Esasy wezipelerikremniý karbid gaýygygoldaw we kwars gaýyk goldawy birmeňzeşdir.Silikon karbid gaýygygoldawyň ajaýyp öndürijiligi bar, ýöne ýokary bahasy. Gaty iş şertleri bolan (LPCVD enjamlary we bor diffuziýa enjamlary ýaly) batareýany gaýtadan işleýän enjamlarda kwars gaýyk goldawy bilen alternatiw gatnaşyk döredýär. Adaty iş şertleri bolan batareýany gaýtadan işleýän enjamlarda, baha gatnaşyklary sebäpli kremniý karbid we kwars gaýyk goldawy bilelikde we bäsdeş kategoriýalara öwrülýär.
L LPCVD we bor diffuziýa enjamlarynda çalyşma gatnaşygy
LPCVD enjamlary batareýa öýjükleriniň tuneliniň okislenmegi we dopirlenen polisilikon gatlagyny taýýarlamak üçin ulanylýar. Iş prinsipi:
Pes basyşly atmosferada, degişli temperatura, himiki reaksiýa we çöketlik filminiň emele gelmegi bilen ultra inçe tunnelli oksid gatlagyny we polisilikon filmini taýýarlamak üçin gazanylýar. Tuneliň okislenmegi we dopirlenen polisilikon gatlagyny taýýarlamak prosesinde gaýyk goldawy ýokary iş temperaturasyna eýe bolup, üstünde kremniy plýonka ýerleşdiriler. Kwarsyň ýylylyk giňelme koeffisiýenti kremniniňkiden düýpgöter tapawutlanýar. Aboveokardaky amalda ulanylanda, kremniniň dürli ýylylyk giňelme koeffisiýenti sebäpli ýylylyk giňelmegi we gysylmagy sebäpli kwars gämisiniň goldawynyň döwülmezligi üçin, üstünde goýlan kremnini yzygiderli duzlamaly we aýyrmaly. Frequygy-ýygydan duzlanmak we pes temperatura güýji sebäpli kwars gämisiniň eýesi ömri gysga we tuneliň oksidlenmegi we batareýa öýjüginiň önümçilik bahasyny ep-esli ýokarlandyrýan tunel oksidlenmegi we doply polisilikon gatlagyny taýýarlamak işinde çalşylýar. Giňeltmek koeffisiýentikremniý karbidkremniniňkä ýakyn. Integrirlenenkremniý karbid gaýygysaklaýjy tuneliň okislenmegini we doply polisilikon gatlagyny taýýarlamak prosesinde duzlamagy talap etmeýär. Highokary temperatura güýji we uzak ömri bar. Kwars gämisiniň eýesine gowy alternatiwadyr.
Bor giňeltmek enjamlary, esasan, PN birleşmesini emele getirmek üçin P görnüşli emitter taýýarlamak üçin batareýa öýjüginiň N görnüşli kremniy wafli substratynda bor elementlerini doping etmek üçin ulanylýar. Iş prinsipi, ýokary temperaturaly atmosferada himiki reaksiýany we molekulýar çöketlik filminiň emele gelmegini amala aşyrmakdyr. Film döredilenden soň, kremniniň wafli ýüzüniň doping funksiýasyny durmuşa geçirmek üçin ýokary temperaturaly ýyladyş arkaly ýaýradylyp bilner. Bor giňeldiş enjamlarynyň ýokary iş temperaturasy sebäpli, kwars gaýyk eýesi pes ýokary temperatura güýjüne we bor giňeltmek enjamlarynda gysga ömrüne eýe. Integrirlenenkremniý karbid gaýygysaklaýjynyň ýokary temperatura güýji bar we bor giňeltmek prosesinde kwars gaýyk eýesine gowy alternatiwadyr.
Other Beýleki amal enjamlarynda çalyşma gatnaşygy
SiC gaýyk diregleri berk önümçilik kuwwatyna we ajaýyp öndürijiligine eýe. Olaryň bahasy, adatça, kwars gämisiniň direglerinden has ýokary. Öýjükleri gaýtadan işleýän enjamlaryň umumy iş şertlerinde, SiC gaýyk diregleri we kwars gaýyk diregleriniň arasyndaky hyzmat möhletiniň tapawudy az. Aşakdaky müşderiler esasan öz amallaryna we zerurlyklaryna esaslanyp baha bilen öndürijiligiň arasynda deňeşdirýärler we saýlaýarlar. SiC gaýyk diregleri we kwars gaýyk goldawlary bilelikde we bäsdeşlige öwrüldi. Şeýle-de bolsa, häzirki wagtda “SiC” gämisiniň goldawynyň umumy girdejisi birneme ýokary. “SiC” gämisiniň önümçilik bahasynyň arzanlamagy bilen, “SiC” gämisiniň satuw bahasy işjeň pese gaçmagy goldaýan bolsa, kwars gämisiniň direglerine has uly bäsdeşlik eder.
Ulanyş gatnaşygy
Öýjük tehnologiýasy ugry esasan PERC tehnologiýasy we TOPCon tehnologiýasydyr. PERC tehnologiýasynyň bazar paýy 88%, TOPCon tehnologiýasynyň bazar paýy 8,3%. Ikisiniň umumy bazar paýy 96,30%.
Aşakdaky suratda görkezilişi ýaly:
PERC tehnologiýasynda, öňdäki fosfor diffuziýasy we anneal prosesleri üçin gaýyk goldawlary zerurdyr. TOPCon tehnologiýasynda, öňdäki bor diffuziýasy, LPCVD, arka fosfor diffuziýasy we anneal prosesleri üçin gaýyk goldawlary zerurdyr. Häzirki wagtda kremniý karbid gaýyk diregleri esasan TOPCon tehnologiýasynyň LPCVD prosesinde ulanylýar we bor diffuziýa prosesinde ulanylyşy esasan barlandy.
Surat Öýjügi gaýtadan işlemekde gaýyk goldawlaryny ulanmak
Bellik: PERC we TOPCon tehnologiýalarynyň öň we arka örtüginden soň, gaýyk diregleriniň ulanylmagyny öz içine almaýan we ýokardaky suratda görkezilmedik ekrany çap etmek, sintezlemek we synag etmek we sortlamak ýaly baglanyşyklar bar.
Iş wagty: 15-2024-nji oktýabr