VET Energy silikon carbide (SiC) wafer epitaxial nyaéta bahan semikonduktor bandgap berkinerja tinggi kalayan résistansi suhu luhur anu saé, frekuensi tinggi sareng ciri kakuatan anu luhur. Éta substrat idéal pikeun generasi anyar alat éléktronik kakuatan. VET Energy ngagunakeun téknologi epitaxial MOCVD canggih pikeun tumuwuh lapisan epitaxial SiC kualitas luhur dina substrat SiC, mastikeun kinerja alus teuing jeung konsistensi wafer.
Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer kami nawiskeun kasaluyuan anu saé sareng rupa-rupa bahan semikonduktor kalebet Si Wafer, Substrat SiC, Wafer SOI, sareng Substrat SiN. Kalayan lapisan epitaxial anu kuat, éta ngadukung prosés canggih sapertos pertumbuhan Epi Wafer sareng integrasi sareng bahan sapertos Gallium Oxide Ga2O3 sareng AlN Wafer, mastikeun panggunaan serbaguna dina téknologi anu béda. Dirancang pikeun cocog sareng sistem penanganan Kaset standar industri, éta ngajamin operasi anu efisien sareng lancar dina lingkungan fabrikasi semikonduktor.
Garis produk VET Energy henteu dugi ka wafer epitaxial SiC. Kami ogé nyayogikeun rupa-rupa bahan substrat semikonduktor, kalebet Si Wafer, SiC Substrat, SOI Wafer, SiN Substrat, Epi Wafer, jsb. Wafer, pikeun nyumponan paménta industri éléktronika masa depan pikeun alat-alat kinerja anu langkung luhur.
SPESIFIKASI WAFERING
*n-Pm=n-tipe Pm-Grade,n-Ps=n-tipe Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
Barang | 8-Inci | 6-Inci | 4-Inci | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Ruku (GF3YFCD) -Niley Absolute | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Tepi | Beveling |
Beungeut bérés
*n-Pm=n-tipe Pm-Grade,n-Ps=n-tipe Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
Barang | 8-Inci | 6-Inci | 4-Inci | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Surface Finish | Ganda sisi Polandia optik, Si- Nyanghareupan CMP | ||||
Kakasaran Permukaan | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Raray Ra≤0.2nm | |||
Ujung Chips | Henteu Diidinan (panjang sareng lebar ≥0.5mm) | ||||
Indents | Taya Diijinkeun | ||||
Goresan (Si-Raray) | Qty.≤5, Kumulatif | Qty.≤5, Kumulatif | Qty.≤5, Kumulatif | ||
Rengkak | Taya Diijinkeun | ||||
Pangaluaran Tepi | 3 mm |