SiC பூச்சு/பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு/செமிகண்டக்டருக்கான தட்டு

 அம்சங்கள்: 
· சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
· சிறந்த உடல் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
· சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு
· சூப்பர் உயர் தூய்மை
· சிக்கலான வடிவத்தில் கிடைக்கும்
· ஆக்ஸிஜனேற்ற வளிமண்டலத்தின் கீழ் பயன்படுத்தக்கூடியது

விண்ணப்பம்:

தயாரிப்பு அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்:

1. உயர்ந்த வெப்ப எதிர்ப்பு:உயர் தூய்மையுடன்SiC பூச்சு, அடி மூலக்கூறு தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும், எபிடாக்ஸி மற்றும் செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் போன்ற தேவைப்படும் சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

2. மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள்:SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள் இரசாயன அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, நிலையான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளுடன் ஒப்பிடும்போது அடி மூலக்கூறின் ஆயுட்காலம் அதிகரிக்கிறது.

3. விட்ரியஸ் கோடட் கிராஃபைட்:தனித்துவமான கண்ணாடியாலான அமைப்புSiC பூச்சுசிறந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை வழங்குகிறது, உயர்-வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீரை குறைக்கிறது.

4. உயர் தூய்மை SiC பூச்சு:எங்கள் அடி மூலக்கூறு உணர்திறன் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதி செய்கிறது, கடுமையான பொருள் தூய்மை தேவைப்படும் தொழில்களுக்கு நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.

5. பரந்த சந்தை பயன்பாடு:திSiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மேம்பட்ட SiC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகளுக்கான தேவை அதிகரிப்பதால் சந்தை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருகிறது, இந்த அடி மூலக்கூறு கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் சந்தை மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள் சந்தை ஆகிய இரண்டிலும் ஒரு முக்கிய வீரராக நிலைநிறுத்துகிறது.

அடிப்படை கிராஃபைட் பொருளின் பொதுவான பண்புகள்: