýtadan ulanýarlar.
2. Kislota esasly hapa suwlar:
Integrirlenen zynjyr önümçiliginiň her prosesi diýen ýaly çipiň arassalanmagyny talap edýär. Häzirki wagtda kükürt kislotasy we wodorod peroksid toplumlaýyn önümçilik prosesinde iň köp ulanylýan arassalaýjy suwuklyklardyr. Şol bir wagtyň özünde azot kislotasy, gidroklor turşusy we ammiak suwy ýaly kislota esasly reagentler hem ulanylýar.
Önümçilik prosesiniň kislota esasly hapa suwlary, esasan, çip öndürmek prosesinde arassalanmakdan gelýär. Gaplamak prosesinde, çip elektroplatasiýa we himiki derňew wagtynda kislota-esasy ergin bilen bejerilýär. Bejergiden soň, hapa suwlary kislota esasly ýuwmak üçin arassa suw bilen ýuwmaly. Mundan başga-da, natriý gidroksidi we gidroklor turşusy ýaly kislota esasly reagentler arassa suw stansiýasynda anion we kation rezinlerini kislota-bazanyň täzeleniş hapa suwlaryny öndürmek üçin ulanylýar. Guýruk suwuny ýuwmak, kislota esasly galyndylary ýuwmak prosesinde hem öndürilýär. Integrirlenen zynjyr öndürýän kompaniýalarda kislota esasly hapa suwlaryň mukdary aýratyn köp.
3. Organiki hapa suwlar:
Dürli önümçilik prosesleri sebäpli ýarymgeçiriji pudagynda ulanylýan organiki erginleriň mukdary gaty tapawutlanýar. Şeýle-de bolsa, arassalaýjy serişdeler hökmünde organiki erginler önümçilik gaplamalarynyň dürli baglanyşyklarynda henizem giňden ulanylýar. Käbir erginler organiki hapa suwlaryň akymyna öwrülýär.
4. Beýleki hapa suwlar:
Ondarymgeçirijiniň önümçilik prosesi zyýansyzlandyrmak üçin köp mukdarda ammiak, ftor we ýokary arassa suw ulanar we şeýlelik bilen ýokary konsentrasiýaly ammiak öz içine alýan hapa suwlary çykarar.
Ondarymgeçirijiniň gaplanyş prosesinde elektroplatasiýa prosesi zerurdyr. Çip elektroplatirlenenden soň arassalanmalydyr we bu amalda arassalaýjy hapa suwlar dörediler. Käbir metallar elektroplatirlemekde ulanylýandygy sebäpli, gurşun, galaýy, disk, sink, alýumin we ş.m. elektroplatirleýji arassalaýjy hapa suwlarda metal ionlarynyň zyňyndylary bolar.
Galyndy gaz
Ondarymgeçirijiniň iş otagynyň arassalygy üçin aşa ýokary talaplar bolansoň, janköýerler adatça prosesiň dowamynda üýtgäp durýan dürli galyndy gazlaryny çykarmak üçin ulanylýar. Şonuň üçin ýarymgeçiriji pudagynda galyndy gaz zyňyndylary uly gaz çykaryjy göwrümi we pes zyňyndy konsentrasiýasy bilen häsiýetlendirilýär. Galyndy gaz zyňyndylary hem esasan üýtgäp durýar.
Bu galyndy gaz zyňyndylaryny esasan dört kategoriýa bölmek bolar: kislotaly gaz, gidroksidi gazy, organiki galyndy gazy we zäherli gaz.
1. Kislota esasly galyndy gazy:
Kislota esasly galyndy gazy esasan diffuziýadan gelýär,CVDWafli arassalamak üçin kislota esasly arassalaýyş erginini ulanýan CMP we emele getiriş amallary.
Häzirki wagtda ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde iň köp ulanylýan arassalaýjy ergin, wodorod peroksid bilen kükürt kislotasynyň garyndysydyr.
