CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிக்கும் முறைகள் மற்றும் செயல்திறன் பண்புகள் என்ன?

CVD (ரசாயன நீராவி படிவு) என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கு பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் முறையாகும்.CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்பல தனித்துவமான செயல்திறன் பண்புகள் உள்ளன. இந்த கட்டுரை CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் அதன் செயல்திறன் பண்புகளை தயாரிக்கும் முறையை அறிமுகப்படுத்தும்.

1. தயாரிக்கும் முறைCVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

CVD முறையானது வாயு முன்னோடிகளை அதிக வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளாக மாற்றுகிறது. வெவ்வேறு வாயு முன்னோடிகளின் படி, இது வாயு நிலை CVD மற்றும் திரவ நிலை CVD என பிரிக்கலாம்.

1. நீராவி கட்டம் CVD

சிலிக்கான் கார்பைடு படங்களின் வளர்ச்சியை அடைய நீராவி நிலை CVD வாயு முன்னோடிகளைப் பயன்படுத்துகிறது, பொதுவாக ஆர்கனோசிலிகான் கலவைகள். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஆர்கனோசிலிக்கான் சேர்மங்களில் மெத்தில்சிலேன், டைமெதில்சிலேன், மோனோசிலேன் போன்றவை அடங்கும், அவை வாயு முன்னோடிகளை உயர்-வெப்பநிலை எதிர்வினை அறைகளுக்கு கொண்டு செல்வதன் மூலம் உலோக அடி மூலக்கூறுகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு படலங்களை உருவாக்குகின்றன. எதிர்வினை அறையில் அதிக வெப்பநிலை பகுதிகள் பொதுவாக தூண்டல் வெப்பமாக்கல் அல்லது எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் மூலம் உருவாக்கப்படுகின்றன.

2. திரவ நிலை CVD

திரவ-கட்ட CVD ஒரு திரவ முன்னோடியைப் பயன்படுத்துகிறது, பொதுவாக சிலிக்கான் மற்றும் சிலானால் கலவை கொண்ட ஒரு கரிம கரைப்பான், இது ஒரு எதிர்வினை அறையில் சூடாக்கப்பட்டு ஆவியாகிறது, பின்னர் ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு படலம் ஒரு இரசாயன எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறில் உருவாகிறது.

2. செயல்திறன் பண்புகள்CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

1.சிறந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்திறன்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இது அதிக வெப்பநிலை சூழலில் வேலை செய்யும் திறன் கொண்டது மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் தீவிர நிலைமைகளை தாங்கும்.

2.நல்ல இயந்திர பண்புகள்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஅதிக கடினத்தன்மை மற்றும் நல்ல உடைகள் எதிர்ப்பு உள்ளது. இது உலோக அடி மூலக்கூறுகளை உடைகள் மற்றும் அரிப்புகளிலிருந்து பாதுகாக்கிறது, பொருளின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.

3. சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் உப்புகள் போன்ற பொதுவான இரசாயனங்களுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை. இது இரசாயன தாக்குதல் மற்றும் அடி மூலக்கூறின் அரிப்பை எதிர்க்கிறது.

4. குறைந்த உராய்வு குணகம்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகுறைந்த உராய்வு குணகம் மற்றும் நல்ல சுய மசகு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது உராய்வு மற்றும் தேய்மானத்தை குறைக்கிறது மற்றும் பொருள் பயன்பாட்டின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

5.நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது விரைவாக வெப்பத்தை நடத்தும் மற்றும் உலோகத் தளத்தின் வெப்பச் சிதறல் திறனை மேம்படுத்தும்.

6.சிறந்த மின் காப்பு பண்புகள்

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு நல்ல மின் காப்பு பண்புகள் மற்றும் தற்போதைய கசிவு தடுக்க முடியும். இது மின்னணு சாதனங்களின் காப்புப் பாதுகாப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

7. அனுசரிப்பு தடிமன் மற்றும் கலவை

CVD செயல்முறையின் போது நிலைமைகளை கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் மற்றும் முன்னோடியின் செறிவு, சிலிக்கான் கார்பைடு படத்தின் தடிமன் மற்றும் கலவையை சரிசெய்ய முடியும். இது பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏராளமான விருப்பங்களையும் நெகிழ்வுத்தன்மையையும் வழங்குகிறது.

சுருக்கமாக, CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்திறன், சிறந்த இயந்திர பண்புகள், நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மை, குறைந்த உராய்வு குணகம், நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின் காப்பு பண்புகள் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்புகள் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை மின்னணுவியல், ஒளியியல், விண்வெளி, இரசாயனத் தொழில் போன்ற பல துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்துகின்றன.