சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு ஹீட்டர்

வெட்-சீனாசிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்பூச்சு என்பது மிகவும் கடினமான மற்றும் தேய்மானத்தை எதிர்க்கும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பாதுகாப்பு பூச்சு ஆகும்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)பொருள், இது சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமானவை, எனவேசிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுகுறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வெட்-சீனாவின் குறிப்பிட்ட பங்குசிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பூச்சு பின்வருமாறு:

உபகரணங்களின் ஆயுளை அதிகரிக்க:சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு அதன் மிக உயர்ந்த கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்புடன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கு சிறந்த மேற்பரப்பு பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. குறிப்பாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் செயல்முறை சூழல்களில், ரசாயன அரிப்பு அல்லது உடல் தேய்மானத்தால் உபகரணங்களின் மேற்பரப்பு சேதமடைவதை பூச்சு திறம்பட தடுக்கிறது, இதன் மூலம் சேவை ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது. உபகரணங்கள் மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுதல் மற்றும் பழுதுபார்ப்பதால் ஏற்படும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

செயல்முறை தூய்மையை மேம்படுத்த:குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், சிறிய மாசுபாடு தயாரிப்பு குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தலாம். சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுகளின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நிலையானதாக இருக்க அனுமதிக்கிறது, துகள்கள் அல்லது அசுத்தங்களை வெளியிடுவதைத் தடுக்கிறது, இதன் மூலம் செயல்முறையின் சுற்றுச்சூழல் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. PECVD மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற அதிக துல்லியம் மற்றும் அதிக தூய்மை தேவைப்படும் உற்பத்தி படிகளுக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

வெப்ப மேலாண்மையை மேம்படுத்துதல்:விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறைகள் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுகளின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் சாதனங்களுக்குள் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது. இது வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் வெப்ப அழுத்தம் மற்றும் பொருள் சிதைவைக் குறைக்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் தயாரிப்பு உற்பத்தி துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

சிக்கலான செயல்முறை சூழல்களை ஆதரிக்கவும்:ICP பொறித்தல் மற்றும் PSS பொறித்தல் செயல்முறைகள் போன்ற சிக்கலான வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு ஆகியவை சாதனம் நீண்ட கால செயல்பாட்டில் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது, பொருள் சிதைவு அல்லது உபகரணங்கள் சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. சுற்றுச்சூழல் மாற்றங்களுக்கு.