மேம்பட்டSiC கான்டிலீவர் துடுப்புவெட்-சீனாவால் உருவாக்கப்பட்ட வேஃபர் செயலாக்கம் குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான சிறந்த தீர்வை வழங்குகிறது. இந்த கான்டிலீவர் துடுப்பு SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) பொருளால் ஆனது, மேலும் அதன் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பானது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் சிறந்த செயல்திறனை பராமரிக்க உதவுகிறது. கான்டிலீவர் துடுப்பின் வடிவமைப்பு, செயலாக்கத்தின் போது செதில் நம்பகத்தன்மையுடன் ஆதரிக்கப்படுவதை அனுமதிக்கிறது, இது துண்டு துண்டாக மற்றும் சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
SiC கான்டிலீவர் துடுப்புஆக்சிஜனேற்ற உலை, பரவல் உலை, மற்றும் அனீலிங் உலை போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு கூறு ஆகும், முக்கிய பயன்பாடானது செதில் ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல், உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது செதில்களை ஆதரித்தல் மற்றும் கொண்டு செல்வது ஆகும்.
பொதுவான கட்டமைப்புகள்இன்SiCcநெம்புகோல்pகூடுதல்: ஒரு கான்டிலீவர் அமைப்பு, ஒரு முனையில் நிலையானது மற்றும் மறுபுறம் இலவசமானது, பொதுவாக ஒரு தட்டையான மற்றும் துடுப்பு போன்ற வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது.
தரத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்க VET எனர்ஜி உயர் தூய்மை மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களைப் பயன்படுத்துகிறது.
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
வேலை வெப்பநிலை (°C) | 1600°C (ஆக்ஸிஜனுடன்), 1700°C (சுற்றுச்சூழலைக் குறைக்கிறது) |
SiC உள்ளடக்கம் | > 99.96% |
இலவச Si உள்ளடக்கம் | < 0.1% |
மொத்த அடர்த்தி | 2.60-2.70 கிராம்/செ.மீ3 |
வெளிப்படையான போரோசிட்டி | < 16% |
சுருக்க வலிமை | > 600MPa |
குளிர் வளைக்கும் வலிமை | 80-90 MPa (20°C) |
சூடான வளைக்கும் வலிமை | 90-100 MPa (1400°C) |
வெப்ப விரிவாக்கம் @1500°C | 4.70 10-6/°C |
வெப்ப கடத்துத்திறன் @1200°C | 23W/m•K |
மீள் மாடுலஸ் | 240 GPa |
வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு | மிகவும் நல்லது |
வேஃபர் செயலாக்கத்திற்கான VET எனர்ஜியின் மேம்பட்ட SiC கான்டிலீவர் துடுப்பின் நன்மைகள்:
-உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: 1600°C க்கும் அதிகமான சூழலில் பயன்படுத்தக்கூடியது;
-குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது, செதில் வார்பேஜ் அபாயத்தை குறைக்கிறது;
உயர் தூய்மை: உலோக மாசுபாட்டின் குறைந்த ஆபத்து;
இரசாயன செயலற்ற தன்மை: அரிப்பை எதிர்க்கும், பல்வேறு வாயு சூழல்களுக்கு ஏற்றது;
- அதிக வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை: அணிய-எதிர்ப்பு, நீண்ட சேவை வாழ்க்கை;
- நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன்: சீரான செதில் வெப்பமாக்கலுக்கு உதவுகிறது.