உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் கூறுகள் முக்கியமானவைசெமிகண்டக்டர், எல்இடி மற்றும் சோலார் துறையில் செயல்முறைகள். எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான உயர் துல்லியமான கிராஃபைட் பாகங்கள் வரை படிகமாக வளரும் வெப்ப மண்டலங்களுக்கான (ஹீட்டர்கள், க்ரூசிபிள் சஸ்செப்டர்கள், இன்சுலேஷன்) கிராஃபைட் நுகர்வுப் பொருட்கள் வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன. இங்குதான் எங்கள் சிறப்பு கிராஃபைட் செயல்பாட்டுக்கு வருகிறது: கலவை குறைக்கடத்தி அடுக்குகளின் உற்பத்திக்கு ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் அடிப்படையாகும். இவை எபிடாக்ஸி அல்லது MOCVD செயல்முறை எனப்படும் போது தீவிர வெப்பநிலையின் கீழ் "சூடான மண்டலத்தில்" உருவாக்கப்படுகின்றன. அணுஉலையில் செதில்கள் பூசப்பட்டிருக்கும் சுழலும் கேரியர், சிலிக்கான் கார்பைடு-பூசிய ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டைக் கொண்டுள்ளது. இந்த மிகவும் தூய்மையான, ஒரே மாதிரியான கிராஃபைட் மட்டுமே பூச்சு செயல்பாட்டில் அதிக தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.
Tஅவர் LED எபிடாக்சியல் செதில் வளர்ச்சியின் அடிப்படைக் கொள்கை: ஒரு அடி மூலக்கூறில் (முக்கியமாக சபையர், SiC மற்றும் Si) பொருத்தமான வெப்பநிலைக்கு சூடேற்றப்பட்டால், வாயுப் பொருள் InGaAlP ஒரு குறிப்பிட்ட ஒற்றைப் படிகப் படலத்தை வளர்ப்பதற்குக் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முறையில் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் கொண்டு செல்லப்படுகிறது. தற்போது, LED எபிடாக்சியல் செதில்களின் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் முக்கியமாக கரிம உலோக இரசாயன நீராவி படிவுகளை ஏற்றுக்கொள்கிறது.
LED epitaxial அடி மூலக்கூறு பொருள்செமிகண்டக்டர் லைட்டிங் தொழிற்துறையின் தொழில்நுட்ப வளர்ச்சியின் மூலக்கல்லாகும். வெவ்வேறு அடி மூலக்கூறு பொருட்களுக்கு வெவ்வேறு LED எபிடாக்சியல் வேஃபர் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம், சிப் செயலாக்க தொழில்நுட்பம் மற்றும் சாதன பேக்கேஜிங் தொழில்நுட்பம் தேவை. அடி மூலக்கூறு பொருட்கள் குறைக்கடத்தி விளக்கு தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி பாதையை தீர்மானிக்கின்றன.
எல்இடி எபிடாக்சியல் வேஃபர் அடி மூலக்கூறுத் தேர்வின் சிறப்பியல்புகள்:
1. எபிடாக்சியல் பொருள் அடி மூலக்கூறு, சிறிய லட்டு நிலையான பொருத்தமின்மை, நல்ல படிகத்தன்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தியுடன் அதே அல்லது ஒத்த படிக அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது
2. நல்ல இடைமுக பண்புகள், எபிடாக்சியல் பொருட்கள் மற்றும் வலுவான ஒட்டுதலின் அணுக்கருவுக்கு உகந்தது
3. இது நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் வெப்பநிலை மற்றும் வளிமண்டலத்தில் சிதைவது மற்றும் அரிப்பது எளிதானது அல்ல.
4. நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப பொருத்தமின்மை உட்பட நல்ல வெப்ப செயல்திறன்
5. நல்ல கடத்துத்திறன், மேல் மற்றும் கீழ் அமைப்பு 6, நல்ல ஒளியியல் செயல்திறன், மற்றும் புனையப்பட்ட சாதனம் மூலம் வெளிப்படும் ஒளி அடி மூலக்கூறு மூலம் குறைவாக உறிஞ்சப்படுகிறது
7. நல்ல இயந்திர பண்புகள் மற்றும் சாதனங்களை எளிதாக செயலாக்குதல், மெலிதல், மெருகூட்டல் மற்றும் வெட்டுதல் உட்பட
8. குறைந்த விலை.
9. பெரிய அளவு. பொதுவாக, விட்டம் 2 அங்குலத்திற்கு குறைவாக இருக்கக்கூடாது.
10. வழக்கமான வடிவ அடி மூலக்கூறைப் பெறுவது எளிது (பிற சிறப்புத் தேவைகள் இல்லாவிட்டால்), மேலும் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களின் தட்டுத் துளை போன்ற அடி மூலக்கூறு வடிவம், எபிடாக்சியல் தரத்தைப் பாதிக்கும் வகையில், ஒழுங்கற்ற சுழல் மின்னோட்டத்தை உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல.
11. எபிடாக்சியல் தரத்தை பாதிக்காது என்ற அடிப்படையில், அடி மூலக்கூறின் இயந்திரத்திறன் முடிந்தவரை அடுத்தடுத்த சிப் மற்றும் பேக்கேஜிங் செயலாக்கத்தின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும்.
மேற்கூறிய பதினொரு அம்சங்களை ஒரே நேரத்தில் சந்திப்பது அடி மூலக்கூறு தேர்வு மிகவும் கடினம். எனவே, தற்போது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பத்தின் மாற்றம் மற்றும் சாதன செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தின் சரிசெய்தல் மூலம் வெவ்வேறு அடி மூலக்கூறுகளில் R & D மற்றும் குறைக்கடத்தி ஒளி-உமிழும் சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு மட்டுமே நாம் மாற்றியமைக்க முடியும். காலியம் நைட்ரைடு ஆராய்ச்சிக்கு பல அடி மூலக்கூறு பொருட்கள் உள்ளன, ஆனால் உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தக்கூடிய இரண்டு அடி மூலக்கூறுகள் உள்ளன, அதாவது சபையர் Al2O3 மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடுSiC அடி மூலக்கூறுகள்.
இடுகை நேரம்: பிப்ரவரி-28-2022