Bu proseslerde emele gelen galyndy gazy kükürt kislotasy, gidroflor kislotasy, gidroklor turşusy, azot kislotasy we fosfor kislotasy ýaly kislotaly gazlary öz içine alýar we aşgar gazy esasan ammiakdyr.
2. Organiki galyndy gazy:
Organiki galyndy gazy, esasan, fotolitografiýa, ösüş, efir we diffuziýa ýaly proseslerden gelýär. Bu amallarda, wafliň ýüzüni arassalamak üçin organiki ergin (izopropil alkogoly) ulanylýar we üýtgäp durmak netijesinde emele gelýän galyndy gazy organiki galyndy gazlarynyň çeşmelerinden biridir;
Şol bir wagtyň özünde, fotolitografiýa we ekiş prosesinde ulanylýan fotorezist (fotorezist) organiki galyndy gazynyň başga bir çeşmesi bolan wafli gaýtadan işlemek prosesinde atmosfera üýtgäp durýan butil asetat ýaly üýtgäp durýan organiki erginleri öz içine alýar.
3. Zäherli galyndy gazy:
Zäherli galyndy gazy esasan kristal epitaksiýa, gury eriş we CVD ýaly proseslerden gelýär. Bu amallarda kremniý (SiHj), fosfor (PH3), uglerod tetrahloridi (CFJ), bor, bor trioksidi we ş.m. ýaly wafli gaýtadan işlemek üçin dürli ýokary arassa ýörite gazlar ulanylýar. Käbir ýörite gazlar zäherli, dem alyş we poslaýjy.
Şol bir wagtyň özünde, ýarymgeçiriji önümçiliginde himiki bug çökdürilenden soň gury arassalamak we arassalamak işinde NFS, C2F & CR, C3FS, CHF3, SF6 we ş.m. ýaly köp mukdarda oksid (PFCS) gazy talap edilýär. infragyzyl ýagtylyk sebitinde güýçli siňdirişe eýe we uzak wagtlap atmosferada galyň. Adatça global parnik täsiriniň esasy çeşmesi hasaplanýar.
4. Gaplamak prosesi galyndy gazy:
Ondarymgeçirijini öndürmek prosesi bilen deňeşdirilende, ýarymgeçirijiniň gaplama prosesi netijesinde emele gelen galyndy gazy has ýönekeý, esasan kislotaly gaz, epoksi rezin we tozan.
Kislotaly galyndy gazy esasan elektroplatasiýa ýaly proseslerde emele gelýär;
Çörek gazyny bişirmek, önüm ýelmän we möhürlenenden soň bişirilýär;
Bahalandyryjy maşyn, wafli kesmek döwründe kremniniň tozany bolan galyndy gazyny döredýär.
Daşky gurşawyň hapalanmagy bilen baglanyşykly meseleler
Ondarymgeçiriji pudagynda daşky gurşawyň hapalanmagy bilen baglanyşykly meseleler üçin çözülmeli esasy meseleler:
· Fotolitografiýa prosesinde howany hapalaýan we üýtgäp durýan organiki birleşmeleriň (VOC) uly göwrümli zyňylyşy;
· Plazma dökülmeginde we himiki bug çökdürmek proseslerinde parflorirlenen birleşmeleriň (PFCS) zyňylmagy;
· Işçileriň önümçiliginde we howpsuzlygyny goramakda energiýa we suwy köp mukdarda sarp etmek;
· Önümleriň gaýtadan işlenmegi we hapalanmagyna gözegçilik;
· Gaplamak prosesinde howply himiki serişdeleri ulanmak meselesi.
Arassa önümçilik
Ondarymgeçiriji enjamyň arassa önümçilik tehnologiýasy çig mal, prosesler we prosese gözegçilik nukdaýnazaryndan kämilleşdirilip bilner.
Çig maly we energiýany gowulandyrmak
Ilki bilen, hapalaryň we bölejikleriň girmegini azaltmak üçin materiallaryň arassalygyna berk gözegçilik edilmelidir.
