Mipako ya SiC inaweza kutayarishwa kwa uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD), mabadiliko ya kitangulizi, kunyunyizia plasma, nk. Mipako iliyoandaliwa na uwekaji wa mvuke wa KIKEMIKALI ni sare na kompakt, na ina muundo mzuri. Kwa kutumia methyl trichlorsilane. (CHzSiCl3, MTS) kama chanzo cha silicon, mipako ya SiC inatayarisha...
Soma zaidi