Ikinjiden, önümçilige girmezden ozal gelýän komponentlerde ýa-da ýarym taýýar önümlerde dürli temperatura, syzmagy ýüze çykarmak, yrgyldy, ýokary woltly elektrik togunyň urmagy we beýleki synaglar geçirilmelidir.
Mundan başga-da, kömekçi materiallaryň arassalygyna berk gözegçilik edilmelidir. Arassa energiýa öndürmek üçin ulanyp boljak tehnologiýalar gaty köp.
Önümçilik prosesini optimizirläň
Ondarymgeçiriji pudagynyň özi, tehnologiýany kämilleşdirmek arkaly daşky gurşawa täsirini azaltmaga çalyşýar.
Mysal üçin, 1970-nji ýyllarda organiki erginler esasan toplumlaýyn arassalaýyş tehnologiýasyndaky wafli arassalamak üçin ulanylýar. 1980-nji ýyllarda wafli arassalamak üçin kükürt kislotasy ýaly kislota we aşgar erginleri ulanyldy. 1990-njy ýyllara çenli plazma kislorody arassalamak tehnologiýasy işlenip düzüldi.
Gaplamak nukdaýnazaryndan häzirki wagtda kompaniýalaryň köpüsi daşky gurşawa agyr metal hapalanmagyna sebäp boljak elektroplatasiýa tehnologiýasyny ulanýarlar.
Şeýle-de bolsa, Şanhaýda gaplaýyş zawodlary indi elektroplatasiýa tehnologiýasyny ulanmaýarlar, şonuň üçin agyr metallaryň daşky gurşawa täsiri ýok. Ondarymgeçiriji pudagynyň öz ösüş prosesinde prosesi gowulandyrmak we himiki çalyşmak arkaly daşky gurşawa edýän täsirini kem-kemden azalýandygyny görmek bolýar, bu hem daşky gurşawy goramak we önüm dizaýnynyň häzirki global ösüş tendensiýasyna eýerýär.
Häzirki wagtda has köp ýerli prosesi gowulandyrmak amala aşyrylýar, şol sanda:
· Ammiak PFCS gazyny çalyşmak we azaltmak, meselem, parnik effekti bilen pes parnik effekti bilen gazy ýokary parnik effekti bilen çalyşmak we amalda ulanylýan PFCS gazynyň mukdaryny azaltmak ýaly;
· Arassalamak işinde ulanylýan himiki arassalaýjy serişdeleriň mukdaryny azaltmak üçin bir wafli arassalamak üçin köp wafli arassalamagy gowulandyrmak.
· Gaty prosese gözegçilik:
a. Takyk gaýtadan işlemegi we partiýa önümçiligini amala aşyryp bilýän we el bilen işlemegiň ýokary ýalňyşlyk derejesini peseldip bilýän önümçilik prosesini awtomatlaşdyrmagy amala aşyryň;
b. Ultra arassa proses daşky gurşaw faktorlary, hasyl ýitgisiniň takmynan 5% ýa-da ondan az bölegi adamlar we daşky gurşaw sebäpli ýüze çykýar. Ultra arassa proses daşky gurşaw faktorlaryna esasan howanyň arassalygy, ýokary arassa suw, gysylan howa, CO2, N2, temperatura, çyglylyk we ş.m. girýär. Arassa ussahananyň arassalygy derejesi köplenç birligiň göwrümine rugsat edilen bölejikleriň iň köp mukdary bilen ölçelýär. howa, ýagny bölejikleriň san konsentrasiýasy;
c. Ectionüze çykaryşy güýçlendiriň we önümçilik döwründe köp mukdarda galyndylary bolan iş stansiýalarynda ýüze çykarmak üçin degişli möhüm nokatlary saýlaň.
Has giňişleýin pikir alyşmak üçin dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilere hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Iş wagty: Awgust-13-2024